激光质谱检测仪及激光光学组件的制作方法

[0001]
本实用新型涉及质谱检测技术领域，特别是涉及一种激光质谱检测仪及激光光学组件。


背景技术：

[0002]
激光质谱法是依靠激光使待分析样品离子化的质谱分析方法。近年来在无机微量元素、有机物质和生物分子分析领域得到了广泛应用。激光质谱检测仪的种类繁多，包括基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪、激光溅射电离飞行时间质谱仪、单颗粒气溶胶飞行时间质谱仪、激光电离与电感耦合等离子体质谱联用仪等，尤其是基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪，在生命科学领域占据了举足轻重的地位。
[0003]
但随着激光技术的发展，激光质谱检测仪的激光器的激光发射频率越来越高，从最开始的几十hz到现在的数千hz乃至数十千hz。其中，激光电离质谱分析的速率与激光频率正相关，激光质谱检测仪的激光器的激光发射频率越来越高时，一定程度能改善激光质谱检测仪的检测速率与使用寿命，然而激光质谱检测仪在进行检测的过程中，同时样品靶移动平台的移动频率需要同步提高，这样会对用于驱动样品靶移动平台的驱动电机和丝杠与导轨的质量要求增高，长时间高频率的驱动移动平台，有损移动平台精度和稳定性，无法与高频率激光同步稳定的工作。如此不能实现提高激光质谱检测仪的检测分析效率。


技术实现要素：

[0004]
基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种激光质谱检测仪及激光光学组件，它能够提高质谱检测分析效率。
[0005]
其技术方案如下：一种激光光学组件，所述激光光学组件包括：激光器，所述激光器用于发射激光；第一反射镜、第一电机，所述第一反射镜用于将所述激光器发射的激光进行反射，所述第一反射镜与所述第一电机的动力转轴相连，所述第一电机的动力转轴设置方向为第一方向，所述第一电机用于驱动所述第一反射镜绕所述第一方向进行摆动；第二反射镜与第二电机，所述第二反射镜用于将所述第一反射镜反射后的激光进行反射，所述第二反射镜反射出的激光用于送入到离子源腔体中，所述第二反射镜与所述第二电机的动力转轴相连，所述第二电机的动力转轴设置方向为第二方向，所述第二电机用于驱动所述第二反射镜绕所述第二方向进行摆动，所述第一方向与所述第二方向为两个不同方向。
[0006]
上述的激光光学组件，在进行检测工作时，第一电机驱动第一反射镜绕第一方向来回摆动，第二电机驱动第二反射镜绕第二方向来回摆动，从而能实现将激光器的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品的其中一个检测区域，然后可以由激光质谱检测仪的移动组件将样品台进行移动，同样地将激光器的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品的另一个检测区域。如此可见，这样激光质谱检测仪的移动组件无需较高频率地驱动样品台，而是通过第一电机与第二电机分别驱动第一反射镜、第二反射镜进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器的工作要求，能提高质谱检测分析效率。
[0007]
在其中一个实施例中，所述激光光学组件还包括安装板、第一支架及第二支架；所述安装板用于装设于所述离子源腔体的外部；所述第一支架与所述第二支架均装设于所述安装板上，所述第一电机装设于第一支架上，所述第二电机装设于所述第二支架上。
[0008]
在其中一个实施例中，所述安装板上与所述激光器相对应的部位并背离所述激光器的一侧间隔设有若干个散热片；所述安装板为散热金属板。
[0009]
在其中一个实施例中，所述第一电机的动力转轴垂直于所述安装板的板面，所述第一反射镜以所述第一电机的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动；所述第二电机的动力转轴平行于所述安装板的板面，所述第二反射镜以所述第二电机的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动。
[0010]
在其中一个实施例中，所述第一反射镜与所述激光器发射出的激光之间设有第一夹角，所述第一夹角为40
°
至50
°
；所述第一反射镜反射出的激光与所述第二反射镜之间设有第二夹角，所述第二夹角为40
°
至50
°
；所述第一反射镜的摆动角度范围为-3
°
至3
°
，所述第二反射镜的摆动角度范围为-3
°
至3
