技术特征：
1.一种堆叠式晶圆快速降温装置,包括进水底座（1）、制冷盘体（3）、盘体连接件（2）、进水管（6）、出水管（7）组成，其特征在于：进水底座（1）与进水管（6）、出水管（7）相连，第一层制冷盘体（3）安装在进水底座（1）上，第一层制冷盘体（3）与第二层制冷盘体（3）通过盘体连接件（2）连接，进水底座（1）、制冷盘体（3）、盘体连接件（2）内部设置有相连通的管道，共同组成内部循环通道（8）。2.根据权利要求1所述的一种堆叠式晶圆快速降温装置，其特征在于，所述制冷盘体（3）上盘面四周安装有限位挡柱（4）；所述的制冷盘体（3）上设置有真空用环形沟槽（5），与真空发生装置相连。3.根据权利要求1所述的一种堆叠式晶圆快速降温装置，其特征在于进水底座（1）、制冷盘体（3）、盘体连接件（2）之间采用密封圈进行密封。4.根据权利要求1所述的一种堆叠式晶圆快速降温装置，多个制冷盘体（3）可通过盘体连接件（2）连接组装。