1.一种RB-IGBT芯片的制作方法,其特征在于,包括:
提供一衬底,所述衬底包括有划片区;
对所述划片区进行P型掺杂,形成预设深度的P型隔离区;
采用激光划片工艺沿所述P型隔离区进行划片,以得到所述RB-IGBT芯片。
2.根据权利要求1所述的RB-IGBT芯片的制作方法,其特征在于,对所述划片区进行P型掺杂包括:
采用光刻工艺在所述衬底具有所述划片区的表面制备掩膜层,其中,所述掩膜层对应所述划片区的区域为镂空区域;
采用掺杂工艺对所述划片区进行P型掺杂。
3.根据权利要求2所述的RB-IGBT芯片的制作方法,其特征在于,所述掺杂工艺为离子注入工艺。
4.根据权利要求1所述的RB-IGBT芯片的制作方法,其特征在于,所述P型掺杂为硼离子掺杂。
5.根据权利要求1所述的RB-IGBT芯片的制作方法,其特征在于,采用激光划片工艺沿所述P型隔离区进行划片包括:
采用激光划片工艺沿所述P型隔离区在其宽度方向的对称轴进行划片。
6.一种RB-IGBT芯片,其特征在于,所述RB-IGBT芯片采用权利要求1~5任意一项所述的RB-IGBT芯片的制作方法制作而成。