°
。
[0011]
在其中一个实施例中，所述激光光学组件还包括壳体、第一聚焦透镜、准直透镜和第二聚焦透镜，所述激光器发出的激光经所述第一聚焦透镜产生发散的激光束，所述发散的激光束经所述准直透镜后成为准直的激光束，所述准直的激光束经所述第二聚焦透镜聚焦后能够经所述光学反射机构反射后入射到样品上；所述第一聚焦透镜、所述准直透镜以及所述第二聚焦透镜设于所述壳体内，且所述第一聚焦透镜与所述准直透镜之间的距离可调。
[0012]
在其中一个实施例中，所述激光器为固体激光器或n2激光器。
[0013]
一种激光质谱检测仪，包括所述的激光光学组件，还包括照明组件、成像组件以及离子源组件；所述离子源组件包括离子源腔体、光学反射机构、引出极片、样品台以及移动组件；所述光学反射机构、所述样品台及所述引出极片均设于所述离子源腔体内，所述样品台及所述引出极片位于所述光学反射机构的下方，所述移动组件用于移动所述样品台；所述激光光学组件、所述照明组件及所述成像组件均位于所述离子源腔体的外部；所述激光光学组件发出的激光经所述光学反射机构反射后射到样品表面；所述照明组件发出的照明光经所述光学反射机构反射后照射到样品表面，所述成像组件用于接收由所述样品反射的照明光以用于样品成像。
[0014]
上述的激光质谱检测仪，在进行检测工作时，第一电机驱动第一反射镜绕第一方向来回摆动，第二电机驱动第二反射镜绕第二方向来回摆动，从而能实现将激光器的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品的其中一个检测区域，然后可以由激光质谱检测仪的移动组件将样品台进行移动，同样地将激光器的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品的另一个检测区域。如此可见，这样激光质谱检测仪的移动组件无需较高频率地驱动样品台，而是通过第一电机与第二电机分别驱动第一反射镜、第二反射镜进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器的工作要求，能提高质谱检测分析效率。
[0015]
在其中一个实施例中，所述激光质谱检测仪还包括设置于所述离子源腔体内的样品靶板，所述样品靶板上设有用于放置样品的若干个样品孔，所述样品靶板设置于所述样品台上。
[0016]
在其中一个实施例中，所述激光质谱检测仪还包括控制器，所述控制器分别与所
述激光器、所述第一电机、所述第二电机、所述照明组件、所述成像组件及所述移动组件电性连接。
附图说明
[0017]
构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。
[0018]
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]
图1为本实用新型一实施例所述的激光光学组件的其中一视角结构图；
[0020]
图2为本实用新型一实施例所述的激光光学组件的另一视角结构图；
[0021]
图3为本实用新型一实施例所述的激光光学组件的主视图；
[0022]
图4为本实用新型一实施例所述的激光光学组件的俯视图；
[0023]
图5为本实用新型一实施例所述的激光光学组件的侧视图；
[0024]
图6为本实用新型一实施例所述的激光质谱检测仪的简化示意图；
[0025]
图7为本实用新型一实施例所述的待测样品例如为组织切片时的结构示意图；
[0026]
图8为将图7示意出的待测样品划分成若干个检测区域时的结构示意图；
[0027]
图9为图8中示意出的其中一个检测区域依次进行照射布置激光光斑时的结构示意图；
[0028]
图10为本实用新型一实施例所述的样品靶板的结构示意图；
[0029]
图11为将图10示意出的样品靶板的样品孔所在区域划分成abcd四个检测区域时的结构示意图。
[0030]
10、激光光学组件；11、激光器；12、第一反射镜；13、第一电机；14、第二反射镜；15、第二电机；16、安装板；161、散热片；17、第一支架；18、第二支架；181、透光孔；19、壳体；20、照明组件；30、成像组件；31、光学镜头；32、拍摄装置；40、离子源组件；41、离子源腔体；42、光学反射机构；421、反射面；43、引出极片；44、样品台；45、移动组件；50、样品靶板；51、样品孔；60、待测样品；61、检测区域；70、激光光斑。
具体实施方式
[0031]
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
[0032]
