一种基板运送装置的制作方法

本发明涉及到显示装置技术领域，尤其涉及到一种基板运送装置。

背景技术：

显示装置中有机发光显示装置因为是自主发光型显示器件，具有广视角，对比度好以及反应速度快的优点，作为新一代显示备受瞩目。这样的有机发光显示装置在互相对向的电极之间至少包含发光层在内的中间层。在上述电极之间中间层可以通过多种方法形成，其中一个方法就是蒸镀方法。使用蒸镀方法制造有机发光显示装置，将带有与形成在基板上的薄膜的图形相对应的开口图形的掩膜板,例如fmm(finemetalmask)，与玻璃进行紧密贴合，蒸镀物质通过掩膜板蒸镀到基板上从而形成希望的图形的薄膜。

掩膜板利用掩膜板拉张焊接机设备,在量产工厂内制作掩膜板然后将制作好的掩膜板送至各蒸镀设备中进行蒸镀。掩膜板与玻璃贴合不好的情况，可能会导致如colormixing一样的相互不同的蒸镀物质发生overlap从而引起不良。通过使得与玻璃接触的tp(touchplate)以及invar掩膜板sheet与玻璃很好的贴合所需的mg(magneticplate)决定贴合状态。

为确认掩膜板品质状态及掩膜板与玻璃的贴合情况，需要经过与实际量产一样的工艺进行蒸镀测试，才能确认其结果，并针对问题点进行类推确认。因此需要经过很长时间以及许多测试才能解决这样的问题。从而影响到显示装置的生产效率。

技术实现要素：

本发明提供了一种基板运送装置，用以提高显示装置的生产效率。

本发明提供了一种基板运送装置，该基板运送装置包括：支架；滑动装配在所述支架上可锁定在第一设定位置的第一支撑座，以及滑动装配在所述第一支撑座上并可锁定在第二设定位置的第二支撑座；其中，所述第一支撑座沿竖直方向滑动，所述第二支撑座沿水平方向滑动；

还包括与所述第二支撑座固定连接并用于支撑基板的支撑臂；以及用于调整所述支撑臂下垂量的调整装置。

在上述技术方案中，通过设置的调整装置调整支撑臂的下垂量，进而提高基板在放置时的准确性。进而提高基板在加工时的效率。

其中的调整装置包括穿设在所述支撑臂内的线缆，其中，所述线缆的第一端与所述支撑臂远离所述第二支撑座的一端固定连接，所述线缆的第二端穿设过所述支撑臂靠近所述第二支撑座的一端外露；且所述线缆的第二端连接有张紧力调整螺栓，且所述张紧力调整螺栓与所述支撑臂螺纹连接；

还包括穿设在所述支撑臂内并用于给所述线缆导向的多个张力导向轴；其中，所述多个张力导向轴沿所述支撑臂的长度方向设置。通过设置的线缆与张紧力调整螺栓来调整支撑臂的下垂情况，保证支撑的基板的水平度。

在具体设置张力导向轴时，所述多个张力导向轴包括：位于所述第一端的第一张力导向轴，以及位于所述第二端的第二张力导向轴，其中，所述第二张力导向轴沿竖直方向的高度低于所述第一张力导向轴沿竖直方向的高度；且所述线缆绕过所述第一张力导向轴后与所述第一端固定连接；绕过所述第二张力导向轴后穿设出所述第二端。通过张力导向轴限定线缆的拉紧方向。

在具体设置时，该支撑臂包括本体以及连接座，其中，所述连接座套装在所述本体上并与所述本体固定连接；且所述连接座上设置有支撑所述本体的凸起。通过设置的连接座提高整个支撑臂的支撑强度。

在具体设置时，还包括多个调整螺栓；其中，所述连接座通过所述多个调整螺栓与所述第二支撑座固定连接。通过多个调整螺栓更进一步的提高对支撑臂的调整效果。

在具体设置时，还包括用于调节所述第二支撑座在水平方向上位置的驱动螺栓；其中，所述驱动螺栓与所述第一支撑座转动连接，且与所述第二支撑座螺纹连接。通过设置的驱动螺栓来调整第二支撑座的水平位置。

