阵列基板、显示面板及其制作方法与流程

文档序号:27261063发布日期:2021-11-05 21:57阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括显示区和goa区,所述goa区包括顶栅型晶体管,所述顶栅型晶体管包括依次设置的第一有源层、第一栅极、桥接层和第一源漏极,所述显示区包括底栅型晶体管,所述底栅型晶体管包括依次设置的第二栅极、第二有源层和第二源漏极;所述第一栅极与所述第二栅极同层设置,所述第一源漏极与所述第二源漏极同层设置,所述第一源漏极通过所述桥接层与所述第一有源层连接,所述桥接层与所述第二有源层同层设置。2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括栅极绝缘层和层间介质层;所述栅极绝缘层位于所述第一有源层与所述第一栅极之间,所述层间介质层位于所述栅极绝缘层和所述第一栅极上;所述栅极绝缘层和所述层间介质层中设有开口,所述桥接层位于所述层间介质层上,并通过所述开口与所述第一有源层连接,所述第一源漏极位于所述层间介质层和所述桥接层上。3.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述显示区还包括触控走线,所述触控走线与所述第一源漏极、所述第二源漏极同层设置。4.如权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述显示区还包括公共电极和像素电极;所述公共电极位于所述第二源漏极背离所述第二栅极的一侧,所述像素电极位于所述公共电极背离所述第二源漏极的一侧;所述像素电极分别与所述公共电极、所述触控走线、所述第二源漏极连接。5.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述底栅型晶体管为igzo晶体管,所述顶栅型晶体管为ltps晶体管。6.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1至5任一项所述的阵列基板。7.一种显示面板的制作方法,其特征在于,所述显示面板包括显示区和goa区,所述方法包括:在goa区中形成第一有源层;在所述第一有源层的一侧形成第一金属层,所述第一金属层包括位于所述goa区中的第一栅极,以及位于所述显示区中的第二栅极;在所述第一金属层背离所述第一有源层的一侧形成半导体层,所述半导体层包括位于所述goa区中的桥接层,以及位于所述显示区中的第二有源层,且所述桥接层与所述第一有源层连接;在所述半导体层背离所述第一金属层的一侧形成第二金属层,所述第二金属层包括位于所述goa区的第一源漏极,以及位于所述显示区中的第二源漏极,且所述第一源漏极与所述桥接层连接。8.如权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述在所述第一有源层的一侧形成第一金属层之前,还包括:在所述第一有源层上形成栅极绝缘层,所述第一金属层位于所述栅极绝缘层上;所述在所述第一金属层背离所述第一有源层的一侧形成半导体层,包括:
在所述栅极绝缘层和所述第一金属层上形成层间介质层;在所述goa区中的栅极绝缘层和层间介质层中开设开口,以裸露所述第一有源层;在所述层间介质层上形成半导体层,使所述goa区中的半导体层延伸至所述开口的侧壁和底部,以构成与所述第一有源层连接的所述桥接层,并使所述显示区中的半导体层构成所述第二有源层。9.如权利要求8所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述在所述层间介质层上形成半导体层之前,还包括:对所述开口中的氧化物进行清洗,所述氧化物由裸露的第一有源层氧化形成。10.如权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第二金属层还包括位于所述显示区中的触控走线。

技术总结
本申请公开了一种阵列基板、显示面板及其制作方法。所述阵列基板包括显示区和GOA区,所述GOA区包括顶栅型晶体管,所述顶栅型晶体管包括依次设置的第一有源层、第一栅极、桥接层和第一源漏极,所述显示区包括底栅型晶体管,所述底栅型晶体管包括依次设置的第二栅极、第二有源层和第二源漏极;所述第一栅极与所述第二栅极同层设置,所述第一源漏极与所述第二源漏极同层设置,所述第一源漏极通过所述桥接层与所述第一有源层连接,所述桥接层与所述第二有源层同层设置。本申请能够在简化工艺制程的基础上,保证晶体管电性正常,提高晶体管的稳定性。定性。定性。


技术研发人员:刘广辉 艾飞 尹国恒 舒照伟
受保护的技术使用者:武汉华星光电技术有限公司
技术研发日:2021.07.29
技术公布日:2021/11/4
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1