参阅图1至图5，图1示意出了本实用新型一实施例激光光学组件10的其中一视角结构图，图2示意出了本实用新型一实施例激光光学组件10的另一视角结构图，图3至图5分别示意出了激光光学组件10的三视图。本实用新型一实施例提供的一种激光光学组件10，激光光学组件10包括：激光器11、第一反射镜12、第一电机13、第二反射镜14与第二电机15。
激光器11用于发射激光。第一反射镜12用于将激光器11发射的激光进行反射，第一反射镜12与第一电机13的动力转轴相连。第一电机13的动力转轴设置方向为第一方向，第一电机13用于驱动第一反射镜12绕第一方向进行摆动。第二反射镜14用于将第一反射镜12反射后的激光进行反射，第二反射镜14反射出的激光用于送入到离子源腔体41中，第二反射镜14与第二电机15的动力转轴相连。第二电机15的动力转轴设置方向为第二方向，第二电机15用于驱动第二反射镜14绕第二方向进行摆动。第一方向与第二方向为两个不同方向。
[0033]
上述的激光光学组件10，在进行检测工作时，第一电机13驱动第一反射镜12绕第一方向来回摆动，第二电机15驱动第二反射镜14绕第二方向来回摆动，从而能实现将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的其中一个检测区域61，然后可以由激光质谱检测仪的移动组件45将样品台44进行移动，同样地将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的另一个检测区域61。如此可见，这样激光质谱检测仪的移动组件45无需较高频率(较高频率指的是1000hz以上)地驱动样品台44，而是通过第一电机13与第二电机15分别驱动第一反射镜12、第二反射镜14进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器11的工作要求，能提高质谱检测分析效率。
[0034]
具体而言，第一方向例如为竖向方向，也就是如图3中垂直于安装板16的板面方向；第二方向例如为水平方向，也就是如图3中平行于安装板16的板面方向。如此，第一电机13用于驱动第一反射镜12绕第一方向进行摆动时，能相应调整激光光斑70(如图9所示)打在检测区域61(如图9所示)的x轴方向上的位置，第二电机15用于驱动第二反射镜14绕第二方向进行摆动时，能相应调整激光光斑70打在检测区域61的y轴方向上的位置,由于第一方向与第二方向相互垂直，x轴与y轴便相应相互垂直。当第一方向与第二方向并非相互垂直时，x轴与y轴便相应也并不是相互垂直，而是与第一方向与第二方向之间的夹角相一致，也是能够实现将激光器11发射出的激光，以激光光斑70的形式依次布满整个检测区域61。需要说明的是，第一方向与第二方向之间的夹角不进行限定。
[0035]
此外，第一方向也可以是沿着水平方向设置，第二方向相应为沿着竖直方向设置，这样第一方向与第二方向刚好与上述实施例中的第一方向与第二方向相反，也是可行的方案，在此不进行限定。
[0036]
请参阅图1、图2及图4，进一步地，激光光学组件10还包括安装板16、第一支架17及第二支架18。安装板16用于装设于离子源腔体41的外部。第一支架17与第二支架18均装设于安装板16上，第一电机13装设于第一支架17上，第二电机15装设于第二支架18上。
[0037]
可以理解的是，当第一方向为竖向方向设置时，第一电机13以呈竖向方式的姿态装设于第一支架17上，具体是设置于第一支架17的顶部，当然也可以设置于第一支架17的底部。同样地，当第二方向为水平方向设置时，第二电机15以水平方式的姿态装设于第二支架18上，具体是设置于第二支架18的其中一侧。
[0038]
进一步而言，第一支架17、第二支架18均例如包括若干个连接板拼接组装形成或者一体成型，连接板上设有用于避让激光的透光孔181，透光孔181能避开激光光束，不会对激光光束造成遮挡，使得激光光束顺利地反射到离子腔体的内部并打在样品台44上的待测样品60上。
[0039]
请参阅图1、图2及图4，进一步地，安装板16上与激光器11相对应的部位并背离激光器11的一侧间隔设有若干个散热片161。具体而言，安装板16为散热金属板。例如为散热
铝板、散热铜板等等，在此不进行限定。如此，能较好地将激光器11工作过程中产生的热量及时地向外扩散出去，保证激光器11正常工作。
[0040]