此外，还包括设置在所述第二支撑座上并用于锁紧所述第二支撑座的锁紧把手。通过设置的锁紧把手来固定第二支撑座。

其中，所述支架上设置有竖直的滑轨，所述第一支撑座滑动装配在所述滑轨上；所述支架上还设置有多个竖直的导向杆，所述第一支撑座与所述导向杆滑动连接。通过滑轨与导向杆的配合实现第一支撑座在竖直方向上的滑动。

在具体设置时，还包括导轨，所述支架滑动装配在所述导轨上，且所述导轨上设置有用于限定所述支架滑动位置的止动器；还包括水平调节器，所述水平调节器包括与所述导轨固定连接的插销，以及固定设置在所述支架上并用于与所述插销插合的插套。通过导轨与支架之间的滑动，实现对基板的输送。并且通过设置的止动器对支架进行定位。

此外，还包括用于检测所述基板位置的红外传感器。通过设置的红外传感器来检测基板的位置。

附图说明

图1为本发明实施例提供的基板运送装置的立体图；

图2为本发明实施例提供的支撑臂的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的第二支撑座与支撑臂的连接示意图；

图4为本发明实施例提供的支架的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的基板放入到加工设备时的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

首先参考图1，如图1中所示，图1示出了基板运送装置的结构示意图。在图1所示的基板运送装置中，其包含一个支架10，由图1可以看出，该支架10为四个支撑腿以及与四个支撑腿连接的横梁组成的一个支撑框架。其作为整个基板运送装置的支撑结构。此外，在搬运基板50时，是通过与支架10连接的支撑臂40来进行支撑的。继续参考图1，在本实施例中，该支撑臂40的个数为两个，且两个支撑臂40沿水平方向并排排列。在基板50放置到基板运送装置上时，通过两个支撑臂40共同支撑基板50。

在设置支撑臂40时，为了方便调整基板50的位置，在支架10上设置了第一支撑座20以及第二支撑座30用来调整支撑臂40的位置，进而调整基板50的位置。继续参考图1，其中，设置的第一支撑座20与支架10滑动连接并可锁定在设定位置，而第二支撑座30滑动装配在第一支撑座20上并可锁定在设定位置，而支撑臂40设置在了第二支撑座30上，从而通过第一支撑座20与支架10之间的滑动以及第二支撑座30与第一支撑座20之间的滑动来调整支撑臂40的位置。其中，第一支撑座20与第二支撑座30的滑动方向相互垂直，具体的，第一支撑座20沿竖直方向滑动，而第二支撑座30沿水平方向滑动，从而可以在水平和竖直方向上调整支撑臂40。在具体实现滑动以及锁定时，可以通过不同的锁紧结构，如锁紧螺栓，或者通过驱动第一支撑座20及第二支撑座30的驱动机构自带的锁定功能来锁紧第一支撑座20及第二支撑座30，上述的锁紧结构为现有技术中常见的技术手段，在此不予赘述。同样的，对于支架10与第一支撑座20之间的滑动连接结构，以及第二支撑座30与第一支撑座20之间的滑动连接结构也为现有技术中常见的滑动连接结构，如滑轨、滑槽等结构，因此不予赘述。

继续参考图1，在支撑臂40固定在第二支撑座30上时，支撑臂40的长度方向沿支架10的一个方向延伸，从而使得支撑臂40形成一个悬臂梁的结构，由于支撑臂40具有一定的重量，以及在支撑基板50时，必然承受基板50的重量，因此，在基板50放置到支撑臂40时，不可避免的会造成支撑臂40的自由端下垂，从而造成对基板50的定位不准确。因此，在本实施例中，设置了一个调整装置70来调整支撑臂40下垂量，从而使得支撑臂40可以在支撑基板50时，保证水平的状态。

