一种降低侧壁缺陷复合的Micro-LED芯片结构的制作方法

文档序号:25202847发布日期:2021-05-28 11:07阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种降低侧壁缺陷复合的micro-led芯片结构,其特征是,p型重掺杂半导体材料层仅位于p型半导体材料层上方中间区域;n型材料传输层完全覆盖p型半导体材料层和p型重掺杂半导体材料露出层;n型材料传输层与部分p型半导体材料层直接接触。

2.如权利要求1所述的芯片结构,其特征是,p型半导体材料层边缘暴露部分的面积占其总面积的1%~80%。

3.如权利要求1所述的芯片结构,其特征是,n型材料传输层为gan、gap、zno、ito、石墨烯、azo、ni/au或al的材料层。

4.如权利要求1所述的芯片结构,其特征是,micro-led芯片为标准micro-led芯片中的任意一种,从下至上依次包括衬底、缓冲层、非掺杂半导体材料层、n型半导体材料层、多量子阱层、p型限制层、p型半导体材料层、p型重掺杂半导体材料层和n型材料传输层和相应的p型欧姆电极和n型欧姆电极。


技术总结
本实用新型公开了一种降低侧壁缺陷复合Micro‑LED芯片结构,在传统Micro‑LED芯片结构基础之上,P型重掺杂半导体材料层仅位于P型半导体材料层上方中间区域;N型材料传输层完全覆盖P型半导体材料层和P型重掺杂半导体材料露出层;N型材料传输层与部分P型半导体材料层直接接触。所述的芯片结构P型半导体材料层边缘暴露部分的面积占其总面积的1%~80%。利用N型材料传输层与P型半导体材料层在接触界面处形成的反偏结,耗尽P型半导体材料层中的空穴,从而减小芯片侧壁区域的非辐射复合效应,同时还能够提高注入电流的横向限制作用,以此来减小显示像素点之间的光学串扰效应。

技术研发人员:寇建权
受保护的技术使用者:天津赛米卡尔科技有限公司
技术研发日:2020.11.11
技术公布日:2021.05.28
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