请参阅图1、图2及图4，进一步地，第一电机13的动力转轴垂直于安装板16的板面，第一反射镜12以第一电机13的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动。第二电机15的动力转轴平行于安装板16的板面，第二反射镜14以第二电机15的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动。此外，具体而言，激光器11发射出的激光是平行于安装板16的板面方向，并射向第一反射镜12。
[0041]
请参阅图1、图2及图4，在一个实施例中，第一反射镜12与激光器11发射出的激光之间设有第一夹角，第一夹角具体例如为40
°
至50
°
。此外，第一反射镜12反射出的激光与第二反射镜14之间设有第二夹角，第二夹角具体例如为40
°
至50
°
。如此，能实现照射到待测样品60上的激光光斑70的亮度较为均匀，保证检测效果。
[0042]
此外，可选地，第一反射镜12的摆动角度范围为-3
°
至3
°
，第二反射镜14的摆动角度范围为-3
°
至3
°
。如此，能实现照射到待测样品60上的激光光斑70的亮度较为均匀，保证检测效果。
[0043]
在一个实施例中，激光光学组件10还包括壳体19、第一聚焦透镜、准直透镜和第二聚焦透镜，激光器11发出的激光经第一聚焦透镜产生发散的激光束，发散的激光束经准直透镜后成为准直的激光束，准直的激光束经第二聚焦透镜聚焦后能够经光学反射机构42反射后入射到样品上；第一聚焦透镜、准直透镜以及第二聚焦透镜设于壳体19内，且第一聚焦透镜与准直透镜之间的距离可调。
[0044]
需要说明的是，壳体19具体可以是两个壳体19单体、三个壳体19单体、或多个壳体19单体，在此不进行限定。各个壳体19单体之间可以相互移动，也可以相对固定，在此也不进行限定。壳体19单体的设置位置也不进行限定，只要沿着激光光路进行设置即可。
[0045]
在使用时，可以通过调节第一聚焦透镜与准直透镜之间的距离来实现对激光光斑70大小的连续调节，使用方便。
[0046]
在一个实施例中，激光器11为固体激光器11或n2激光器11。较佳地，激光器11采用固体激光器11，相对于n2激光器11，它具有寿命长，脉冲时间短，体积小巧，高重复频率等优点，有助于提高质谱检测装置分辨率以及降低维护的频次。当然，激光器11也可以采用其它类型的激光器11，在此不进行限定。
[0047]
在一个具体示例中，激光光学组件10还包括滤光片。滤光片可以是但不限于中性密度滤光片等，用于调节激光束的能量。更具体地，滤光片可设于第二聚焦透镜之后，以用于调节由第二聚焦透镜聚焦后的激光束的能量。
[0048]
进一步地，该激光光学组件10还包括滤光调节机构。滤光调节机构与滤光片连接，以用于带动滤光片转动。滤光调节机构可以是舵机等机构，其转动可以带动滤光片转动，进而实现对激光能力的连续调节。
[0049]
请参阅图1、图2及图6，图6示意出了本实用新型一实施例激光质谱检测仪的简化示意图。在一个实施例中，一种激光质谱检测仪，包括上述任一实施例激光光学组件10，还包括照明组件20、成像组件30以及离子源组件40。离子源组件40包括离子源腔体41、光学反射机构42、引出极片43、样品台44以及移动组件45。光学反射机构42、样品台44及引出极片43均设于离子源腔体41内，样品台44及引出极片43位于光学反射机构42的下方，移动组件
45用于移动样品台44。激光光学组件10、照明组件20及成像组件30均位于离子源腔体41的外部。激光光学组件10发出的激光经光学反射机构42反射后射到样品表面。照明组件20发出的照明光经光学反射机构42反射后照射到样品表面，成像组件30用于接收由样品反射的照明光以用于样品成像。
[0050]
需要说明的是，激光质谱检测仪可以是基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪、激光溅射电离飞行时间质谱仪、单颗粒气溶胶飞行时间质谱仪、激光电离与电感耦合等离子体质谱联用仪等，在此不进行限定。
[0051]
上述的激光质谱检测仪，在进行检测工作时，第一电机13驱动第一反射镜12绕第一方向来回摆动，第二电机15驱动第二反射镜14绕第二方向来回摆动，从而能实现将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的其中一个检测区域61，然后可以由激光质谱检测仪的移动组件45将样品台44进行移动，同样地将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的另一个检测区域61。如此可见，这样激光质谱检测仪的移动组件45无需较高频率(较高频率指的是1000hz以上)地驱动样品台44，而是通过第一电机13与第二电机15分别驱动第一反射镜12、第二反射镜14进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器11的工作要求，能提高质谱检测分析效率。