在具体设置调整装置70时，可以通过不同的装置来实现。如图2所示，图2示出了支撑臂40在具体使用时的结构示意图。该支撑臂40为一个中空的支撑臂40，调整装置70部分位于该中空结构内。具体的，该调整装置70包括一条穿设在支撑臂40内的线缆72，该线缆72为具有一定柔韧性，且拉伸方向的弹性性能比较低的线缆72，如钢丝绳或者尼龙绳、钢丝等线缆72。在具体设置该线缆72时，该线缆72的长度沿支撑臂40的长度方向。线缆72远离第二支撑座30的一端(第一端)与支撑臂40的自由端连接，线缆72靠近第二支撑座30的一端(第二端)穿过支撑臂40后通过张紧力调整螺栓71与支撑臂40螺纹连接。继续参考图2，在具体设置支撑臂40时，该支撑臂40包括本体41以及连接座42，在具体设置时，该连接座42与第二支撑座30固定连接，从而使得支撑臂40与第二支撑座30连接在一起。在连接座42与本体41连接时，连接座42套装在本体41上，并与本体41固定连接，线缆72穿设在上述的本体41内，并与本体41远离连接座42的一端固定连接。继续参考图2，在设置连接座42时，该连接座42的底部设置有一个支撑本体41的凸起421，本体41在套装在连接座42后，下方的凸起421与本体41抵压接触，且由于凸起421具有沿本体41长度方向的一定长度，因此，可以在本体41下方支撑本体41的部分更佳靠近本体41的中间位置，从而增强本体41底部的强度，以改善本体41下垂的情况。此外，在设置张紧力调整螺栓71时，该张紧力调整螺栓71与连接座42螺纹连接，而线缆72与张紧力调整螺栓71固定连接。在旋转张紧力调整螺栓71时，其旋入到连接座42内的长度会发生变化，从而带动线缆72相对支撑臂40的松紧。当张紧力调整螺栓71旋出连接座42时，其插入到连接座42内的尺寸降低，从而会拉动线缆72，使得线缆72张紧。通过线缆72的拉紧，可以将力传递到支撑臂40的自由端，从而向上拉起自由端，改善支撑臂40下垂的情况。

在具体设置线缆72时，通过设置在支撑臂40内的多个张力导向轴来限定线缆72的走向。继续参考图2，在本申请实施例提供的支撑臂40内(本体41内)还设置了多个张力导向轴，线缆72依次绕过上述的多个张力导向轴以改变线缆72的走向，进而改变线缆72拉伸力的走向。为了方便描述多个张力导向轴，将位于第一端的张力导向轴命名为第一张力导向轴79，位于第二端的张力导向轴命名为第二张力导向轴74，并且在设置时，如图2中所示，第二张力导向轴74沿竖直方向的高度低于第一张力导向轴79沿竖直方向的高度。对于位于第一张力导向轴79及第二张力导向轴74之间的张力导向轴的个数本申请实施例不做限定。以图2所示的一种具体的张力导向轴的排列方式为例，在具体设置上述的多个张力导向轴时多个张力导向轴沿本体41的长度方向排列。且多个张力导向轴在排列时，采用交错的方式排列，具体参考图2中示出的一个排列方式，沿远离连接座42的方向上，多个张力导向轴在排列时，第二张力导向轴74位于张紧力调整螺栓71的下方，第三张力导向轴75及第四张力导向轴76位于本体41的中间位置，且第三张力导向轴75及第四张力导向轴76的高度高于第二张力导向轴74的高度，同时，第一张力导向轴79的高度高于第四张力导向轴76的高度。第五张力导向轴77的高度高于第三张力导向轴75及第四张力导向轴76的高度。设置的第六张力导向轴78及第一张力导向轴79位于本体41的自由端，且第一张力导向轴79的高度低于第五张力导向轴77及第六张力导向轴78的高度。在缠绕线缆72时，线缆72与第一张力导向轴79固定连接，进而实现线缆72与支撑臂40的第一端固定连接，之后，线缆72绕过第六张力导向轴78的上方后，依次穿过第五张力导向轴77的下方，第四张力导向轴76的上方，第三张力导向轴75的下方，以及第二张力导向轴74的下放后，绕过第二张力导向轴74与张紧力调整螺栓71固定连接。当张紧力调整螺栓71旋松时，拉动线缆72与上述的张力导向轴贴紧，通过张力导向轴改变线缆72的张紧力方向，从而调整机械臂的下垂量。此外，在具体设置张力导向轴时，上述的张力导向轴仅仅为一个具体的实施方案，在本申请实施例提供的张力导向轴不限于上述图2中列举的个数，同时排列方式也不限定，具体的可以根据需要而定。

为了更进一步的提高基板50位置的准确度，在连接座42与第二支撑座30连接时，还设置了调整螺栓73，该调整螺栓73的个数为多个，且连接座42通过多个调整螺栓73与第二支撑座30固定连接。在使用时，通过调整上述的调整螺栓73可以调整连接座42与第二支撑座30的相对位置，从而可以对支撑臂40的位置进行微调，进而可以调整支撑臂40支撑的基板50的位置。如图3中所示，每个连接座42对应的调整螺栓73的个数为四个，且四个调整螺栓73对应设置在连接座42的四个边角处，在需要调整支撑臂40时，通过旋松或旋紧调整螺栓73，以改善支撑臂40的下垂情况，与线缆72一起配合改善支撑臂40的下垂量，提高对基板50的支撑效果。

