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半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备与流程
文档序号:17780891
发布日期:2019-05-28 20:56
阅读:
来源:国知局
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半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备与流程
技术特征:
技术总结
公开了一种半导体器件及其制造方法及包括该器件的电子设备。根据实施例,半导体器件可以包括:衬底;依次叠置在衬底上且彼此邻接的第一源/漏区、沟道区和第二源/漏区,围绕沟道区的外周形成有栅堆叠;其中,在栅堆叠与第一源/漏区和第二源/漏区之间,以围绕沟道区的外周的形式分别设置有间隔物。
技术研发人员:
朱慧珑
受保护的技术使用者:
中国科学院微电子研究所
技术研发日:
2019.02.03
技术公布日:
2019.05.28
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