管体固定保护装置的制作方法

1.本技术涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种用于扩散炉中石英管的管体固定保护装置。


背景技术：

2.在半导体生产设备维护保养的过程中，需要频繁的对扩散炉中的石英管进行拆装操作，卸下的石英管移送至机台的外部进行维护维修。目前，石英管运输时，通过底座固定石英管。
3.现有的底座中，通过固定结构穿对石英管底端内部进行固定，此固定方式稳定性较差，在石英管运输过程中，极易出现石英管倾倒的情况，而机台内部或运输线周边的复杂，石英管倾倒可能造成磕碰损坏；频繁的石英管换新操作，不仅操作费事费力，且维护成本较高。


技术实现要素：

4.为解决现有技术中存在的至少以上技术问题，本技术提供了一种管体固定保护装置。
5.本技术一方面提供一种管体固定保护装置，包括外套和底座；所述外套包括用于套设于管体外的套筒；所述底座包括底板和设于所述底板表面的内径撑托结构，所述套筒的端口与所述底板表面抵接，所述内径撑托结构包括调节组件和多个伸缩组件，所述伸缩组件的一端为与所述管体内壁抵接的抵接部，另一端与所述调节组件连接；所述调节组件包括驱动部，所述驱动部用于驱动多个所述伸缩组件移动，以调节所述内径撑托结构的外径。
6.在一些实施例中，所述伸缩组件还包括固定部和剪式连杆；所述固定部与所述底板固定连接；所述剪式连杆首端与所述抵接部连接，尾端与所述固定部连接；所述剪式连杆的尾端包括第一端头和第二端头，所述第一端头与所述固定部转动连接，第二端头与所述固定部滑动连接，所述调节组件与所述剪式连杆尾端的第二端头连接，并用于驱动所述第二端头滑动。
7.在一些实施例中，所述驱动部包括调节杆；所述调节杆的第一端与所述剪式连杆尾端的第二端头连接，第二端穿过所述底板位于所述底板的外侧，并且所述调节杆的穿出部分具有设定长度。
8.在一些实施例中，所述调节组件还包括限位结构，所述调节杆的侧壁上设有沿所述调节杆长度方向设置的凹槽，所述限位结构设于所述凹槽内；所述限位结构包括按压板、弹簧、限位凸起和限位块，所述按压板设于所述凹槽内，所述弹簧位于所述按压板和所述凹槽的底部之间，并且所述弹簧的两端分别与所述按压板和所述凹槽的底部抵接；所述按压板远离所述弹簧的一侧设有多个所述限位凸起，多个所述限位凸起沿所述按压板的运动方向间隔设置，所述弹簧回弹状态下，所述限位凸起位于第一位置，所述弹簧压缩状态下，所
述限位凸起位于第二位置；以及所述限位块设于所述底板上，所述限位凸起位于所述第一位置时，所述限位凸起与所述限位块卡接，所述限位凸起位于所述第二位置时，所述限位凸起和所述限位块解除卡接。
9.在一些实施例中，所述限位块包括第一导向斜面，所述限位凸起包括第二导向斜面；所述限位凸起由第一位置移动第二位置时，所述第二导向斜面与所述第一导向斜面贴合，并沿所述第一导向斜面滑动。
10.在一些实施例中，所述外套还包括伸缩龙骨；所述伸缩龙骨设于所述套筒的外壁或所述套筒内部，所述伸缩龙骨与所述套筒用于沿所述外套的轴向伸缩。
11.在一些实施例中，所述套筒的外壁上设有第一缓冲凸起。
12.在一些实施例中，还包括移动结构，所述移动结构包括支撑板，所述底板与所述支撑板可拆卸连接。
13.在一些实施例中，还包括管内支撑结构，所述管内支撑结构设于所述底板上；所述管内支撑结构包括升降组件和套设于所述升降组件外的伸缩套。
14.在一些实施例中，所述升降组件包括剪式升降杆，所述伸缩套的内壁与所述剪式升降杆的顶端面板和底端面板的边缘连接，并且所述伸缩套用于随所述剪式升降杆升降；并且/或者所述伸缩套的外壁设有用于与所述管体内壁抵接的第二缓冲凸起。
15.本技术提供的一种管体固定保护装置，维护保养时，将卸下的石英管(管体)的管口插接在底座的内径撑托结构上，并将套筒套设在管体外，调节内径撑托结构的外径，使其抵接部抵接在石英管口的内壁上。本技术技术方案中，通过底座对石英管的内部进行固定支撑，通过外套对石英管的外部进行保护，进而实现对石英管的内外固定，使石英管运输时更稳定，以及内径撑托结构的外径可调节，能够适配更多尺寸的石英管，可提高底座的通用性。
