集成电路及静态随机存取存储器单元的制作方法

文档序号:20208799发布日期:2020-03-31 10:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种集成电路,包括:

一第一静态随机随机存取存储器单元,包括一第一p型半导体鳍片、一第一混合鳍片、一第二混合鳍片、以及一第二p型半导体鳍片,并以上述第一p型半导体鳍片、上述第一混合鳍片、上述第二混合鳍片、以及上述第二p型半导体鳍片的顺序沿着一第一方向设置,且沿着大致上垂直于上述第一方向的一第二方向纵向地定向,其中上述第一混合鳍片及上述第二混合鳍片皆包括一介电部分及一半导体部分;

一第一介电鳍片,设置于上述第一p型半导体鳍片与上述第一混合鳍片之间;

一第二介电鳍片,设置于上述第二混合鳍片与上述第二p型半导体鳍片之间,

其中上述第一介电鳍片及上述第二介电鳍片皆沿着上述第二方向纵向地定向,且上述第一混合鳍片与上述第二混合鳍片之间的间距,大于上述第一混合鳍片与上述第一介电鳍片之间的间距以及上述第二混合鳍片与上述第二介电鳍片之间的间距;以及

多个栅极结构,沿着上述第一方向纵向地定向,并沿着上述第二方向彼此间隔,其中上述栅极结构接合上述第一介电鳍片、上述第二介电鳍片、上述第一p型半导体鳍片、上述第二p型半导体鳍片、上述第一混合鳍片、以及上述第二混合鳍片中的一或多者。

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