1.一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,包括:
中部圆孔贯通的压片底座(1),所述压片底座(1)的圆孔内通过弹性压片(11)搭载有与压片底座(1)端部齐平的下压板(9);
位于圆筒内挤压下压板(9)的速干罩(2),所述速干罩(2)内设置有螺纹,上压内筒(8)与速干罩(2)螺纹连接、并伸入所述圆孔,所述上压内筒(8)侧壁设有调节上压内筒(8)伸入圆孔距离的压片拨杆(13),所述压片底座(1)上开设有压片拨杆(13)转动的缺口槽(12)。
2.根据权利要求1所述的一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,所述下压板(9)上端开设有凹槽(6),下端具有与凹槽(6)和外部连通的多个过风孔(10)。
3.根据权利要求2所述的一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,所述速干罩(2)内具有向下设置的风扇(7),上端设置有进风口(5)。
4.根据权利要求2或3所述的一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,所述的过风孔(10)为上小下大的开口。
5.根据权利要求1所述的一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,所述的速干罩(2)罩壁上设置有连接柱(3),所述连接柱(3)上开设有上、下贯通的螺纹孔(4),锁紧螺栓穿过螺纹孔(4)连接压片底座(1)。
6.根据权利要求1所述的一种基于光电器件中的晶圆压片器,其特征在于,所述压片底座(1)四角分别连接导柱(14)。