一种便于清理的半导体镀膜设备的制作方法

文档序号:27623359发布日期:2021-11-29 14:48阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种便于清理的半导体镀膜设备,包括主处理箱(1),其特征在于,所述主处理箱(1)的底面固定粘接有底垫块(2),所述主处理箱(1)的一侧边水平开设有抽屉槽(3),所述抽屉槽(3)的内侧边插接有储料箱体(4),所述主处理箱(1)的一侧边镶嵌有控制面板(5),所述主处理箱(1)的两侧边对称螺栓连接有固定侧板(6),所述固定侧板(6)之间侧边对接有活动外罩(7),所述主处理箱(1)的顶面水平对接有密封顶板(8),所述密封顶板(8)的顶面螺栓连接有提拉把手(9),所述主处理箱(1)的两侧边对称开设有拨动槽(10),所述拨动槽(10)的内侧边卡接有拨动块(11),所述主处理箱(1)的内侧边固定套接有保温层(12),所述保温层(12)的内侧边水平固定熔接有隔离板(13),所述保温层(12)的内侧边设置有传输管道(14),所述传输管道(14)的侧边均匀焊接有喷洒头(15),所述主处理箱(1)的两侧边对称开设有侧通孔(16),所述固定侧板(6)之间侧边水平开设有滑动槽(17),所述保温层(12)的内侧边固定卡接有固定块(18),所述固定块(18)在远离保温层(12)的一侧边垂直插接有插接管(19),所述保温层(12)的内侧边竖直向对称开设有卡接竖槽(20),所述卡接竖槽(20)的内侧顶面水平卡接有密封块(21),所述卡接竖槽(20)的侧边水平开设有套接槽(22),所述套接槽(22)的内侧边水平固定卡接有支撑弹簧(23),所述主处理箱(1)在远离抽屉槽(3)的一侧边螺栓连接有后封板(24),所述后封板(24)的内侧边螺栓连接有蒸发机体(25),所述后封板(24)的内侧边螺栓连接有抽取泵(26),所述密封顶板(8)的底面垂直向下对称焊接有延伸侧板(27),所述延伸侧板(27)的侧边竖直向开设有活动槽(28),所述活动槽(28)的内侧边顶端位置套接有翻转框(29),所述延伸侧板(27)的侧边对称焊接有限位块(30),所述延伸侧板(27)的内侧边竖直向插接有连接竖杆(31),所述连接竖杆(31)的侧边插接有连接杆(32),所述连接竖杆(31)在远离连接杆(32)的一侧边均匀插接有插杆(33),所述延伸侧板(27)的侧边均匀对接有边槽板(34),所述边槽板(34)之间侧边水平开设有边滑槽(35),所述边滑槽(35)的内侧边卡接有滚动轮(36),所述滚动轮(36)的中心轴线位置水平插接有延伸杆(37),所述延伸杆(37)在远离滚动轮(36)的一端水平设置有卡料块(38),所述储料箱体(4)的顶面螺栓连接有密封盖(39),所述储料箱体(4)的一侧边固定卡接有密封塞(40),所述活动外罩(7)的内侧边固定卡接有翻转电机(41),所述翻转电机(41)的输出端固定套接有矩形块(42),所述活动外罩(7)的两侧边螺栓连接有驱动块(43)。2.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述主处理箱(1)的顶面开设有开口,底垫块(2)的个数为四个,且四个底垫块(2)分别固定设置在主处理箱(1)的底面四边角位置,四个底垫块(2)均采用硬质橡胶材料制作设置,抽屉槽(3)水平开设在主处理箱(1)的一侧边靠近底面位置,且抽屉槽(3)的内部与保温层(12)的内部保持通接设置,储料箱体(4)的一侧边设置有拉槽,且储料箱体(4)水平贯穿抽屉槽(3)延伸至保温层(12)的内侧底面位置。3.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述固定侧板(6)的个数为四块,且四块固定侧板(6)分别两两一组平行对称固定设置在主处理箱(1)的两侧边,同一组固定侧板(6)分别对称设置在侧通孔(16)的两侧边缘位置,活动外罩(7)的个数为两个,且两个活动外罩(7)分别水平设置在两组固定侧板(6)之间位置。4.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述拨动槽(10)分别水平开设在主处理箱(1)的两侧边靠近顶面位置,且拨动槽(10)开设在固定侧板(6)的同一侧边位置,拨动槽(10)贯穿主处理箱(1)的侧壁与套接槽(22)的内部均一一对应
