一种基板运送装置的制作方法

文档序号:20936624发布日期:2020-06-02 19:22阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基板运送装置,其特征在于,包括:支架;滑动装配在所述支架上可锁定在第一设定位置的第一支撑座,以及滑动装配在所述第一支撑座上并可锁定在第二设定位置的第二支撑座;其中,所述第一支撑座沿竖直方向滑动,所述第二支撑座沿水平方向滑动;

还包括与所述第二支撑座固定连接并用于支撑基板的支撑臂;以及用于调整所述支撑臂下垂量的调整装置。

2.如权利要求1所述的基板运送装置,其特征在于,所述调整装置包括穿设在所述支撑臂内的线缆,其中,所述线缆的第一端与所述支撑臂远离所述第二支撑座的一端固定连接,所述线缆的第二端穿设过所述支撑臂靠近所述第二支撑座的一端外露;且所述线缆的第二端连接有张紧力调整螺栓,且所述张紧力调整螺栓与所述支撑臂螺纹连接;

还包括穿设在所述支撑臂内并用于给所述线缆导向的多个张力导向轴;其中,所述多个张力导向轴沿所述支撑臂的长度方向设置。

3.如权利要求2所述的基板运送装置,其特征在于,所述多个张力导向轴包括:位于所述第一端的第一张力导向轴,以及位于所述第二端的第二张力导向轴,其中,所述第二张力导向轴沿竖直方向的高度低于所述第一张力导向轴沿竖直方向的高度;且所述线缆绕过所述第一张力导向轴后与所述第一端固定连接;绕过所述第二张力导向轴后穿设出所述第二端。

4.如权利要求1所述的基板运送装置,其特征在于,所述支撑臂包括本体以及连接座,其中,所述连接座套装在所述本体上并与所述本体固定连接;且所述连接座上设置有支撑所述本体的凸起。

5.如权利要求4所述的基板运送装置,其特征在于,还包括多个调整螺栓;其中,所述连接座通过所述多个调整螺栓与所述第二支撑座固定连接。

6.如权利要求5所述的基板运送装置,其特征在于,还包括用于调节所述第二支撑座在水平方向上位置的驱动螺栓;其中,所述驱动螺栓与所述第一支撑座转动连接,且与所述第二支撑座螺纹连接。

7.如权利要求6所述的基板运送装置,其特征在于,还包括设置在所述第二支撑座上并用于锁紧所述第二支撑座的锁紧把手。

8.如权利要求1~7任一项所述的基板运送装置,其特征在于,所述支架上设置有竖直的滑轨,所述第一支撑座滑动装配在所述滑轨上;所述支架上还设置有多个竖直的导向杆,所述第一支撑座与所述导向杆滑动连接。

9.如权利要求8所述的基板运送装置,其特征在于,还包括导轨,所述支架滑动装配在所述导轨上,且所述导轨上设置有用于限定所述支架滑动位置的止动器;还包括水平调节器,所述水平调节器包括与所述导轨固定连接的插销,以及固定设置在所述支架上并用于与所述插销插合的插套。

10.如权利要求8所述的基板运送装置,其特征在于,还包括用于检测所述基板位置的红外传感器。


技术总结
本发明提供了一种基板运送装置,该基板运送装置包括:支架;滑动装配在所述支架上可锁定在第一设定位置的第一支撑座,以及滑动装配在所述第一支撑座上并可锁定在第二设定位置的第二支撑座;其中,所述第一支撑座沿竖直方向滑动,所述第二支撑座沿水平方向滑动;还包括与所述第二支撑座固定连接并用于支撑基板的支撑臂;以及用于调整所述支撑臂下垂量的调整装置。在上述技术方案中,通过设置的调整装置调整支撑臂的下垂量,进而提高基板在放置时的准确性。进而提高基板在加工时的效率。

技术研发人员:金薰;李兆晟;曹景博
受保护的技术使用者:合肥欣奕华智能机器有限公司
技术研发日:2018.11.26
技术公布日:2020.06.02
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