技术特征：
1.一种磁分析器，包括离子束通道，所述离子束通道包括飞行区以及合围形成所述飞行区的第一内壁与顶壁，其特征在于，所述离子束通道包括第一隔板，所述第一隔板设置于所述第一内壁和所述飞行区之间；其中，所述第一隔板设置有多个第一通孔，所述第一隔板和所述第一内壁之间形成容纳空间。2.根据权利要求1所述的磁分析器，其特征在于，所述离子束通道还包括第二隔板；所述第二隔板设置在所述第一隔板与所述第一内壁之间，所述第二隔板设置有多个第二通孔；其中，至少部分所述第一通孔和所述第二通孔交错设置。3.根据权利要求2所述的磁分析器，其特征在于，所述第一隔板包括多个设置于相邻两个所述第一通孔之间的第一凸起，所述第二隔板包括多个设置于相邻两个所述第二通孔之间的第二凸起，所述第一凸起与所述第二凸起的凸起方向均朝向所述飞行区。4.根据权利要求2或3所述的磁分析器，其特征在于，所述第一内壁上设置有第三通孔，所述第三通孔与真空排气装置连通；优选地，多个所述第三通孔均匀分布在所述第一内壁上。5.根据权利要求4所述的磁分析器，其特征在于，所述第一内壁包括多个设置于相邻两个所述第三通孔之间的第三凸起，所述第三凸起的凸起方向朝向所述飞行区。6.根据权利要求2或3所述的磁分析器，其特征在于，所述第一通孔与所述第二通孔的形状包括圆形、矩形或狭缝；其中，多个所述第一通孔均匀分布在所述第一隔板上，多个所述第二通孔均匀分布在所述第二隔板上。7.根据权利要求6所述的磁分析器，其特征在于，所述第一通孔的最大宽度与所述第二通孔的最大宽度均不小于1厘米。8.根据权利要求2所述的磁分析器，其特征在于，所述第一隔板与所述第二隔板依次平行设置于所述第一内壁的内侧。9.根据权利要求1所述的磁分析器，其特征在于，所述离子束通道的外壁上贴装有多个导电线圈，所述导电线圈用于对所述飞行区内的预设区域产生预设磁场。10.一种离子注入机，其特征在于，包括相连的离子源、如权利要求1至9中任意一项所述的磁分析器以及离子注入装置，所述磁分析器用于将所述离子源产生的离子进行筛选后传输给所述离子注入装置。
技术总结
本申请公开了一种磁分析器以及离子注入机，磁分析器包括离子束通道，离子束通道包括飞行区以及合围形成飞行区的第一内壁与顶壁，离子束通道包括第一隔板，第一隔板设置于第一内壁和飞行区之间；其中，第一隔板设置有多个第一通孔，第一隔板和第一内壁之间形成容纳空间。本申请不仅能够大幅降低污染颗粒被携带出磁分析器的几率，继而有效避免离子注入工艺失效，还能极大延长人工维护周期或备件更换周期，从而有效降低维护成本。从而有效降低维护成本。从而有效降低维护成本。
技术研发人员：闫立 姜禹霏 吉小龙
受保护的技术使用者：昆山国显光电有限公司
技术研发日：2022.08.02
技术公布日：2022/11/29