具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器的制作方法

文档序号:34393711发布日期:2023-06-08 11:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,当该第一导电型态为n型半导体型,且该第二导电型态为p型半导体型时,该第一节点电性耦接至一输入输出接点,且该第二节点电性耦接至一接地端。

3.如权利要求2所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,当一扫描电压经由该输入输出接点输入时,一双极性接面晶体管被形成,且该双极性接面晶体管具有一浮接基极,该双极性接面晶体管由该重掺杂基底、该轻掺杂磊晶层、该第二井型区与该第二重掺杂区所组成。

4.如权利要求3所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,该双极性接面晶体管的该浮接基极由该轻掺杂磊晶层与该第二井型区所组成。

5.如权利要求2所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,当一扫描电压经由该接地端输入时,一硅控整流器被形成,且该硅控整流器具有一浮接基极,该硅控整流器由该第一重掺杂区、该第三重掺杂区、该第一井型区、该第三井型区、该轻掺杂磊晶层及该重掺杂基底所组成。

6.如权利要求5所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,该硅控整流器的该浮接基极由该第一井型区、该第三井型区及该轻掺杂磊晶层所组成。

7.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一全面性离子植入层,其中,该全面性离子植入层设置于该重掺杂基底与该轻掺杂磊晶层之间。

8.如权利要求7所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,该全面性离子植入层具有该第一导电型态或该第二导电型态。

9.如权利要求7所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,每一该沟槽的深度不少于该全面性离子植入层。

10.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第一轻掺杂植入层,该第一轻掺杂植入层具有该第一导电型态,并且,具有该第一导电型态的该第一轻掺杂植入层形成于该第二井型区中,并环绕设置于该第二重掺杂区的外围。

11.如权利要求10所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第二轻掺杂植入层,该第二轻掺杂植入层具有该第二导电型态,并且,具有该第二导电型态的该第二轻掺杂植入层埋设于该第二井型区中,并位于该第一轻掺杂植入层的下方。

12.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括两个第一轻掺杂植入层,该两个第一轻掺杂植入层具有该第一导电型态,并且,具有该第一导电型态的该两个第一轻掺杂植入层形成于该第二井型区中,其中,每一该第一轻掺杂植入层设置于该第二重掺杂区的转角处。

13.如权利要求12所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第二轻掺杂植入层,该第二轻掺杂植入层具有该第二导电型态,并且,具有该第二导电型态的该第二轻掺杂植入层埋设于该第二井型区中,并位于该两个第一轻掺杂植入层之间。

14.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第四重掺杂区、一第五重掺杂区、一第六重掺杂区及一第七重掺杂区,其中,该第四重掺杂区具有该第一导电型态,该第四重掺杂区设置于该第一井型区中,该第五重掺杂区具有该第一导电型态,该第五重掺杂区设置于该第三井型区中,该第六重掺杂区具有该第二导电型态,该第六重掺杂区设置于该第二井型区中,该第七重掺杂区具有该第二导电型态,该第七重掺杂区设置于该第二井型区中,并且,该第四重掺杂区电性耦接该第六重掺杂区,该第五重掺杂区电性耦接该第七重掺杂区。

15.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第四重掺杂区、一第五重掺杂区、一第六重掺杂区及一第七重掺杂区,其中,该第四重掺杂区具有该第一导电型态,该第四重掺杂区设置于该第一井型区中,该第五重掺杂区具有该第一导电型态,该第五重掺杂区设置于该第三井型区中,该第六重掺杂区具有该第二导电型态,该第六重掺杂区设置于该轻掺杂磊晶层中,该第七重掺杂区具有该第二导电型态,该第七重掺杂区设置于该轻掺杂磊晶层中,并且,该第四重掺杂区电性耦接该第六重掺杂区,该第五重掺杂区电性耦接该第七重掺杂区。

16.如权利要求1所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,还包括一第四重掺杂区、一第五重掺杂区、一第六轻掺杂植入层及一第七轻掺杂植入层,其中,该第四重掺杂区具有该第一导电型态,该第四重掺杂区设置于该第一重掺杂区与该第二重掺杂区之间,该第六轻掺杂植入层具有该第二导电型态,该第六轻掺杂植入层设置于该轻掺杂磊晶层中,并且,该第六轻掺杂植入层与该第一井型区环绕设置于该第四重掺杂区的外围,该第五重掺杂区具有该第一导电型态,该第五重掺杂区设置于该第三重掺杂区与该第二重掺杂区之间,该第七轻掺杂植入层具有该第二导电型态,该第七轻掺杂植入层设置于该轻掺杂磊晶层中,并且,该第七轻掺杂植入层与该第三井型区环绕设置于该第五重掺杂区的外围。

17.如权利要求5所述的具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,其特征在于,当该扫描电压经由该接地端输入,使具有该浮接基极的该硅控整流器被形成时,该硅控整流器的电性特征表现为一正向偏压二极管,且不产生有骤回效应。


技术总结
本发明公开一种具有可调整触发及保持电压的瞬时电压抑制器,包括具有第一导电型态并电性耦接第一节点的重掺杂基底、设置于基底上并具有第二导电型态的轻掺杂磊晶层、具有第一导电型态的第一、第三井型区、具有第二导电型态的第二井型区、具有第二导电型态的第一、第三重掺杂区与具有第一导电型态的第二重掺杂区。该些重掺杂区分别位于对应的井型区中,并电性耦接于第二节点。提供电性隔离的沟槽亦形成于基底中。本发明能在正、负向脉冲下各自形成具有浮接基极的双极性接面晶体管与硅控整流器,具备较佳的电性表现、高电路布局弹性与低电路布局面积。

技术研发人员:黄菘志,叶致廷,庄哲豪
受保护的技术使用者:晶焱科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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