附图说明
16.通过参考附图阅读下文的详细描述，本技术示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本技术的若干实施方式，其中：
17.在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。
18.图1为本公开实施例提供的管体固定保护装置的主视图；
19.图2为本公开实施例提供的管体固定保护装置的剖视图；
20.图3为图2中内径撑托结构处的局部放大图；
21.图4a为本公开实施例提供的管体固定保护装置中内径撑托结构调节前的局部剖视图；
22.图4b为本公开实施例提供的管体固定保护装置中内径撑托结构调节后的局部剖视图；
23.图5a为本公开实施例提供的管体固定保护装置中限位凸起位于第一位置时的局部剖视图；
24.图5b为本公开实施例提供的管体固定保护装置中限位凸起位于第二位置时的局部剖视图；
25.图6为本公开实施例提供的管体固定保护装置中管内支撑结构处的剖视图。
26.图中：
27.1：外套；2：底座；3：管体；4：移动结构；5：管内支撑结构；
28.11：套筒；12：伸缩龙骨；13：第一缓冲凸起；
29.21：底板；22：内径撑托结构；221：调节组件；222：伸缩组件；2211：调节杆；2212：按压板；2213：弹簧；2214：限位凸起；2215：限位块；2221：抵接部；2222：固定部；2223：剪式连杆；2224：第一端头；2225：第二端头；
30.51：伸缩套；52：剪式升降杆；53：第二缓冲凸起。
具体实施方式
31.为使本技术的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
32.如图1至图6所示，本技术实施例提供一种管体固定保护装置，该装置包括对管体3外部的保护结构和对内部进行保护及支撑的保护结构。
33.其中，如图1、图2和图6所示，外部保护结构包括外套1，外套1包括套设于管体3外的套筒11；当管体3卸下需要运输时，将套筒11套设至管体3的外部，以对管体3外部进行保护。
34.例如，外套1还包括伸缩龙骨12；伸缩龙骨12设于套筒11的外壁或套筒11内部，伸缩龙骨12与套筒11用于沿外套1的轴向伸缩。例如，伸缩龙骨12为多节的伸缩杆，使用时，通过抽拉伸缩杆，调节套筒11的高度，伸缩杆可带动套筒11同步伸长或缩短，并在套筒11伸长状态时保持套筒11的伸展长度。例如，伸缩杆的顶端与套筒11的顶端连接，抽拉时，抽拉套筒11的顶端即可，伸缩杆的底端与底板21及套筒11的底端连接，伸缩杆其余部分可自由伸缩，缩短状态时，伸缩杆逐节缩短，而套筒11形成褶皱的堆叠结构，伸长状态时，伸缩杆逐节伸长，套筒11则展开，其中，伸缩杆的相邻的节点连接处具有一定摩擦力，在伸缩杆伸长状态时，在摩擦力作用下，使伸缩杆保持伸长状态。
35.例如，套筒11的外壁上设有第一缓冲凸起13。沿套筒11的轴向，间隔设置多个第一缓冲凸起13，第一缓冲凸起13凸出于套筒11的外壁表面，若出现管体3倾斜的状况，第一缓冲凸起13先接触撞击物，进而起到缓冲的作用。例如，套筒11和第一缓冲凸起13的材质为橡胶，且两者为一体结构，第一缓冲凸起12位于套筒11的外部均匀分布。
36.继续参考图1、图2和图6，本技术实施例中，管体固定保护装置还包括底座2；底座2包括底板21和设于底板21表面的内径撑托结构22，套筒11的端口与底板21表面抵接。
37.运输管体3时，将管体3的端口架抵接在底板21的表面，其中，内径撑托结构22位于管体3内部，并撑接管体3的内壁，以起到对管体3固定支撑的作用。本技术实施例中，内径撑托结构22为可调式，通过调节内径撑托结构22的外径，可适配不同内径的管体3。
