技术特征：
1.一种硅片花篮，其特征在于，包括：框体，所述框体包括篮口和篮底；两个篮口齿杆组，相对设置且分别组装于所述框体的篮口的两侧；两个篮口齿板组，分别安装在两个所述篮口齿杆组上，每一所述篮口齿板组包括多个篮口齿板；两个篮底齿杆组，相对设置且分别组装于所述框体的篮底的两侧，且所述篮底齿杆组位于所述篮口齿杆组的下方，两个所述篮底齿杆组的间距大于两个所述篮口齿杆组的间距；以及两个篮底齿板组，分别安装在两个所述篮底齿杆组上，每一所述篮底齿板组包括多个所述篮底齿板。2.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，所述篮口齿杆组包括至少一个篮口齿杆，所述篮口齿板开设有第一通孔，所述篮口齿板通过所述第一通孔穿设并固定在所述篮口齿杆上。3.根据权利要求2所述的硅片花篮，其特征在于，所述篮底齿杆组包括至少一个篮底齿杆，所述篮底齿板开设有第二通孔，所述篮底齿板通过所述第二通孔穿设并固定在所述篮底齿杆上，所述篮底齿板的齿深大于所述篮口齿板的齿深。4.根据权利要求3所述的硅片花篮，其特征在于，所述篮口齿板背离所述第一通孔的一侧与所述篮底齿板背离所述第二通孔的一侧处于同一水平面。5.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，两个所述篮口齿杆组的间距为182-186毫米。6.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，两个所述篮底齿杆组的间距为200-204毫米。7.根据权利要求3所述的硅片花篮，其特征在于，所述篮口齿板的齿深为9-11毫米。8.根据权利要求7所述的硅片花篮，其特征在于，所述篮底齿板的齿深为18-20毫米。9.根据权利要求1所述的硅片花篮，其特征在于，所述框体包括相对设置的两个侧板和连接两个所述侧板的底部的至少一根连接杆，所述连接杆和两个所述侧板的底部配合形成所述篮底，两个所述侧板的顶部配合形成所述篮口，所述篮口齿杆组的两端分别与两个所述侧板的顶部连接，所述篮底齿杆组的两端分别与两个所述侧板的底部连接。10.根据权利要求9所述的硅片花篮，其特征在于，所述侧板设有开口向上的凹槽，所述凹槽的宽度为162-166毫米。
技术总结
本实用新型提供一种硅片花篮，包括：框体，框体包括篮口和篮底；两个篮口齿杆组，相对设置且分别组装于框体的篮口的两侧；两个篮口齿板组，分别安装在两个篮口齿杆组上，每一篮口齿板组包括多个篮口齿板；两个篮底齿杆组，相对设置且组装于框体的篮底的两侧，且篮底齿杆组位于篮口齿杆组的下方，两个篮底齿杆组的间距大于两个篮口齿杆组的间距；以及两个篮底齿板组，分别安装在两个篮底齿杆组上，每一篮底齿板组包括多个篮底齿板。本实施例的花篮的两个篮底齿杆组的间距大于两个篮口齿杆组的间距，在硅片入篮时，可以有效避免硅片入篮时发生撞击，降低了硅片碎裂的概率，提高了硅片良率和生产效率。率和生产效率。率和生产效率。
技术研发人员：贾永前 孙玉虎 樊欢欢
受保护的技术使用者：晶海洋半导体材料（东海）有限公司
技术研发日：2021.12.16
技术公布日：2022/6/20