[0052]
请参阅图10，图10示意出了本实用新型一实施例样品靶板50的结构示意图，图10中示意出的样品靶板50上的样品孔51仅仅例如为四个，其它样品孔51均省略未示意出。进一步地，激光质谱检测仪还包括设置于离子源腔体41内的样品靶板50。样品靶板50上设有用于放置样品的若干个样品孔51，样品靶板50设置于样品台44上。其中，样品靶板50上的样品孔51数量不进行限定，根据需要极性设置。可以在样品靶板50上的不同样品孔51中装设不同种类的待测样品60，从而可以对不同种类的待测样品60进行检测。需要说明的是，样品靶板上不一定设置样品孔51，例如可以是导电玻璃或不锈钢片，也是可行的方案。
[0053]
进一步地，激光质谱检测仪还包括控制器。控制器分别与激光器11、第一电机13、第二电机15、照明组件20、成像组件30及移动组件45电性连接。
[0054]
进一步地，成像组件30用于接收由待测样品60反射的照明光。待测样品60反射的照明光光线与经光学反射机构42反射的照明光光线以垂直于样品台44的垂线对称设置。在一个具体的示例中，样品反射的照明光经由光学反射机构42反射后射入成像组件30。
[0055]
更具体地，成像组件30包括光学镜头31和拍摄装置32。由光学反射机构42反射出的照明光经由光学镜头31捕获后摄入拍摄装置32进行成像。拍摄装置32例如可以是ccd成像装置，且还可以与外接显示装置连接，进行拍摄图像的显示。
[0056]
作为一个示例，激光光学组件10、照明组件20以及成像组件30围绕离子源腔体41的外部设置。离子源腔体41上对应激光光学组件10、照明组件20以及成像组件30开设有三个透明窗口。
[0057]
进一步地，照明组件20的光源与成像组件30的光学镜头31相对设置。
[0058]
更进一步地，激光光学组件10发出的激光的入射方向垂直于经光学反射机构42反射后的照明光光线与由待测样品60反射的照明光光线所确定的平面。
[0059]
在一个具体的示例中，光学反射机构42具有三个反射面421，分别用于将入射的激光反射至待测样品60、将照明组件20发出的照明光反射至待测样品60以及将待测样品60反射的照明光反射至成像组件30。如图6所示，以经光学反射机构42反射的照明光光线与垂直
样品台44的轴线呈5
°
夹角为例，用于反射照明光的反射面421与入射的照明光光线呈42.5
°
的夹角，同理，用于反射由样品反射的照明光的反射面421与出射至成像组件30的照明光线也呈42.5
°
的夹角。同样，当经光学反射机构42反射的激光光线与垂直于样品台44的轴线的夹角也为5
°
时，用于反射激光的反射面421与入射的激光光线也呈42.5
°
的夹角。
[0060]
进一步地，以上部为正八面柱体结构的离子源腔体41为例，具体地，照明组件20与成像组件30分别对应于离子源腔体41的八面柱体结构部分的两个相对的侧壁，激光光学组件10对应于离子源腔体41的八面柱体结构部分的另一侧壁且该侧壁与照明组件20或成像组件30对应的侧壁之间间隔有一侧壁。图6所示的示意图中未示出激光光路，激光光路垂直于经光学反射机构42反射后的照明光光线与由样品反射的照明光光线所确定的平面。
[0061]
更进一步地，在一个具体示例中，光学反射机构42位于离子源腔体41的中部，经光学反射机构42反射后的照明光光线与由样品反射的照明光光线以离子源腔体41的中轴线对称。
[0062]
为了尽可能降低激光入射方向与质谱飞行管中轴的角度，整个离子源组件40的引出极片43等都安装在光学反射机构42的下方，并且引出极片43的极片内孔的设计可以保证激光和照明光能够顺利到达样品表面而不会受到引出极片43的影响。因此，经反射之后的激光能够以非常小的角度到达样品表面，将样品电离，照明产生的面光源能够通过引出极片43中间的孔阵列到达成像组件30。
[0063]
请参阅图6至图9，图7示意出了本实用新型一实施例待测样品60例如为组织切片时的结构示意图，图8示意出了将图7示意出的待测样品60划分成若干个检测区域61时的结构示意图，图9示意出了图8中示意出的其中一个检测区域61依次进行照射布置激光光斑70时的结构示意图。
[0064]
在一个实施例中，一种上述任一实施例激光质谱检测仪的检测方法，包括如下步骤：
[0065]
将待测样品60放置在样品台44上；
[0066]
通过移动组件45移动样品台44，将样品台44依次移动到位置不同的多个区域位置，多个区域位置分别与待测样品60的多个检测区域61一一对应；