38.例如，如图2和图3所示，内径撑托结构22包括调节组件221和多个伸缩组件222，伸缩组件222的一端为与管体3内壁抵接的抵接部2221，另一端与调节组件221连接；调节组件221包括驱动部，驱动部用于驱动多个伸缩组件222移动，以调节内径撑托结构22的外径。伸
缩组件222中抵接部2221的伸缩方向垂直于管体3的内壁，通过调节组件221调节抵接部2221的伸缩长度，以将伸缩组件222调节成不同的外径，以适配不同内径的管体3。
39.例如，内径撑托结构22包括两个伸缩组件222，两个伸缩组件222以内径撑托结构22中心对称设置，可通过一个调节组件221同步调节两个伸缩组件222。
40.例如，伸缩组件222还包括固定部2222和剪式连杆2223；固定部2222与底板21固定连接；剪式连杆2223首端与抵接部2221连接，尾端与固定部2222连接。例如，固定部2222为一个杆状或板状的结构，其垂直固定设于底板21上，抵接部2221为活动部，在固定部2222和抵接部2221之间设置剪式连杆2223，剪式连杆2223为多个十字交叉的连杆结构，可根据伸缩范围选择交叉连杆的数量。调节组件221用于调节剪式连杆2223的长度，以调节抵接部2221的伸长距离。
41.例如，剪式连杆2223的尾端包括第一端头2224和第二端头2225，第一端头2224与固定部2222转动连接，第二端头2225与固定部2222滑动连接，例如，固定部2222上设有连接座，第一端头2224通过螺栓与连接座转动连接，以及固定部2222上设有滑槽，第二端头2225位于滑槽内，并沿滑槽滑动。剪式连杆2223在伸缩调节时，通过调节尾端的第二端头2225的滑动距离，以调节剪式连杆2223的伸缩距离，例如，以图2和图3所示的视角方向，第二端头2225向上滑动，剪式连杆2223中的连杆联动伸长，其中，连杆联动过程中第一端头2224自转，由于固定部2222的位置相对固定，因此，剪式连杆2223驱动抵接部2221向管体3方向移动，也即剪式连杆2223的伸缩距离变长，相反的，第二端头2225向下移动，剪式连杆2223中的连杆压缩缩短，剪式连杆2223的伸缩距离变短。因此，调节组件221与剪式连杆2223尾端的第二端头2225连接，通过伸缩组件222的伸缩移动，同步驱动第二端头2225滑动，其中，第二端头2225的滑动距离决定剪式连杆2223的伸缩距离，以达到调节剪式连杆2223伸缩距离的目的。
42.例如，驱动部包括调节杆2211；调节杆2211的第一端与剪式连杆2223尾端的第二端头2225连接，第二端穿过底板21位于底板21的外侧，并且调节杆2211的穿出部分具有设定长度。调节操作时，推动调节杆2211的穿出部分，使调节杆2211的第一端移动，进而调节第二端头2225位于滑槽内滑动，使剪式连杆2223伸缩。其中，剪式连杆2223原始状态下，调节杆2211未推动时，剪式连杆2223的伸缩长度为一固定长度，即如图4a所示；推动调节杆2211，调节杆2211驱动第二端头2225向上滑动，使得剪式连杆2223中的连杆联动伸长，从而带动抵接部2221向外扩张，增大内径撑托结构22的外径，即如图4b所示。
43.例如，内径撑托结构22包括两个伸缩组件222时，调节杆2211的第一端分别与两个第二端头2225连接，调节时可通过一根调节杆2211同步调节两个第二端头2225的移动。
44.例如，调节组件221还包括限位结构，通过限位结构限制调节杆2211的相对移动，当调节杆2211移动至所需位置后，通过限位结构限制调节杆2211移动，从而使调节杆2211保持当前状态，也即伸缩组件222可保持在当前外径。
