一种叉指式背接触电池及其制备方法与流程

文档序号:36096445发布日期:2023-11-20 22:40阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种叉指式背接触电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤s7中,采用溅射的方式在硅基体的背面依次沉积透明导电氧化物薄膜、金属导电层、非晶硅掩膜;所述透明导电氧化物薄膜包括氧化锡铟薄膜、氧化锌铝薄膜和掺钨氧化铟薄膜中的至少一种;所述透明导电氧化物薄膜的厚度为30nm~300nm;所述金属导电层为铜导电层、银导电层中的至少一种;所述金属导电层的厚度为50nm~500nm;所述非晶硅掩膜的厚度为2nm~50nm。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,步骤s9中,采用链式湿法对硅基体背面的开窗区域进行酸洗,去除硅基体背面位于p型掺杂层与n型掺杂层之间所在表面区域的透明导电氧化物薄膜和金属导电层,直至露出p型掺杂层和n型掺杂层;所述酸洗过程中采用的酸性溶液为氢氟酸与盐酸的混合溶液、盐酸溶液、硝酸与盐酸的混合溶液中的至少一种;

4.根据权利要求1~3中任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤s1中,采用碱性溶液对硅基体进行双面制绒,直至在表面形成0.5μm~2μm的金字塔;所述制绒完成后,还包括:利用臭氧和氢氟酸溶液对硅基体表面进行圆化金字塔处理;所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.5ω·cm~7ω·cm;

5.一种叉指式背接触电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,步骤(7)中,采用溅射的方式在硅基体的背面依次沉积透明导电氧化物薄膜、金属导电层、非晶硅掩膜;所述透明导电氧化物薄膜包括氧化锡铟薄膜、氧化锌铝薄膜和掺钨氧化铟薄膜中的至少一种;所述透明导电氧化物薄膜的厚度为30nm~300nm;所述金属导电层为铜导电层、银导电层中的至少一种;所述金属导电层的厚度为50nm~500nm;所述非晶硅掩膜的厚度为2nm~50nm。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,步骤(9)中,采用链式湿法对硅基体背面的开窗区域进行酸洗,去除硅基体背面位于p型掺杂层与n型掺杂层之间所在表面区域的透明导电氧化物薄膜和金属导电层,直至露出p型掺杂层和n型掺杂层;所述酸洗过程中采用的酸性溶液为氢氟酸与盐酸的混合溶液、盐酸溶液、硝酸与盐酸的混合溶液中的至少一种;

8.根据权利要求5~7中任一项所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)中,采用碱性溶液对硅基体进行双面制绒,直至在表面形成0.5μm~2μm的金字塔;所述制绒完成后,还包括:利用臭氧和氢氟酸溶液对硅基体表面进行圆化金字塔处理;所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.5ω·cm~7ω·cm;

9.一种叉指式背接触电池,其特征在于,所述叉指式背接触电池由权利要求1~4中任一项所述的制备方法制得。

10.一种叉指式背接触电池,其特征在于,所述叉指式背接触电池由权利要求5~8中任一项所述的制备方法制得。


技术总结
本发明公开了一种叉指式背接触电池及其制备方法,其制备方法包括在硅基体正面制备本征非晶硅层、P型掺杂层或N型掺杂层,在硅基体背面制备交替排布的P型和N型隧穿钝化接触结构。本发明中,采用沉积氧化硅掩膜+激光刻蚀+清洗的方式可制备图形尺寸精确可控的背面n/p‑poly结构,采用非晶硅掩膜+激光开窗+湿法刻蚀的方式可以精准实现背面N区与P区的有效绝缘,不仅可以提升钝化结构的钝化效果,而且能够显著提升电池的效率,由此可制备得到转换效率高的叉指式背接触电池,其光电转换效率高达26.33%。同时,本发明还具有工艺简单、易于操作、易量产等优点,有利于降低制备成本以及实现批量化生产,便于推广应用。

技术研发人员:李兵,赵增超,李明,成秋云,蔡先武
受保护的技术使用者:湖南红太阳光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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