[0067]
样品台44移动到每个区域位置时，通过第一电机13驱动第一反射镜12摆动，以及通过第二电机15驱动第二反射镜14摆动，以将激光器11照射到待测样品60上的激光光斑70依次照射并布满于区域位置对应的检测区域61；
[0068]
照明组件20发出的照明光经光学反射机构42反射后照射到待测样品60表面，成像组件30接收由待测样品60反射的照明光将待测样品60成像。
[0069]
上述的激光质谱检测仪，在进行检测工作时，第一电机13驱动第一反射镜12在第一方向上来回摆动，第二电机15驱动第二反射镜14在第二方向上来回摆动，从而能实现将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的其中一个检测区域61，然后可以由激光质谱检测仪的移动组件45将样品台44进行移动，同样地将激光器11的光斑以扫描的方式依次照射并布满待测样品60的另一个检测区域61。如此可见，这样激光质谱检测仪的移动组件45无需较高频率地驱动样品台44，而是通过第一电机13与第二电机15分别驱动第一反射镜12、第二反射镜14进行动作即可，从而能满足较高频率的激光器11的工作要求，能提高质谱检测分析效率。
[0070]
请参阅图8，在一个实施例中，待测样品60的多个检测区域61呈“s”字形顺序依次进行检测。如此，能便于实现将待测样品60的多个检测区域61依次进行检测，工作效率较高。当然，待测样品60的多个检测区域61也可以采用其它次序进行检测，例如将待测样品60的检测区域61采用逐排且从左到右的方式依次进行检测，在此不进行限定。
[0071]
同样地，激光器11照射到待测样品60上的激光光斑70依次照射并布满于检测区域61的具体方法为：激光器11照射到待测样品60上的激光光斑70具体是呈“s”字形顺序依次照射并布满于检测区域61。如此，能实现激光光斑70快速高效地布满同一个检测区域61。当然，也可以采用其它的方式将激光光斑70照射并布满检测区域61，例如将激光光斑70采用逐排且从左到右的方式依次布满检测区域61，再例如将激光光斑70采用逐列且从上到下的方式依次布满检测区域61，在此不进行限定。
[0072]
请参阅图9，图9示意出了图8中示意出的其中一个检测区域61依次进行照射布置激光光斑70时的结构示意图。在一个实施例中，检测区域61为方形区。具体而言，方形区的边长大小为0.5mm至4mm。激光光斑70例如为半径是5μm至1000μm可调的圆形或方形光斑。本实施例中，图9示意出的方形区的边长大小具体为1.5mm，激光光斑70具体为半径是100μm的圆形光斑。
[0073]
请再参阅图7与图8，在一个实施例中，将待测样品60放置在样品台44上步骤之后，以及通过移动组件45移动样品台44步骤之前还包括步骤：
[0074]
待测样品60为组织切片，获取待测样品60在样品台44上的放置位置，以及获取待测样品60的图像信息，并将图像信息划分为多个检测区域61；根据放置位置信息以及多个检测区域61确定多个区域位置。
[0075]
请再参阅图10与图11，图10示出了本实用新型一实施例样品靶板50的结构示意图，图11示出了将图10示意出的样品靶板50的样品孔51所在区域划分成abcd四个检测区域61时的结构示意图。在一个实施例中，将待测样品60放置在样品台44上的具体步骤为：在样品台44上放置有样品靶板50，待测样品60放置在样品靶板50的样品孔51中。其中，样品孔51的孔径例如为3mm，通常将样品孔51所在区域划分为abcd四个检测区域61，并将激光器11照射到待测样品60上的激光光斑70依次照射并布满于区域位置对应的检测区域61。
[0076]
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0077]
以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
[0078]
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0079]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0080]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[0081]
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0082]
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。