像素阵列和包括其的图像传感器的制作方法

文档序号:32529343发布日期:2022-12-13 21:50阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种包括在图像传感器中的像素阵列,该像素阵列包括:像素和列线,像素被布置成矩阵,每条列线公共地连接到布置在同一列上的像素,其中:每个像素包括四个子像素,所述四个子像素中的每个包括:四个光电转换器件;浮置扩散区,配置为存储由所述四个光电转换器件产生的电荷;以及四个传输栅极,配置为将所述四个光电转换器件产生的电荷传输到浮置扩散区,在每个像素中,所述四个子像素中分别包括的四个浮置扩散区经由内部布线彼此电连接,以及每个像素还包括:复位栅极,配置为通过向内部布线提供电源电压来使所述四个浮置扩散区复位;第一驱动栅极,配置为经由内部布线接收第一电压;以及第一选择栅极,在第一方向上与第一驱动栅极相邻布置。2.如权利要求1所述的像素阵列,其中每个像素还包括:第二选择栅极,在第一方向上与第一选择栅极相邻布置;以及第二驱动栅极,在第一方向上与第二选择栅极相邻布置,并配置为经由内部布线接收第一电压。3.如权利要求2所述的像素阵列,其中第一驱动栅极连接到内部布线的第一端子,第二驱动栅极连接到内部布线的第二端子。4.如权利要求1所述的像素阵列,其中每个像素还包括在第一方向上与复位栅极相邻布置的虚设栅极。5.如权利要求1所述的像素阵列,其中每个像素还包括在第一方向上与复位栅极相邻布置的第一增益控制栅极。6.如权利要求5所述的像素阵列,其中每个像素还包括在第一方向上与第一增益控制栅极相邻布置的第二增益控制栅极,第二增益控制栅极与复位栅极关于第一增益控制栅极在第一方向上对称布置。7.如权利要求1所述的像素阵列,其中所述四个子像素包括布置成2
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2矩阵的第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素。8.如权利要求1所述的像素阵列,其中所述四个子像素包括在第一方向上并排布置的第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素。9.如权利要求8所述的像素阵列,其中第一驱动栅极在第一方向上与复位栅极相邻布置,并被配置为经由内部布线接收第一电压。10.如权利要求1所述的像素阵列,其中单个微透镜布置在一个像素中包括的每个光电转换器件之上。11.如权利要求1所述的像素阵列,其中单个微透镜布置在一个像素中包括的光电转换器件中的至少两个之上。12.如权利要求1所述的像素阵列,其中不同颜色的滤色器布置在彼此相邻的第一像素和第二像素上,相同颜色的滤色器布置在一个像素中包括的所述四个子像素上。13.如权利要求1所述的像素阵列,其中不同颜色的滤色器布置在一个像素中包括的所
述四个子像素当中的沿第一方向或第二方向彼此相邻的两个子像素上。14.一种包括在图像传感器中的像素阵列,该像素阵列包括:像素,每个像素包括第一子像素、第二子像素、第三子像素、第四子像素和第一电路;以及列线,每条列线公共地连接到布置在同一列上的像素,其中:第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素中的每个包括:布置成矩阵的四个光电转换器件;以及浮置扩散区,配置为存储由所述四个光电转换器件产生的电荷,第一子像素的第一浮置扩散区、第二子像素的第二浮置扩散区、第三子像素的第三浮置扩散区和第四子像素的第四浮置扩散区经由布线彼此电连接,布线形成于在其中形成像素的像素区内,第一电路连接到列线中的相应一条和布线,并被配置为共享第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素,以及第一电路包括:复位晶体管,配置为向布线提供复位电压;驱动晶体管,包括连接到布线的栅极;以及选择晶体管,连接到第一驱动晶体管和列线中的所述相应一条。15.如权利要求14所述的像素阵列,其中,在每个像素中,复位晶体管布置在像素的中心,驱动晶体管和选择晶体管布置在像素的一侧。16.如权利要求14所述的像素阵列,其中,在每个像素中,复位晶体管布置在像素的一侧,驱动晶体管和选择晶体管布置在像素的中心。17.如权利要求14所述的像素阵列,其中第一电路还包括与复位晶体管相邻布置的增益控制晶体管。18.一种图像传感器,包括:包括像素的像素阵列,每个像素包括经由布线彼此连接并布置在多个转移晶体管之间的多个浮置扩散区;行驱动器,配置为以行为单位驱动像素;以及模数转换电路,配置为从连接到像素阵列的多条列线接收多个感测信号,并对所述多个感测信号执行模数转换。19.如权利要求18所述的图像传感器,其中:在像素阵列的二维平面上,布线布置于在其中形成像素的像素区内,以及布线在第一方向和垂直于第一方向的第二方向上延伸。20.如权利要求18所述的图像传感器,还包括连接到布线和所述多条列线中的相应列线的输出电路,输出电路包括:复位晶体管,配置为向布线提供复位电压;驱动晶体管,包括连接到布线的栅极;以及选择晶体管,连接到驱动晶体管和所述相应列线。

技术总结
提供了像素阵列和包括该像素阵列的图像传感器。包括在图像传感器中的像素阵列包括布置成矩阵的多个像素和多条列线,每条列线公共地连接到所述多个像素当中的布置在同一列线上的像素。所述多个像素中的每个包括四个子像素。所述四个子像素中的每个包括:四个光电转换器件;浮置扩散区,存储所述四个光电转换器件产生的电荷;以及四个传输栅极,配置为将所述四个光电转换器件产生的电荷传输到浮置扩散区。所述四个子像素中包括的四个浮置扩散区经由内部布线彼此电连接。所述多个像素中的每个还包括复位栅极、第一驱动栅极和第一选择栅极。极。极。


技术研发人员:赵鼎镇 李宽熙
受保护的技术使用者:三星电子株式会社
技术研发日:2022.06.08
技术公布日:2022/12/12
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