保持通接设置,拨动块(11)的插接端贯穿拨动槽(10)延伸至套接槽(22)的内部,且延伸端垂直固定设置在密封块(21)的侧边一端位置。5.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述隔离板(13)水平固定设置在保温层(12)的内侧靠近底面位置,且隔离板(13)的底面水平对接在储料箱体(4)的顶面位置,传输管道(14)分别镶嵌设置在隔离板(13)的顶面和远离固定侧板(6)的两侧边保温层(12)的内侧边位置,喷洒头(15)的输出端均对接在保温层(12)的侧边孔内侧边位置,且喷洒头(15)的内部与传输管道(14)的内部保持通接设置。6.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述侧通孔(16)均水平贯穿主处理箱(1)的侧壁和保温层(12)延伸至内部保持通接设置,固定块(18)固定设置在保温层(12)的侧边靠近底面位置,且固定块(18)的侧边对接在密封塞(40)的侧边位置,插接管(19)通过管道与抽取泵(26)的输入端保持通接设置,且插接管(19)的一端水平贯穿密封塞(40)延伸至储料箱体(4)的内侧边位置,密封块(21)水平卡接设置在卡接竖槽(20)的顶开口端位置。7.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述套接槽(22)水平开设在卡接竖槽(20)的侧边顶端位置,且密封块(21)的一端水平卡接在套接槽(22)的内侧边位置,支撑弹簧(23)的一端对接在密封块(21)的一端位置,蒸发机体(25)和抽取泵(26)相互之间通过管道保持通接设置,且蒸发机体(25)的输出端与传输管道(14)的内部保持通接设置,蒸发机体(25)和抽取泵(26)均与控制面板(5)的内部保持电性连接设置,延伸侧板(27)的个数为两块,且两块延伸侧板(27)分别对称固定设置在密封顶板(8)的底面靠近两侧边位置,两块延伸侧板(27)的侧边对接在保温层(12)的内侧边位置。8.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述活动槽(28)竖直向开设在延伸侧板(27)的侧边中心线位置,且底端贯穿延伸侧板(27)的底面延伸至外侧边,翻转框(29)呈u形形状设置,且开口向下设置套接在矩形块(42)的外侧边位置,限位块(30)分别固定设置在延伸侧板(27)的侧边靠近底面位置,且限位块(30)分别对应卡接在卡接竖槽(20)的内侧边位置,连接竖杆(31)的个数为四根,且四根连接竖杆(31)分别两两一组对称平行设置在延伸侧板(27)的内侧槽道位置,连接杆(32)的一端垂直插接在翻转框(29)的侧边位置。9.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备,其特征在于,所述插杆(33)在远离连接竖杆(31)的一端水平插接在边槽板(34)的侧边靠近两端位置,边槽板(34)的个数为多根,且多根边槽板(34)分别两两一组叠加式平行排布在延伸侧板(27)之间侧边位置,卡料块(38)的个数与边槽板(34)的个数保持一致设置,且卡料块(38)的两端固定套接在延伸杆(37)的一端位置,密封塞(40)采用软质橡胶材料设置,翻转电机(41)的输出端水平贯穿侧通孔(16)延伸至活动槽(28)的内侧边位置,驱动块(43)分别一一对应卡接在滑动槽(17)的内侧边位置。

技术总结
本发明公开了一种便于清理的半导体镀膜设备,涉及半导体镀膜领域,包括主处理箱,所述主处理箱的底面固定粘接有底垫块,所述主处理箱的一侧边水平开设有抽屉槽,所述抽屉槽的内侧边插接有储料箱体,所述主处理箱的一侧边镶嵌有控制面板,所述主处理箱的两侧边对称螺栓连接有固定侧板,所述固定侧板之间侧边对接有活动外罩,所述主处理箱的顶面水平对接有密封顶板,所述密封顶板的顶面螺栓连接有提拉把手,所述主处理箱的两侧边对称开设有拨动槽,所述拨动槽的内侧边卡接有拨动块。本发明装置设计一体化结构简单操作方便,在采用了翻滚式的镀膜方式使得膜料附着更加的均匀高效,同时卡扣式的连接方式使得便于拆卸下后进行直接性清洗处理。性清洗处理。性清洗处理。


技术研发人员:汪乐
受保护的技术使用者:杭州很美网络科技有限公司
技术研发日:2021.07.19
技术公布日:2021/11/28
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