在实现第一支撑座20与支架10滑动时，可以通过不同的结构来实现，如在一个具体的实施方案中，在实现第一支撑座20与支架10之间滑动时，是通过在支架10上设置竖直的滑轨，第一支撑座20滑动装配在滑轨上的方式来实现的。当然，为了保证滑动的稳定性，还可以在支架10上设置多个竖直的导向杆，第一支撑座20与导向杆滑动连接。从而保证在第一支撑座20沿竖直方向滑动时，能够具有较好的稳定性。

具体的，在实现第二支撑座30相对第一支撑座20滑动时，是通过设置的驱动螺栓80来实现的。在具体设置时，驱动螺栓80用于调节第二支撑座30在水平方向上位置。驱动螺栓80与第一支撑座20转动连接，且与第二支撑座30螺纹连接，如图3中所示，驱动螺栓80的长度方向为水平方向，在转动驱动螺栓80时，通过驱动螺栓80螺旋入第二支撑座30的距离改变第二支撑座30相对第一支撑座20的水平位置，从而驱动第二支撑座30相对第一支撑座20滑动。通过改变第二支撑座30的相对位置，来调整支撑臂40的水平位置，进而调整基板50的水平位置。此外，为了保证支撑臂40在调整时能够锁定，在具体设置时，第二支撑座30设置有用于锁紧第二支撑座30的锁紧把手90。在锁紧把手90被按压下时，锁紧把手90将第二支撑座30与第一支撑座20相对锁定，在锁紧把手90抬起时，锁紧把手90解除第二支撑座30与第一支撑座20之间的锁定，此时，通过驱动螺栓80可以驱动第二支撑座30相对第一支撑座20滑动。其中，该锁紧把手90为现有技术中常见的锁紧结构，在此不予赘述。

在本申请实施例提供的基板运送装置需要将基板50搬运到加工设备102中，在搬运过程中，需要移动支架10，为了保证基板50在运输的过程中的稳定性，如图4所示，该基板运送装置还包括导轨60，支架10滑动装配在导轨60上，从而使得支架10可以沿导轨60的设置方向进行滑动。此外，为了保证在运动到需要的位置时能够停止，在导轨60上设置有用于限定支架10滑动位置的止动器61；通过设置的止动器61来实现限定支架10滑动到位的目的。此外，由于支架10与导轨60在滑动时存在一定的晃动，为了保证支架10在停止时具有精确的定位，该基板运送装置还包括一个水平调节器，该水平调节器包括与导轨60固定连接的插销100，以及固定设置在支架10上并用于与插销100插合的插套101。其中，该插销100朝向插套101的一侧具有一个锥形的导向面，在支架10碰到止动器61之前，首先插销100与插套101配合，通过插销100与插套101的配合实现对支架10的一个精确定位。在插销100与插套101插合后，支架10继续滑动直至碰到止动器61停止。在采用上述结构时，插套101与止动器61位于同一直线上，或近似位于一条之间上，而插销100外凸到支架10外，以在支架10碰到止动器61前能够与插套101配合定位。

除了上述通过设置在导轨60上的止动器61对支架10的定位外，在对基板50进行对位时，还包括用于检测基板50位置的红外传感器103。该红外传感器103设置在了基板50的加工设备102上，如图5中所示，在基板50伸入到加工设备102内时，通过设置的红外传感器103检测基板50两侧的位置，以保证基板50在送入到加工设备102内时的准确度。在设置红外传感器103时，红外传感器103的个数为两个，每个红外传感器103包括一个发射装置以及一个接收装置，且在设置两个红外传感器103时，红外传感器103竖直设置，并且两个红外传感器103之间为基板50的插入空间，当两个红外传感器103均为检测到基板50时，说明基板50位置准确。

通过上述描述可以看出，在本申请实施例提供的基板运送装置，通过设置的调整装置70可以调整支撑臂40的下垂量，进而调整整个装置支撑基板50的准确性，提高基板50的生产效率。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。