技术特征：
1.一种晶圆搜索方法，用于搜索载体上的晶圆，所述载体上的晶圆分布于多个晶圆区域内，所述多个晶圆区域中的第一晶圆区域和第二晶圆区域之间的距离大于预设值，其特征在于，所述方法包括：当确定晶圆吸取机构吸取所述第一晶圆区域的最后一个晶圆后，在所述最后一个晶圆周围生成第一预设数量的第一特征点位；根据所述第一特征点位中的目标特征点位的位置以及两个所述目标特征点之间的距离生成第二预设数量的第二特征点位，所述目标特征点位位于所述载体的边缘区域；根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域，所述第一搜索路径是连接所述第一特征点位所得到的，所述第二搜索路径是连接所述第二特征点位所得到的。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一特征点位呈多行排列，每行所述第一特征点位的排列方向与所述载体上的晶圆的排列方向垂直或水平。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一搜索路径与所述载体上的晶圆的排列方向垂直或水平。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二搜索路径位于两条所述第一搜索路径之间，其中一条所述第一搜索路径的终点是所述第二搜索路径的起点，另一条所述第一搜索路径的起点是所述第二搜索路径的终点。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域，包括：在根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索到晶圆的情况下，根据搜索到的晶圆确定所述第二晶圆区域。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域之后，所述方法还包括：当确定所述晶圆吸取机构吸取所述第二晶圆区域的最后一个晶圆后，重新生成第一特征点位。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若根据第一搜索路径和第二搜索路径未搜索到所述第二晶圆区域，在所述最后一个晶圆周围生成第三特征点，根据所述第三特征点生成第三搜索路径，根据所述第三搜索路径搜索所述第二晶圆区域，所述第三特征点与所述第一特征点、所述第二特征点均不同。8.一种晶圆搜索系统，用于搜索载体上的晶圆，所述载体上的晶圆分布于多个晶圆区域内，所述多个晶圆区域中的第一晶圆区域和第二晶圆区域之间的距离大于预设值，其特征在于，所述系统包括：第一特征点生成模块，用于当确定晶圆吸取机构吸取所述第一晶圆区域的最后一个晶圆后，在所述最后一个晶圆周围生成第一预设数量的第一特征点位；第二特征点位生成模块，用于根据所述第一特征点位中的目标特征点位的位置以及两个所述目标特征点之间的距离生成第二预设数量的第二特征点位，所述目标特征点位位于所述载体的边缘区域；搜索模块，用于根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域，所述第一搜索路径是连接所述第一特征点位所得到的，所述第二搜索路径是连接所述第二特征点位所得到的。
9.一种终端设备，其特征在于，所述终端设备包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序；所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述的晶圆搜索方法。10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的晶圆搜索方法。
技术总结
本申请涉及半导体技术领域，提供一种晶圆搜索方法、系统、终端设备及可读存储介质，其方法包括：当确定晶圆吸取机构吸取所述第一晶圆区域的最后一个晶圆后，在所述最后一个晶圆周围生成第一预设数量的第一特征点位；根据所述第一特征点位中的目标特征点位的位置以及两个所述目标特征点之间的距离生成第二预设数量的第二特征点位，所述目标特征点位位于所述载体的边缘区域；根据第一搜索路径和第二搜索路径搜索所述第二晶圆区域，所述第一搜索路径是连接所述第一特征点位所得到的，所述第二搜索路径是连接所述第二特征点位所得到的。实施本申请，可自动搜索多区域分布的晶圆，提高工作效率。作效率。作效率。
技术研发人员：郭奇 周赞 梁志宏 胡新荣
受保护的技术使用者：深圳新益昌科技股份有限公司
技术研发日：2022.11.22
技术公布日：2023/3/21