技术特征：
1.一种叉指背面结构制作方法，其特征在于，包括以下步骤：在衬底表面图形化印刷浆料以形成多个浆料区域，所述浆料包括硼浆料和磷浆料中的一种，所述浆料区域和非浆料区域相交叉；处理印刷完浆料的衬底，以使硼原子和磷原子分别扩散到所述衬底内，形成p型区和n型区；对形成p型区和n型区的衬底表面进行清洗。2.根据权利要求1所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，处理印刷完浆料的衬底以使硼原子和磷原子分别扩散到所述衬底内形成p型区和n型区，包括：在所述浆料为硼浆料时，扩散源为pocl3，对印刷完硼浆料的衬底进行磷扩散；在所述浆料为磷浆料时，扩散源为bbr3或bcl3，对印刷完磷浆料的衬底进行硼扩散。3.根据权利要求2所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，对印刷完硼浆料的衬底进行磷扩散，包括：将所述印刷完浆料的衬底放入扩散炉，通入n2和o2，控制扩散温度在750-1000℃范围内，以使硼原子扩散入衬底，形成p型区，并在印刷硼浆料的衬底生长一层硼硅玻璃；通入n2，o2和磷源，扩散温度在750-900℃之间，以使衬底背面没有印刷硼浆料的区域形成n型区。4.根据权利要求2所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，对印刷完磷浆料的衬底进行硼扩散，包括：将所述印刷完浆料的衬底放入扩散炉，通入n2和o2，控制扩散温度在750-1000℃范围内，以使磷原子扩散入衬底，形成n型区，并在印刷磷浆料的衬底生长一层磷硅玻璃；通入n2，o2和硼源，扩散温度在750-900℃之间，控制压强1kpa-30kpa，以使衬底背面没有印刷磷浆料的区域形成p型区。5.根据权利要求1所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，处理印刷完浆料的衬底以使硼原子和磷原子分别扩散到所述衬底内形成p型区和n型区，包括：在所述非浆料区域印刷所述硼浆料和所述磷浆料中的另一种，以形成多个硼浆料区域和多个磷浆料区域，所述硼浆料区域和所述磷浆料区域相交叉；向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射激光，以使硼原子和磷原子分别扩散到衬底内，形成p型区和n型区。6.根据权利要求5所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，在所述向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射激光的步骤中，控制激光为蓝光、绿光或者紫光，脉冲宽度为纳秒、皮秒或者飞秒。7.根据权利要求5所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，所述向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射激光的步骤，具体包括：向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射具有相同参数的激光；和/或，根据所述硼浆料区域和/或所述磷浆料区域的图形，向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射具有对应参数的激光。8.根据权利要求7所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，所述向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射具有相同参数的激光的步骤中，控制激光为蓝光或者绿光，脉冲宽度为纳秒或者皮秒；
所述根据所述硼浆料区域和/或所述磷浆料区域的图形向所述硼浆料区域和所述磷浆料区域发射具有对应参数的激光的步骤中，控制激光为绿光或者紫光，脉冲宽度为皮秒或飞秒。9.根据权利要求5所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，所述硼浆料区域和所述磷浆料区域之间设有间隙。10.根据权利要求5-9任一项所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，所述制作方法还包括以下步骤：对衬底上的硼浆料区域和磷浆料区域进行烘干。11.根据权利要求5-9任一项所述的叉指背面结构制作方法，其特征在于，所述对形成p型区和n型区的衬底表面进行清洗的步骤中，具体包括：将形成p型区和n型区的衬底分别放入碱性药液、氢氟酸药液以及盐酸药液中进行清洗。12.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：在衬底正面制成绒面；如权利要求1至11任一项所述的方法，制成叉指背面结构；分别在衬底的正面和背面沉积钝化减反射薄膜；在衬底背面制作电极。13.根据权利要求12所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述分别在衬底的正面和背面沉积钝化减反射薄膜的步骤之后，还包括：在衬底背面的钝化减反射薄膜上进行图形化开槽。14.根据权利要求12所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述分别在衬底的正面和背面沉积钝化减反射薄膜的步骤之前，还包括：在衬底正面进行扩散，形成掺杂层。15.根据权利要求12所述的太阳能电池的制作方法，其特征在于，所述钝化减反射薄膜包括sinx薄膜、alox薄膜、siox薄膜、sioxny薄膜、非晶硅薄膜中的至少一种。16.一种太阳能电池，其特征在于，通过如权利要求12至15任一项所述的方法制成。
技术总结
本发明适用于太阳能电池技术领域，提供了一种制作方法和太阳能电池。叉指背面结构制作方法包括以下步骤：在衬底表面图形化印刷浆料以形成多个浆料区域，浆料包括硼浆料和磷浆料中的一种，浆料区域和非浆料区域相交叉；处理印刷完浆料的衬底，以使硼原子和磷原子分别扩散到衬底内，形成P型区和N型区；对形成P型区和N型区的衬底表面进行清洗。这样，操作流程简单，且没有精度要求，有利于提高叉指背面结构的制作效率。的制作效率。的制作效率。
技术研发人员：盛健 解观超 张小明 林纲正 陈刚
受保护的技术使用者：天津爱旭太阳能科技有限公司 广东爱旭科技有限公司
技术研发日：2021.03.31
技术公布日：2022/10/20