一种晶圆冷却装置的制作方法

技术总结
本实用新型涉及了一种晶圆冷却装置，用于冷却晶圆，其包括：腔体；均流板，固定在腔体底部；喷嘴，其为喷气提供装置，设置于腔体的侧壁或顶壁；在喷嘴与均流板之间还设置有分隔层，该分隔层上设置有开孔。该晶圆冷却装置通过其腔内设置的分隔层可直接改变喷嘴的气流方向，从而解决了作用于晶圆上的气流分布不均问题。

技术研发人员：黄雷;
受保护的技术使用者：昆山成功环保科技有限公司;
技术研发日：2017.12.20
技术公布日：2018.06.26