石英承载装置的制作方法

本实用新型涉及石英技术领域，具体而言，涉及一种石英承载装置。

背景技术：

目前，在相关技术中，现有的石英承载装置在承载晶圆片时，相邻连个晶圆片处于贴合状态，因此晶圆片之间不存在间隙，这将不利于晶圆片的散热，从而会对晶圆片造成一定的损坏。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一

为此，本实用新型的提出一种石英承载装置。

有鉴于此，本实用新型提供了一种石英承载装置，用于承载晶圆片，石英承载装置包括：第一固定板、固定轴和第二固定板；至少两个固定轴的一端与第一固定板相连接，固定轴上设置有至少两个固定槽，相邻两个固定槽间存在间隔，且晶圆片嵌于固定槽中；第二固定板与至少两个固定轴的另一端相连接，以使固定轴水平放置；其中，至少两个固定槽均匀设置在固定轴上，以使相邻两个晶圆片之间的距离相同。

在该技术方案中，通过将至少两个固定轴的一端与第一固定板相连接，并将至少两个固定轴的另一端与第二固定板相连接，以实现使固定轴水平放置；通过在固定轴上设置有至少两个固定槽，并使晶圆片嵌于固定槽中，以实现将晶圆片固定在石英承载装置中，且由于固定轴处于水平状态，因此可提高晶圆片放置的稳定性。同时，由于相邻两个固定槽间存在间隔，可实现嵌于固定槽中晶圆片之间也存有间隙，以避免晶圆片之间相互贴合，从而提高晶圆片的散热效率；并将至少两个固定槽均匀设置固定轴上，以实现相邻两个嵌于固定槽中的晶圆片之间的距离相同，从而实现使多个晶圆片的散热效率相同，以避免多个晶圆片出现散热不均，进而提高晶圆片的散热效率及磷扩硼扩时长膜均匀。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的石英承载装置还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，固定轴为四个。

在该技术方案中，通过将固定轴设置为四个，以实现对晶圆片多点定位，从而提高固定晶圆片的稳定性，并避免因晶圆片发生晃动而致使相邻两个晶圆片之间距离过小，导致晶圆片的散热不均的情况发生，进一步使晶圆片的散热更加均匀，进而提高了晶圆片的散热效率。

在上述技术方案中，优选地，其中两个固定轴分别与第一固定板和第二固定板的底部相连接；其余两个固定轴分别与第一固定板和第二固定板的中部相连接。

在该技术方案中，通过将其中两个固定轴分别与第一固定部和第二固定板的底部相连接，并将其余两个固定轴分别与第一固定板和第二固定板的中部相连接，不仅可实现多个固定轴与第一固定部和第二固定板之间的多点连接，从而提高固定轴与第一固定板和第二固定板连接的牢固性，以避免石英承载装置发生解体的情况，进而使石英承载装置处于稳定状态，还可实现使晶圆片的受力更加均匀，从而使晶圆片更加稳定的固定在固定轴中，进而提高固定晶圆片的稳定性，并避免因晶圆片发生晃动而致使相邻两个晶圆片之间距离过小，导致晶圆片的散热不均的情况发生，进一步使晶圆片的散热更加均匀，进而提高了晶圆片的散热效率。

在上述技术方案中，优选地，固定槽包括：第一本体和引导部；第一本体为矩形槽；引导部与第一本体相连接，且引导部截面的两侧边的距离由第一本体向背离第一本体方向逐渐增大。

在该技术方案中，通过将第一本体设置为矩形槽，以增大放置晶圆片的空间，从而使晶圆片嵌于固定槽中；通过将引导部与第一本体相连接，并使引导部截面的两侧边的距离由第一本体向背离第一本体方向逐渐增大，以实现使引导部呈喇叭口状，从而降低晶圆片进入到第一本体内的难度，不仅可降低晶圆片嵌入到固定槽的难度，从而降低操作者的劳动强度，还可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在上述技术方案中，优选地，引导部截面的两侧边呈预定角度。

在该技术方案中，通过使引导部截面的两侧边呈预定角度，可实现通过设置引导部的开口角度，进一步降低晶圆片嵌入到固定槽的难度，从而降低操作者的劳动强度，并可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在上述技术方案中，优选地，第二固定板包括：第二本体和定位孔；定位孔设置在第二本体上。

在该技术方案中，通过将定位孔设置在第二本体上，以实现通过定位孔将石英承载装置定位，并实现将第二固定板设置为基础点，以便于将晶圆片按一定的顺序排列，从而为后续工序提供便利，进而提高了生产效率。

在上述技术方案中，优选地，石英承载装置为石英体。

在该技术方案中，通过将石英承载装置设置为石英体，以实现将石英承载装置设置为绝缘体，从而使晶圆片处于绝缘环境，以防止电流对晶圆片产生损坏，进而提高了晶圆片的质量。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英承载装置的结构示意图；

