技术特征：
1.一种管体固定保护装置，其特征在于，包括外套(1)和底座(2)；所述外套(1)包括用于套设于管体(3)外的套筒(11)；所述底座(2)包括底板(21)和设于所述底板(21)表面的内径撑托结构(22)，所述套筒(11)的端口与所述底板(21)表面抵接，所述内径撑托结构(22)包括调节组件(221)和多个伸缩组件(222)，所述伸缩组件(222)的一端为与所述管体(3)内壁抵接的抵接部(2221)，另一端与所述调节组件(221)连接；所述调节组件(221)包括驱动部，所述驱动部用于驱动多个所述伸缩组件(222)移动，以调节所述内径撑托结构(22)的外径。2.根据权利要求1所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述伸缩组件(222)还包括固定部(2222)和剪式连杆(2223)；所述固定部(2222)与所述底板(21)固定连接；所述剪式连杆(2223)首端与所述抵接部(2221)连接，尾端与所述固定部(2222)连接；所述剪式连杆(2223)的尾端包括第一端头(2224)和第二端头(2225)，所述第一端头(2224)与所述固定部(2222)转动连接，第二端头(2225)与所述固定部(2222)滑动连接，所述调节组件(221)与所述剪式连杆(2223)尾端的第二端头(2225)连接，并用于驱动所述第二端头(2225)滑动。3.根据权利要求2所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述驱动部包括调节杆(2211)；所述调节杆(2211)的第一端与所述剪式连杆(2223)尾端的第二端头(2225)连接，第二端穿过所述底板(21)位于所述底板(21)的外侧，并且所述调节杆(2211)的穿出部分具有设定长度。4.根据权利要求3所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述调节组件(221)还包括限位结构，所述调节杆(2211)的侧壁上设有沿所述调节杆(2211)长度方向设置的凹槽，所述限位结构设于所述凹槽内；所述限位结构包括按压板(2212)、弹簧(2213)、限位凸起(2214)和限位块(2215)，所述按压板(2212)设于所述凹槽内，所述弹簧(2213)位于所述按压板(2212)和所述凹槽的底部之间，并且所述弹簧(2213)的两端分别与所述按压板(2212)和所述凹槽的底部抵接；所述按压板(2212)远离所述弹簧(2213)的一侧设有多个所述限位凸起(2214)，多个所述限位凸起(2214)沿所述按压板(2212)的运动方向间隔设置，所述弹簧(2213)回弹状态下，所述限位凸起(2214)位于第一位置，所述弹簧(2213)压缩状态下，所述限位凸起(2214)位于第二位置；以及所述限位块(2215)设于所述底板(21)上，所述限位凸起(2214)位于所述第一位置时，所述限位凸起(2214)与所述限位块(2215)卡接，所述限位凸起(2214)位于所述第二位置时，所述限位凸起(2214)和所述限位块(2215)解除卡接。5.根据权利要求4所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述限位块(2215)包括第一导向斜面，所述限位凸起(2214)包括第二导向斜面；所述限位凸起(2214)由第一位置移动第二位置时，所述第二导向斜面与所述第一导向斜面贴合，并沿所述第一导向斜面滑动。6.根据权利要求1至5中任一项所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述外套(1)还包括伸缩龙骨(12)；
所述伸缩龙骨(12)设于所述套筒(11)的外壁或所述套筒(11)内部，所述伸缩龙骨(12)与所述套筒(11)用于沿所述外套(1)的轴向伸缩。7.根据权利要求1至5中任一项所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述套筒(11)的外壁上设有第一缓冲凸起(13)。8.根据权利要求1至5中任一项所述的管体固定保护装置，其特征在于，还包括移动结构(4)，所述移动结构(4)包括支撑板，所述底板(21)与所述支撑板可拆卸连接。9.根据权利要求1至5中任一项所述的管体固定保护装置，其特征在于，还包括管内支撑结构(5)，所述管内支撑结构(5)设于所述底板(21)上；所述管内支撑结构(5)包括升降组件和套设于所述升降组件外的伸缩套(51)。10.根据权利要求9所述的管体固定保护装置，其特征在于，所述升降组件包括剪式升降杆(52)，所述伸缩套(51)的内壁与所述剪式升降杆(52)的顶端面板和底端面板的边缘连接，并且所述伸缩套(51)用于随所述剪式升降杆(52)升降；并且/或者所述伸缩套(51)的外壁设有用于与所述管体(3)内壁抵接的第二缓冲凸起(53)。
技术总结
本申请涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种用于扩散炉中石英管的管体固定保护装置，该装置包括外套和底座；外套包括用于套设于管体外的套筒；底座包括底板和设于底板表面的内径撑托结构，套筒的端口与底板表面抵接，内径撑托结构包括调节组件和多个伸缩组件，伸缩组件的一端为与管体内壁抵接的抵接部，另一端与调节组件连接；调节组件包括驱动部，驱动部用于驱动多个伸缩组件移动，以调节内径撑托结构的外径。本申请通过底座对石英管的内部进行固定支撑，通过外套对石英管的外部进行保护，进而实现对石英管的内外固定，使石英管运输时更稳定，以及内径撑托结构的外径可调节，能够适配更多尺寸的石英管，可提高底座的通用性。可提高底座的通用性。可提高底座的通用性。
技术研发人员：周鹏
受保护的技术使用者：杭州富芯半导体有限公司
技术研发日：2022.11.25
技术公布日：2023/3/21