一种硅板提篮的制作方法

1.本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域，尤其涉及一种硅板提篮。


背景技术：

2.在扩散清洗过程中，对于5寸硅片，通常是利用一种材质为多晶硅的硅板来作为扩散5寸硅片的硅源管的两侧挡板，其厚度尺寸通常为9mm左右，其直径尺寸通常在150mm左右,而此硅板通常较大较厚而且较脆。
3.目前，正常处理硅材料的工装是特氟龙片架，注塑而成的，适用的厚度最大到2.0mm，对于此硅板没有较好工装适配，导致搬运扩散清洗此硅板时较为麻烦。


技术实现要素：

4.本技术实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种硅板提篮，用于解决硅板搬运不方便的问题。
5.本技术实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种硅板提篮，其包括：立板，两所述立板相对间隔设置；
6.至少两限位杆，所述限位杆连接在两所述立板之间，所述限位杆上间隔开设有限位槽；
7.提手，所述提手两端分别连接两所述立板。
8.相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：
9.利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构，间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板，保证硅板之间互不接触，且方便每块硅板的取出，连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。
10.进一步地，还包括锁紧销，所述锁紧销连接相互匹配插接的所述限位杆与所述立板，用于紧固连接所述限位杆与所述立板。
11.利用锁紧销锁紧与立板插接的限位杆，保证限位杆在立板上连接的稳固性，同时锁紧销使得立板与限位杆可拆卸式连接，不使用时，将提篮拆卸后归纳放置减少存放空间。
12.进一步地，所述立板上远离所述限位杆一面开设有与所述锁紧销匹配的销孔，所述销孔轴心线与所述限位杆轴心线平行，所述销孔轮廓与所述限位杆端部轮廓相交。
13.进一步地，所述销孔与所述锁紧销过盈配合。
14.在立板与限位杆的接合处设置与锁紧销过盈配合的销孔，通过锁紧销张紧限位杆在立板上的端部，紧固结合限位杆和立板。
15.进一步地，所述锁紧销及所述销孔中分别设置有相互匹配的外螺纹和内螺纹。
16.通过锁紧销与销孔螺接匹配，方便紧固限位杆与立板的同时，还可以方便锁紧销的拆卸，方便限位杆与立板的拆卸。
17.进一步地，所述限位杆设置为三根，三根所述限位杆呈非锐角v形排布。
18.将限位杆设置为三根呈v形排布，不仅可以从三个方向对硅板起到支撑作用，底部
的限位杆能够起到支撑作用，三根限位杆承托住硅板的外周，将硅板立在限位杆的限位槽中，存放稳固，同时放置拿取均方便。
19.进一步地，所述限位杆设置为四根，四根所述限位杆呈倒梯形排布。
20.将限位杆设置为倒梯形的四根，从四个方向对硅板起到支撑作用，使得硅板放置稳固不容易晃动。
21.进一步地，所述提手通过螺栓与所述立板可拆卸式连接。
附图说明
22.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
23.图1为具体实施例1的整体结构示意图。
24.图2为图1的正视结构示意图。
25.图3为图2中a
‑
a向局部剖视示意图。
26.图4为实施例2中另一剖视结构示意图。
27.附图标记：
28.1、立板；
29.2、限位杆；3、限位槽；
30.4、提手；
31.5、锁紧销；6、销孔；
32.7、螺栓。
具体实施方式
33.下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
34.需要注意的是，除非另有说明，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。
35.在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
36.此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
37.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内
部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
38.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
39.实施例1
40.如图1
‑
3所示，本实用新型实施例所提供的一种硅板提篮，其包括：立板1、限位杆2及提手4，两所述立板1相对间隔设置，所述限位杆2连接在两所述立板1之间，所述限位杆2上间隔开设有限位槽3，限位杆2至少设置两根，两根限位杆2承托住圆形硅板的外周，所述提手4两端分别连接两所述立板1，其中，所述提手4通过螺栓7与所述立板1可拆卸式连接，提手4设置为一对，方便提起的稳定性。
41.利用两立板1及连接在立板1之间的限位杆2形成放置硅板的框架结构，间隔设置在限位杆2上的限位槽3分隔放置各硅板，保证硅板之间互不接触，且方便每块硅板的取出，连接在立板1上的提手4方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。
42.其中，所述限位杆2还可设置为三根，三根所述限位杆2呈非锐角v形排布，非锐角v形排布可用于支撑圆形硅板的外周，将限位杆2设置为三根呈v形排布，不仅可以从左右两侧及底部三个方向对硅板起到支撑作用，底部的限位杆2能够起到支撑作用，三根限位杆2承托住硅板的外周，将硅板立在限位杆2的限位槽3中，存放稳固，同时放置拿取均方便。
43.另外，所述限位杆2还可以设置为四根，四根所述限位杆2呈倒梯形排布。
44.将限位杆2设置为倒梯形的四根，从四个方向对硅板起到支撑作用，使得硅板放置更加稳固不容易晃动。
45.本实施例中，还包括锁紧销5，所述锁紧销5连接相互匹配插接的所述限位杆2与所述立板1，用于紧固连接所述限位杆2与所述立板1；
46.利用锁紧销5锁紧与立板1插接的限位杆2，保证限位杆2在立板1上连接的稳固性，同时锁紧销5使得立板1与限位杆2可拆卸式连接，不使用时，将提篮拆卸后归纳放置减少存放空间。
47.具体地，如图3所示，所述立板1上远离所述限位杆2一面开设有与所述锁紧销5匹配的销孔6，所述销孔6轴心线与所述限位杆2轴心线平行，所述销孔6轮廓与所述限位杆2端部轮廓相交，即在立板1外侧面上位于限位杆2与立板1插接的接合处开设一销孔6，该销孔6的轮廓与限位杆2相交，同时位于立板1侧面上，销孔6的轴心线与限位杆2平行，将锁紧销5匹配在销孔6中，用于紧固限位杆2的端部与立板1，该紧固方式简单易实行。
48.具体地，所述销孔6与所述锁紧销5过盈配合，通过过盈配合的锁紧销5与销孔6涨紧。
49.在立板1与限位杆2的接合处设置与锁紧销5过盈配合的销孔6，通过锁紧销5张紧限位杆2在立板1上的端部，紧固结合限位杆2和立板1。
50.实施例2
51.如图4所示，与实施例1不同的是，所述锁紧销5及所述销孔6中分别设置有相互匹
配的外螺纹和内螺纹。
52.通过锁紧销5与销孔6螺接匹配，方便紧固限位杆2与立板1的同时，还可以方便锁紧销5的拆卸，方便限位杆2与立板1的拆卸。其他均与实施例1相同，在此不再赘述。
53.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。