45.例如，调节杆2211的侧壁上设有沿调节杆2211长度方向设置的凹槽，限位结构设于凹槽内；限位结构包括按压板2212、弹簧2213、限位凸起2214和限位块2215，按压板2212设于凹槽内，弹簧2213位于按压板2212和凹槽的底部之间，并且弹簧2213的两端分别与按压板2212和凹槽的底部抵接；按压板2212远离弹簧2213的一侧设有多个限位凸起2214，多个限位凸起2214沿按压板2212的运动方向间隔设置，弹簧2213回弹状态下，限位凸起2214
位于第一位置，即如图5a所示，弹簧2213压缩状态下，限位凸起2214位于第二位置，即如图5b所示；以及限位块2215设于底板21上，限位凸起2214位于第一位置时，限位凸起2214与限位块2215卡接，限位凸起2214位于第二位置时，限位凸起2214和限位块2215解除卡接。
46.按下按压板2212后，限位凸起2214(在第二位置)与限位块2215之间无限位关系，调节杆2211可在其长度方向自由调节，当调节杆2211移动至所需的位置后，松开按压板2212，在弹簧2213回弹作用下，按压板2212及其上的限位凸起2214复位，限位块2215穿入两限位凸起2214之间，调节杆2211在其长度方向受限位凸起2214和限位块2215的限制，无法自由调节，进而达到限位的作用。
47.例如，限位块2215包括第一导向斜面，限位凸起2214包括第二导向斜面；限位凸起2214由第一位置移动第二位置时，第二导向斜面与第一导向斜面贴合，并沿第一导向斜面滑动。
48.通过设置第一导向斜面和第二导向斜面，在调节杆2211调节过程中，可节省调节用力，推动调节杆2211按压板2212自动下压及回弹，操作省事省力。其中，最下方的限位凸起2214无需设置第二导向斜面。
49.如图1、图2和图6所示，本技术实施例中，管体固定保护装置还包括移动结构4，移动结构4包括支撑板，底板21与支撑板可拆卸连接。例如，底板21和支撑板之间设有叠加贯穿的安装孔，通过穿设螺栓，实现底板21和支撑板的可拆卸连接。或者，可通过设置阻尼结构增大两者间的摩擦力，以避免/减少两者的相对滑动。
50.例如，移动结构4还包括底部滚轮和推手等结构，以利于管体3的运输操作。
51.如图6所示，本技术实施例中，管体固定保护装置还包括管内支撑结构5，管内支撑结构5设于所述底板21上；管内支撑结构5包括升降组件和套设于升降组件外的伸缩套51。
52.例如，升降组件包括剪式升降杆52，伸缩套51的内壁与剪式升降杆52的顶端面板和底端面板的边缘连接，并且伸缩套51用于随剪式升降杆52升降；并且/或者伸缩套51的外壁设有用于与管体3内壁抵接的第二缓冲凸起53。
53.例如，剪式升降杆52包括多个交叉的十字结构，剪式升降杆52的顶端面板和底端面板连接伸缩套51，在剪式升降杆52的底部设置驱动结构，例如，驱动结构为驱动气缸、液压缸或升降摇杆等，随着剪式升降杆52的升起，伸缩套51布满管体3的内部，并且第二缓冲凸起53与管体3的内壁抵接。例如，一个管内支撑结构5适配一种内径的管体3，不同内径的管体3需要使用不同尺寸的管内支撑结构5。
54.本技术提供的一种管体固定保护装置，维护保养时，将卸下的石英管的管口插接在底座2的内径撑托结构22上，并将套筒套设在管体3外，调节内径撑托结构22的外径，使其抵接部2221抵接在石英管口的内壁上。本技术技术方案中，通过底座2对石英管的内部进行固定支撑，通过外套1对石英管的外部进行保护，进而实现对石英管的内外固定，使石英管运输时更稳定，以及内径撑托结构22的外径可调节，能够适配更多尺寸的石英管，可提高底座2的通用性。
55.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本
领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
56.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
57.以上，仅为本技术的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。