技术特征：
1.一种偏压装置，其特征在于，包括：第一支架，用于连接支撑部；轮体组件，活动连接于所述第一支架并能够沿预定方向相对所述第一支架活动；及传导组件，包括活动导体、弹性件及柔性导体；所述活动导体活动连接于所述第一支架并能够沿所述预定方向相对所述第一支架活动；所述弹性件连接于所述活动导体并对所述活动导体产生弹力，以使所述活动导体从背向侧抵持于所述轮体组件；所述柔性导体连接于所述活动导体；所述柔性导体还电连接于偏压电源的电极。2.根据权利要求1所述的偏压装置，其特征在于，所述传导组件还包括电连接于所述柔性导体的端帽；所述端帽连接于所述第一支架。3.根据权利要求2所述的偏压装置，其特征在于，所述第一支架包括主架体及可拆卸连接于所述主架体的锁定件；所述主架体设有通槽，所述活动导体活动穿设于所述通槽；所述端帽容置于所述锁定件。4.根据权利要求1所述的偏压装置，其特征在于，所述偏压装置还包括具有绝缘性的第二支架；所述第一支架连接于所述第二支架，以通过所述第二支架连接至支撑部。5.根据权利要求4所述的偏压装置，其特征在于，所述第一支架与所述第二支架的其中一个设有第一调节孔，另一个设有第一安装孔；所述第一调节孔及所述第一安装孔的位置相配合，以穿设紧固件。6.根据权利要求4所述的偏压装置，其特征在于，所述第二支架设有第二调节孔；所述第二调节孔的位置与设于所述支撑部的第二安装孔配合，以穿设紧固件。7.根据权利要求1所述的偏压装置，其特征在于，所述第一支架设有限定槽；所述轮体组件包括轮轴及连接于所述轮轴的主轮体，所述轮轴穿设于所述限定槽；在平行于所述预定方向的维度上，所述限定槽的长度大于所述轮轴的直径，所述活动导体抵持于所述轮轴。8.根据权利要求1所述的偏压装置，其特征在于，所述轮体组件包括贯穿于所述第一支架的轮轴；所述轮轴的两端分别连接有主轮体。9.根据权利要求1所述的偏压装置，其特征在于，所述偏压装置还包括罩体；所述第一支架容置于所述罩体；所述轮体组件至少部分地外露于所述罩体。10.一种基片处理设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项所述的偏压装置。
技术总结
本发明涉及一种偏压装置及基片处理设备，偏压装置包括偏压电源及偏压装置。偏压电源设有电极。偏压装置用于向电连接于偏压电源的电极，并将偏压电源电极的电势传导至通电对象。具体地，通电对象为基片或载具。进一步地，偏压装置容置于内腔，以便于与处于处理工位的通电对象接触。更具体地，偏压电源具有正电极及负电极，偏压装置将负电极的电势传导至通电对象。活动导体在弹性件的弹力作用下对轮体组件产生顶推，从而将轮体组件顶推至通电对象的表面，使活动导体、轮体组件及通电对象表面之间保持稳定接触，从而能使通电对象始终作为整体电极的一部分，确保针对基片的处理工艺保持稳定。定。定。
技术研发人员：赵成伟 邬文波
受保护的技术使用者：西实显示高新材料（沈阳）有限公司
技术研发日：2022.09.28
技术公布日：2022/11/22