图2为图1示出了根据本实用新型的一个实施例的石英承载装置的结构示意图的局部放大图；

图3示出了根据本实用新型的另一个实施例的石英承载装置的结构示意图；

其中，图1至图3中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10第一固定板，20固定轴，202固定槽，2022第一本体，2024引导部，30第二固定板，302第二本体，304定位孔。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图3描述根据本实用新型一些实施例所述石英承载装置。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，本实用新型提供了一种石英承载装置，用于承载晶圆片，石英承载装置包括：第一固定板10、固定轴20和第二固定板30；至少两个固定轴20的一端与第一固定板10相连接，固定轴20上设置有至少两个固定槽202，相邻两个固定槽202间存在间隔，且晶圆片嵌于固定槽202中；第二固定板30与至少两个固定轴20的另一端相连接，以使固定轴20水平放置；其中，至少两个固定槽202均匀设置在固定轴20上，以使相邻两个晶圆片之间的距离相同。

在该实施例中，通过将至少两个固定轴20的一端与第一固定板10相连接，并将至少两个固定轴20的另一端与第二固定板30相连接，以实现使固定轴20水平放置；通过在固定轴20上设置有至少两个固定槽202，并使晶圆片嵌于固定槽202中，以实现将晶圆片固定在石英承载装置中，且由于固定轴20处于水平状态，因此可提高晶圆片放置的稳定性。同时，由于相邻两个固定槽202间存在间隔，可实现嵌于固定槽202中晶圆片之间也存有间隙，以避免晶圆片之间相互贴合，从而提高晶圆片的散热效率；并将至少两个固定槽202均匀设置固定轴20上，以实现相邻两个嵌于固定槽202中的晶圆片之间的距离相同，从而实现使多个晶圆片的散热效率相同，以避免多个晶圆片出现散热不均，进而提高晶圆片的散热效率及磷扩硼扩时长膜均匀。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图3所示，固定轴20为四个。

在该实施例中，通过将固定轴20设置为四个，以实现对晶圆片多点定位，从而提高固定晶圆片的稳定性，并避免因晶圆片发生晃动而致使相邻两个晶圆片之间距离过小，导致晶圆片的散热不均的情况发生，进一步使晶圆片的散热更加均匀，进而提高了晶圆片的散热效率。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图3所示，其中两个固定轴20分别与第一固定板10和第二固定板30的底部相连接；其余两个固定轴20分别与第一固定板10和第二固定板30的中部相连接。

在该实施例中，通过将其中两个固定轴20分别与第一固定部和第二固定板30的底部相连接，并将其余两个固定轴20分别与第一固定板10和第二固定板30的中部相连接，不仅可实现多个固定轴20与第一固定部和第二固定板30之间的多点连接，从而提高固定轴20与第一固定板10和第二固定板30连接的牢固性，以避免石英承载装置发生解体的情况，进而使石英承载装置处于稳定状态，还可实现使晶圆片的受力更加均匀，从而使晶圆片更加稳定的固定在固定轴20中，进而提高固定晶圆片的稳定性，并避免因晶圆片发生晃动而致使相邻两个晶圆片之间距离过小，导致晶圆片的散热不均的情况发生，进一步使晶圆片的散热更加均匀，进而提高了晶圆片的散热效率。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，固定槽202包括：第一本体2022和引导部2024；第一本体2022为矩形槽；引导部2024与第一本体2022相连接，且引导部2024截面的两侧边的距离由第一本体2022向背离第一本体2022方向逐渐增大。

在该实施例中，通过将第一本体2022设置为矩形槽，以增大放置晶圆片的空间，从而使晶圆片嵌于固定槽202中；通过将引导部2024与第一本体2022相连接，并使引导部2024截面的两侧边的距离由第一本体2022向背离第一本体2022方向逐渐增大，以实现使引导部2024呈喇叭口状，从而降低晶圆片进入到第一本体2022内的难度，不仅可降低晶圆片嵌入到固定槽202的难度，从而降低操作者的劳动强度，还可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，引导部2024截面的两侧边呈预定角度。

在该实施例中，通过使引导部2024截面的两侧边呈预定角度，可实现通过设置引导部2024的开口角度，进一步降低晶圆片嵌入到固定槽202的难度，从而降低操作者的劳动强度，并可提高装配晶圆片的效率，从而提升产品的使用体验。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，第二固定板30包括：第二本体302和定位孔304；定位孔304设置在第二本体302上。

在该实施例中，通过将定位孔304设置在第二本体302上，以实现通过定位孔304将石英承载装置定位，并实现将第二固定板30设置为基础点，以便于将晶圆片按一定的顺序排列，从而为后续工序提供便利，进而提高了生产效率。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，石英承载装置为石英体。

在该实施例中，通过将石英承载装置设置为石英体，以实现将石英承载装置设置为绝缘体，从而使晶圆片处于绝缘环境，以防止电流对晶圆片产生损坏，进而提高了晶圆片的质量。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。