半导体存储装置的制作方法

文档序号:31651456发布日期:2022-09-27 21:28阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体存储装置,具备多个存储区块区域,沿第1方向排列;接线区域,相对于所述多个存储区块区域沿所述第1方向排列;及配线区域,在所述第1方向上延伸,与所述多个存储区块区域及所述接线区域沿与所述第1方向交叉的第2方向排列;且所述多个存储区块区域分别具备:多个存储串,在所述第1方向上延伸,且沿所述第2方向排列;及第1配线,在所述第2方向上延伸,且共通地连接于所述多个存储串;所述配线区域具备第2配线,该第2配线在所述第1方向上延伸,共通地连接于与所述多个存储区块区域对应的多个第1配线,所述接线区域具备:第3配线,电连接于所述第2配线;及接触电极,在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向上延伸,且连接于所述第3配线。2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述接触电极具备:第1部分,在所述第3方向上延伸;第2部分,连接于所述第1部分,且连接于所述第3配线的所述第1方向或所述第2方向上的侧面;当将在所述第1方向及所述第2方向上延伸、且包含所述接触电极的第2部分的截面设为第1截面时,在所述第1截面中,所述第2部分的轮廓线的一部分沿着第1圆的圆周设置,所述第2部分的轮廓线的除所述部分以外的部分沿着所述第1圆的内侧设置。3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其具备沿所述第3方向排列的多个存储层,所述多个存储层分别具备所述多个存储串、所述多个第1配线、所述第2配线、及所述第3配线,所述接线区域对应于所述多个存储层而具备多个所述接触电极。4.根据权利要求3所述的半导体存储装置,其中所述多个存储层分别具备信号放大电路。5.根据权利要求3或4所述的半导体存储装置,其中所述接线区域具备在所述第3方向上延伸的电压供给线,在所述接线区域中,所述多个存储层分别具备:第4配线,电连接于所述第2配线与所述第3配线之间;第1晶体管,电连接于所述第3配线与所述第4配线之间;第2晶体管,电连接于所述第3配线与所述电压供给线之间;及第3晶体管,电连接于所述第2晶体管与所述电压供给线之间;所述第4配线作为所述第3晶体管的栅极电极发挥功能。6.一种半导体存储装置,具备:
多个存储单元,沿第1方向排列;及多个第1配线,沿所述第1方向排列,且电连接于所述多个存储单元;及接触电极,在所述第1方向上延伸,且连接于所述多个第1配线中的任一配线;所述接触电极具备:第1部分,在所述第1方向上延伸;及第2部分,连接于所述第1部分,且连接于所述多个第1配线中的任一第1配线的与所述第1方向交叉的第2方向上的侧面;当将与所述第1方向垂直且包含所述接触电极的第2部分的截面设为第1截面时,在所述第1截面中,所述第2部分的轮廓线的一部分沿着第1圆的圆周设置,所述第2部分的轮廓线的除所述部分以外的部分沿着所述第1圆的内侧设置。7.一种半导体存储装置,具备:多个存储层,沿第1方向排列;多个接触电极,在所述第1方向上延伸,且连接于所述多个存储层;及电压供给线,在所述第1方向上延伸,且连接于所述多个存储层;所述多个存储层分别具备:存储单元;第1配线,电连接于所述存储单元;第2配线,电连接于所述多个接触电极中的任一接触电极;第1晶体管,电连接于所述第1配线与所述第2配线之间;第2晶体管,电连接于所述第2配线与所述电压供给线之间;及第3晶体管,电连接于所述第2晶体管与所述电压供给线之间;所述第1配线作为所述第3晶体管的栅极电极发挥功能。

技术总结
本发明的实施方式提供一种能够高集成化的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备:多个存储区块区域,沿第1方向排列;接线区域,相对于多个存储区块区域沿第1方向排列;及配线区域,在第1方向上延伸,与多个存储区块区域及接线区域沿与第1方向交叉的第2方向排列。多个存储区块区域分别具备:多个存储串,在第1方向上延伸,且沿第2方向排列;及第1配线,在第2方向上延伸,共通地连接于多个存储串。配线区域具备第2配线,该第2配线在第1方向上延伸,共通地连接于与多个存储区块区域对应的多个第1配线。接线区域具备:第3配线,电连接于第2配线;及接触电极,在与第1方向及第2方向交叉的第3方向上延伸,连接于第3配线。连接于第3配线。连接于第3配线。


技术研发人员:松尾浩司 荒井史隆
受保护的技术使用者:铠侠股份有限公司
技术研发日:2021.08.26
技术公布日:2022/9/26
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