一种用于燃料电池金属双极板的薄膜及其制备方法与流程

技术总结
本发明公开了一种用于燃料电池金属双极板的薄膜及其制备方法，该薄膜由氧化物掺杂氮化物组成，氧化物为Al2O3、TiO2、ZrO2、SiO2中一种或两种以上物质混合而成，氮化物为CrN、TiN、NbN、ZrN中的一种；该薄膜中氧化物的百分含量为1


技术研发人员：李栓 汤思遥 杜军钊 李彤岩 李星国 李松
受保护的技术使用者：北京华胜信安电子科技发展有限公司
技术研发日：2021.02.23
技术公布日：2021/5/14