一种抑制浮体效应的新型SOI器件的制作方法

文档序号:16709537发布日期:2019-01-22 22:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种抑制浮体效应的新型SOI器件,其特征在于,包括SOI衬底,所述SOI衬底包括从下往上依次层叠的底部硅层、中间BOX埋层和顶层硅膜,所述顶层硅膜的两侧形成有浅槽隔离层,所述顶层硅膜中注入有P离子形成P型硅,所述顶层硅膜的上表面依次设有栅极氧化物和栅电极,所述栅极氧化物和栅电极组成栅极,所述栅极在顶层硅膜的上表面呈Y型分布,所述栅极正下方的顶层硅膜中注入金属离子形成有一金属层,所述栅极一侧的源区掺杂形成有源区超浅结,所述栅极另一侧的漏区掺杂形成有漏区超浅结,所述栅极的周围形成有栅极侧墙,所述源区超浅结下方离子注入形成有源区晕环区,所述漏区超浅结下方离子注入形成有漏区晕环区,所述源区超浅结的表面形成有源极硅化物,所述栅极的表面形成有栅极硅化物,所述漏区超浅结的表面形成有漏极硅化物,所述源极硅化物的表面形成有源电极,所述漏极硅化物的表面形成有漏电极。

2.根据权利要求1所述的抑制浮体效应的新型SOI器件,其特征在于,所述顶层硅膜的厚度为100~200nm。

3.根据权利要求1所述的抑制浮体效应的新型SOI器件,其特征在于,所述金属层的厚度为1~20nm,所述金属层距离顶层硅膜的上表面为50~200nm。

4.根据权利要求1所述的抑制浮体效应的新型SOI器件,其特征在于,所述金属层中的金属为Au、Cu、Fe、Mn和In中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的抑制浮体效应的新型SOI器件,其特征在于,所述源极硅化物、栅极硅化物和漏极硅化物为钛化硅、钴化硅和镍化硅中的任意一种。

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