激光质谱检测仪及激光光学组件的制作方法

文档序号:23969185发布日期:2021-02-18 21:55阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种激光光学组件,其特征在于,所述激光光学组件包括:激光器,所述激光器用于发射激光;第一反射镜、第一电机,所述第一反射镜用于将所述激光器发射的激光进行反射,所述第一反射镜与所述第一电机的动力转轴相连,所述第一电机的动力转轴设置方向为第一方向,所述第一电机用于驱动所述第一反射镜绕所述第一方向进行摆动;第二反射镜与第二电机,所述第二反射镜用于将所述第一反射镜反射后的激光进行反射,所述第二反射镜反射出的激光用于送入到离子源腔体中,所述第二反射镜与所述第二电机的动力转轴相连,所述第二电机的动力转轴设置方向为第二方向,所述第二电机用于驱动所述第二反射镜绕所述第二方向进行摆动,所述第一方向与所述第二方向为两个不同方向。2.根据权利要求1所述的激光光学组件,其特征在于,所述激光光学组件还包括安装板、第一支架及第二支架;所述安装板用于装设于所述离子源腔体的外部;所述第一支架与所述第二支架均装设于所述安装板上,所述第一电机装设于第一支架上,所述第二电机装设于所述第二支架上。3.根据权利要求2所述的激光光学组件,其特征在于,所述安装板上与所述激光器相对应的部位并背离所述激光器的一侧间隔设有若干个散热片;所述安装板为散热金属板。4.根据权利要求2所述的激光光学组件,其特征在于,所述第一电机的动力转轴垂直于所述安装板的板面,所述第一反射镜以所述第一电机的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动;所述第二电机的动力转轴平行于所述安装板的板面,所述第二反射镜以所述第二电机的动力转轴的轴向方向为中心轴进行摆动。5.根据权利要求4所述的激光光学组件,其特征在于,所述第一反射镜与所述激光器发射出的激光之间设有第一夹角,所述第一夹角为40
°
至50
°
;所述第一反射镜反射出的激光与所述第二反射镜之间设有第二夹角,所述第二夹角为40
°
至50
°
;所述第一反射镜的摆动角度范围为-3
°
至3
°
,所述第二反射镜的摆动角度范围为-3
°
至3
°
。6.根据权利要求1所述的激光光学组件,其特征在于,所述激光光学组件还包括壳体、第一聚焦透镜、准直透镜和第二聚焦透镜,所述激光器发出的激光经所述第一聚焦透镜产生发散的激光束,所述发散的激光束经所述准直透镜后成为准直的激光束,所述准直的激光束经所述第二聚焦透镜聚焦后能够经光学反射机构反射后入射到样品上;所述第一聚焦透镜、所述准直透镜以及所述第二聚焦透镜设于所述壳体内,且所述第一聚焦透镜与所述准直透镜之间的距离可调。7.根据权利要求1至6任意一项所述的激光光学组件,其特征在于,所述激光器为固体激光器或n2激光器。8.一种激光质谱检测仪,其特征在于,包括如权利要求1至7任意一项所述的激光光学组件,还包括照明组件、成像组件以及离子源组件;所述离子源组件包括离子源腔体、光学反射机构、引出极片、样品台以及移动组件;所述光学反射机构、所述样品台及所述引出极片均设于所述离子源腔体内,所述样品台及所述引出极片位于所述光学反射机构的下方,所述移动组件用于移动所述样品台;所述激光光学组件、所述照明组件及所述成像组件均位于所述离子源腔体的外部;所述激光光学组件发出的激光经所述光学反射机构反射后射到样品表面;所述照明组件发出的照明光经所述光学反射机构反射后照射到样品表面,所
述成像组件用于接收由所述样品反射的照明光以用于样品成像。9.根据权利要求8所述的激光质谱检测仪,其特征在于,所述激光质谱检测仪还包括设置于所述离子源腔体内的样品靶板,所述样品靶板上设有用于放置样品的若干个样品孔,所述样品靶板设置于所述样品台上。10.根据权利要求8所述的激光质谱检测仪,其特征在于,所述激光质谱检测仪还包括控制器,所述控制器分别与所述激光器、所述第一电机、所述第二电机、所述照明组件、所述成像组件及所述移动组件电性连接。
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