1.一种晶圆冷却装置，用于冷却晶圆，其包括：腔体；均流板，固定在所述腔体底部；喷嘴，其为喷气提供装置，设置于所述腔体的侧壁或顶壁；其特征在于：在所述喷嘴与所述均流板之间还设置有分隔层，所述分隔层上设置有多个开孔。
2.根据权利要求1中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述均流板与所述腔体可拆连接。
3.根据权利要求2中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述均流板与所述腔体通过卡扣连接。
4.根据权利要求2中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述均流板外形设置为圆形，且均流板上设置有内螺纹或外螺纹，所述腔体上设置有与之对应的外螺纹或内螺纹。
5.根据权利要求2中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述分隔层几何中心的孔正对所述均流板几何中心，其四周布置有多个以所述孔几何中心为中心点圆周阵列的孔；沿着孔阵列中心至四周扩散方向，所述分隔层上的开孔尺寸逐渐变大。
6.根据权利要求2中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述分隔层与所述腔体可拆连接。
7.根据权利要求6中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，在所述分隔层上放置有透气性填充物。
8.根据权利要求7中所述的晶圆冷却装置，其特征在于，所述透气性填充物为聚酯纤维。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的晶圆冷却装置，其特征在于，还包括供气单元，其与所述喷嘴通过管道相连。