一种硅板提篮的制作方法

文档序号:27532350发布日期:2021-11-22 20:34阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种硅板提篮,其特征在于,包括:立板,两所述立板相对间隔设置;至少两限位杆,所述限位杆连接在两所述立板之间,所述限位杆上间隔开设有限位槽;提手,所述提手两端分别连接两所述立板。2.根据权利要求1所述的硅板提篮,其特征在于,还包括锁紧销,所述锁紧销连接相互匹配插接的所述限位杆与所述立板,用于紧固连接所述限位杆与所述立板。3.根据权利要求2所述的硅板提篮,其特征在于,所述立板上远离所述限位杆一面开设有与所述锁紧销匹配的销孔,所述销孔轴心线与所述限位杆轴心线平行,所述销孔轮廓与所述限位杆端部轮廓相交。4.根据权利要求3所述的硅板提篮,其特征在于,所述销孔与所述锁紧销过盈配合。5.根据权利要求3所述的硅板提篮,其特征在于,所述锁紧销及所述销孔中分别设置有相互匹配的外螺纹和内螺纹。6.根据权利要求1所述的硅板提篮,其特征在于,所述限位杆设置为三根,三根所述限位杆呈非锐角v形排布。7.根据权利要求1所述的硅板提篮,其特征在于,所述限位杆设置为四根,四根所述限位杆呈倒梯形排布。8.根据权利要求1所述的硅板提篮,其特征在于,所述提手通过螺栓与所述立板可拆卸式连接。

技术总结
本实用新型属于半导体元件制造用具技术领域,尤其涉及一种硅板提篮。其包括:立板、限位杆及提手,两立板相对间隔设置,限位杆连接在两立板之间,限位杆上间隔开设有限位槽,提手两端分别连接两立板。本实用新型用于解决硅板搬运不方便的问题。利用两立板及连接在立板之间的限位杆形成放置硅板的框架结构,间隔设置在限位杆上的限位槽分隔放置各硅板,保证硅板之间互不接触,且方便每块硅板的取出,连接在立板上的提手方便对整体大重量的硅板及提篮的提起搬运。篮的提起搬运。篮的提起搬运。


技术研发人员:徐爱民 顾标琴
受保护的技术使用者:江苏扬杰润奥半导体有限公司
技术研发日:2021.04.28
技术公布日:2021/11/21
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