一种简单的肖特基二极管芯片的制作方法

文档序号:17134134发布日期:2019-03-19 20:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种简单的肖特基二极管芯片,包括衬底(6)以及设置在衬底(6)上方的外延层(4),在外延层(4)的两侧分别设置有耐压环,在外延层(4)表面设置有肖特基界面(7),其特征在于:在耐压环的外侧设置有绝缘侧壁(10),绝缘侧壁(10)包括绝缘沟槽(13)以及填充在绝缘沟槽(13)内的绝缘材料,绝缘侧壁(10)与耐压环的底面垂直设置,绝缘侧壁自耐压环的上部向下依次穿过耐压环、外延层(4)后开设在衬底(6)内部,芯片切割位置为耐压环中部的绝缘材料处。

2.根据权利要求1所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:所述的耐压环包括耐压环沟槽(3),在耐压环沟槽(3)的内壁上设置有沟槽内氧化层(2),在耐压环沟槽(3)内还填充有多晶硅(9)。

3.根据权利要求2所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:在所述的耐压环沟槽(3)之间还设置有若干有源区沟槽(5),在有源区沟槽(5)的内壁上设置有沟槽内氧化层(2),在有源区沟槽(5)内填充有多晶硅(9)。

4.根据权利要求1所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:所述的耐压环为与外延层(4)半导体类型相反的半导体材质。

5.根据权利要求4所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:在所述耐压环的内侧还设置有若干有源区内结(15),有源区内结为与外延层(4)半导体类型相反的半导体材质。

6.根据权利要求1所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:在所述外延层(4)的表面还设置有阳极金属层(1)。

7.根据权利要求1所述的简单的肖特基二极管芯片,其特征在于:在所述衬底(6)的底面还设置有阴极金属层(8)。

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