1.一种石英承载装置,用于承载晶圆片,其特征在于,所述石英承载装置包括:
第一固定板;
固定轴,至少两个所述固定轴的一端与所述第一固定板相连接,所述固定轴上设置有至少两个固定槽,相邻两个所述固定槽间存在间隔,且所述晶圆片嵌于所述固定槽中;
第二固定板,所述第二固定板与至少两个所述固定轴的另一端相连接,以使所述固定轴水平放置;
其中,至少两个所述固定槽均匀设置在所述固定轴上,以使相邻两个所述晶圆片之间的距离相同。
2.根据权利要求1所述的石英承载装置,其特征在于:
所述固定轴为四个。
3.根据权利要求2所述的石英承载装置,其特征在于:
其中两个所述固定轴分别与所述第一固定板和所述第二固定板的底部相连接;
其余两个所述固定轴分别与所述第一固定板和所述第二固定板的中部相连接。
4.根据权利要求1所述的石英承载装置,其特征在于,所述固定槽包括:
第一本体,所述第一本体为矩形槽;
引导部,所述引导部与所述第一本体相连接,且所述引导部截面的两侧边的距离由所述第一本体向背离所述第一本体方向逐渐增大。
5.根据权利要求4所述的石英承载装置,其特征在于:
所述引导部截面的两侧边呈预定角度。
6.根据权利要求1所述的石英承载装置,其特征在于,所述第二固定板包括:
第二本体;
定位孔,所述定位孔设置在所述第二本体上。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的石英承载装置,其特征在于:
所述石英承载装置为石英体。