一种背接触电池及其制造方法与流程

文档序号:37221818发布日期:2024-03-05 15:19阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种背接触电池,其特征在于,包括:硅基底、以及交替间隔分布在硅基底背光面一侧的第一掺杂半导体层和第二掺杂半导体层;其中,

2.根据权利要求1所述的背接触电池,其特征在于,在所述间隔区域的表面中每10000平方微米范围内的粗糙度小于等于30μm;和/或,

3.根据权利要求1所述的背接触电池,其特征在于,所述第二区域的表面为平面;和/或,

4.根据权利要求1所述的背接触电池,其特征在于,所述第一掺杂半导体层和所述第二掺杂半导体层靠近所述间隔区域的侧面均呈类波浪形;其中,所述第二掺杂半导体层靠近所述间隔区域的侧面对应的波动幅度大于所述第一掺杂半导体层靠近所述间隔区域的侧面对应的波动幅度,和/或,所述第二掺杂半导体层靠近所述间隔区域的侧面对应的波动频率小于所述第一掺杂半导体层靠近所述间隔区域的侧面对应的波动频率;

5.根据权利要求1~4任一项所述的背接触电池,其特征在于,所述背接触电池还包括覆盖在所述第一掺杂半导体层、第二掺杂半导体层和所述间隔区域上的表面钝化层;和/或,

6.根据权利要求5所述的背接触电池,其特征在于,在所述背接触电池包括所述第一钝化层、且所述第一钝化层为隧穿钝化层的情况下,所述第一掺杂半导体层为掺杂多晶硅层;和/或,

7.一种背接触电池的制造方法,其特征在于,包括:

8.根据权利要求7所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,所述提供一硅基底后,所述在所述第二区域上形成第二掺杂半导体层前,所述背接触电池的制造方法包括:

9.根据权利要求8所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,所述第一掺杂半导体层的材料包括硅;

10.根据权利要求8所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,采用湿化学工艺,在所述第一掩膜层的掩膜作用下,选择性去除所述第一掺杂半导体层位于所述间隔区域和所述第二区域上的部分;并使所述间隔区域和第二区域的表面均相对于所述第一区域的表面向所述硅基底内凹入;其中,

11.根据权利要求7所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,所述使所述间隔区域和第二区域的表面均相对于所述第一区域的表面向所述硅基底内凹入后,所述背接触电池的制造方法包括:

12.根据权利要求11所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,所述第二掺杂半导体层的材料包括硅;

13.根据权利要求11所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,采用湿化学工艺,并在所述第二掩膜层的掩膜作用下,选择性去除所述第二掺杂半导体层对应所述第一区域和所述间隔区域上的部分,并使所述间隔区域的表面相对于所述第二区域的表面向所述硅基底内凹入;其中,

14.根据权利要求7~13任一项所述的背接触电池的制造方法,其特征在于,所述提供一硅基底后,所述在所述第一区域上形成第一掺杂半导体层前,所述背接触电池的制造方法还包括:在所述第一区域上形成第一钝化层;和/或,


技术总结
本发明公开一种背接触电池及其制造方法,涉及光伏技术领域,以防止第一掺杂半导体层和第二掺杂半导体层导通,同时缩短部分载流子的运动距离。所述背接触电池包括:硅基底、以及交替间隔分布在硅基底背光面一侧的第一掺杂半导体层和第二掺杂半导体层。第一掺杂半导体层和第二掺杂半导体层的导电类型相反。在硅基底的背光面中,与第一掺杂半导体层对应的区域为第一区域,与第二掺杂半导体层对应的区域为第二区域,位于第一区域和与自身相邻的第二区域之间的区域为间隔区域。第二区域的表面相对于第一区域的表面向硅基底内凹入。间隔区域的表面相对于第二区域的表面向硅基底内凹入,且相对于第一区域的表面向硅基底内凹入的深度小于3000nm。

技术研发人员:李振国,童洪波,刘庆平,董广斌,丁超,张洪超,陈晨,徐新星,王燕增
受保护的技术使用者:隆基绿能科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/4
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1