一种银掺杂ITO薄膜的制备方法与流程

技术总结
本发明适用于光电材料领域，提供了一种银掺杂ITO薄膜的制备方法。该方法采用溶胶‑凝胶技术制备银掺杂ITO薄膜，具体包括以下步骤：制备前驱体溶液；制备银掺杂的ITO溶胶；制备银掺杂ITO薄膜。通过上述方法制备得到的银掺杂ITO薄膜表面平整、颗粒致密，平均透过率高达85%，电阻率达到10‑4级。

技术研发人员：徐东;徐永清;石佳光
受保护的技术使用者：徐东
文档号码：201310224949
技术研发日：2013.06.07
技术公布日：2016.11.23