工件处理装置、工件输送系统的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明关于执行工件的定位的工件处理装置等。
【背景技术】
[0002] 现有技术中，使晶圆旋转，并使其边缘位置对应旋转角度加以检测记忆，依据检测 讯号的最大值、最小值来计算晶圆位置的偏心量及方向，以依照该偏心数据进行晶圆的中 心对正。在设于晶圆的平坦部等的开始点及结束点上，由于边缘位置的变化较其他部分急 剧，故藉由将边缘位置数据的变化率达一定程度以上的部分加以计算，并在相同装置上进 行使该平坦部等对输送装置等其他作业台而言位于特定位置的作法已为公知技术（例如， 参照专利文献1)。
[0003] 【先前技术文献】
[0004] 〔专利文献〕
[0005] (专利文献1)日本专利第2729297号公报（第1页图1等）
【发明内容】
[0006] 〔发明所欲解决的课题〕
[0007] 透过利用工件输送装置，将使用例如上述现有装置实施定位的工件输送到进 行CVD (化学汽相沉积，Chemical Vapor Deposition)或CMP (化学机械抛光，Chemical Mechanical Polishing)等的装置，可对工件适当地进行所需的处理。
[0008] 对边缘存在有毛边或崩缺（chipping)等的晶圆等工件进行CVD、研磨等处理时， 由于加诸于工件的热或压力等，工件会有破损之虞。因此，对工件进行处理之前，较佳为进 行检查，以检测有无毛边或崩缺等缺陷部分。为了此一目的，乃期望首先能在使用上述现有 技术进行工件定位之前，进行工件缺陷部分的检查。
[0009] 然而，进行工件缺陷部分的检查时，先用工件输送装置将工件输送到缺陷部分检 查用装置以进行缺陷部分的检查，检查后，还须用工件输送装置将工件输送到执行工件定 位的装置进行定位，故有工件检查及工件输送到检查装置要耗费时间的问题。
[0010] 此外，除了进行定位的装置外，也需要设置执行检查的装置，故在使成本升高的同 时，也必须在工件输送路径上确保执行检查装置的设置场所，而有要达到节省空间是极为 困难的问题。
[0011] 结果，现有技术中，乃有无法适当地进行工件缺陷检测的课题。
[0012] 本发明为了解决上述的课题而研发者，其目的在提供能够适当地进行工件缺陷检 测的工件处理装置等。
[0013] 〔解决课题所使用的手段〕
[0014] 本发明的工件处理装置具备：第一旋转距离资讯储存部，供储存多个第一旋转距 离资讯，所述第一旋转距离资讯为具有使圆形工件旋转时的旋转角度与第一距离资讯形成 对应的资讯，而该第一距离资讯为关于从对应旋转角度的工件旋转中心至边缘的距离资 讯；取得部，使用储存于第一旋转距离资讯储存部的多个第一旋转距离资讯，来取得工件对 准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于工件边缘缺陷部分的资讯；以及输出 部，用以输出取得部所取得的工件对准位置用的资讯、特定工件的朝向用的资讯、及关于缺 陷部分的资讯。
[0015] 藉由此种构成，在结合对准工件的位置与朝向时，可进行工件边缘缺陷的检测，而 可适当地进行工件缺陷的检测。
[0016] 再者，本发明的工件处理装置在前述工件处理装置中进一步具备：移动部，使用输 出部输出的有关工件边缘缺陷部分的资讯，令工件移动，俾使工件边缘的缺陷部分配置在 预先指定区域的拍摄区域内；拍摄部，用以拍摄配置于拍摄区域内的工件边缘缺陷部分； 以及影像输出部，用以输出拍摄部所拍摄的影像。
[0017] 藉由此种构成，可容易确认工件边缘的缺陷部分。
[0018] 再者，本发明的工件输送系统具备：前述工件处理装置；以及对工件处理装置进 行工件传送的工件输送装置。
[0019] 藉由此种构成，可于输送中在工件处理装置一并进行结合工件位置与朝向的处理 及检测缺陷部分的处理，故可以缩短结合工件位置与朝向的处理及缺陷部分的检测处理所 需要的时间。而且，输送时的工件移动可抑制到最小限度。
[0020] 〔发明的功效〕
[0021] 若依本发明的工件处理装置等，可适当地进行工件缺陷的检测。
【附图说明】
[0022] 图1为实施形态1的工件处理装置的方块图；
[0023] 图2(a)为用以说明工件处理装置中所使用的圆形工件的一例的示意图；
[0024] 图2(b)为用以说明工件处理装置的修正资讯取得处理的示意图；
[0025] 图3为工件处理装置的边缘位置检测器的一例的示意图；
[0026] 图4为具备工件处理装置的工件输送系统的一例的俯视图；
[0027] 图5为工件处理装置所利用的关系式的说明用图示；
[0028] 图6为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；
[0029] 图7为有关具备工件处理装置的工件输送系统的动作的说明流程图；
[0030] 图8为工件处理装置的第一旋转距离资讯管理表的图示；
[0031] 图9为用以说明工件处理装置的第一旋转距离资讯的曲线图；
[0032] 图10(a)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为0度以上未达90度 范围的曲线图；
[0033] 图10(b)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为90度以上未达180 度范围的曲线图；
[0034] 图10(c)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为180度以上未达270 度范围的曲线图；
[0035] 图10 (d)为工件处理装置的第一旋转距离资讯在旋转角度为270度以上未达360 度范围的曲线图；
[0036] 图10(e)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的合成曲线图；
[0037] 图10(f)为工件处理装置的第一旋转距离资讯的变化较小部分的曲线图；
[0038] 图11为工件处理装置的合成距离资讯管理表的图示；
[0039] 图12为工件处理装置的第二旋转距离资讯管理表的图示；
[0040] 图13为工件处理装置的多个第二旋转距离资讯的图示；
[0041] 图14为工件处理装置的距离差资讯管理表的图示；
[0042] 图15(a)为表示工件处理装置所取得的距离差资讯与旋转角度的关系的曲线图；
[0043] 图15(b)为用以说明工件处理装置的缺口检测装置所执行的处理的曲线图； [0044] 图15(c)为用以说明工件处理装置的缺陷检测装置所执行的处理的曲线图；
[0045] 图16为工件处理装置的输出例的图示；
[0046] 图17为实施形态2的工件处理装置的方块图；
[0047] 图18(a)、（b)分别为工件处理装置的一例的示意图（图18(a))、及工件处理装置 的边缘位置检测器的一例的示意图（图18(b));
[0048] 图19(a)、（b)分别为用以说明使该工件处理装置的缺陷部分移动到拍摄区域内 的处理的图示，其中，图19(a)为旋转前图示、图19(b)为旋转后图示；
[0049] 图20为有关工件处理装置的动作的说明用流程图；
[0050] 图21为工件处理装置的影像管理表的一例的图示；
[0051] 图22为工件处理装置的显示例的图示；
[0052] 图23为工件处理装置的影像情况资讯管理表的一例的图示；
[0053] 图24为工件处理装置的显示例图；以及
[0054] 图25为实施形态1的工件处理装置的其他例子的方块图。
【具体实施方式】
[0055] 〔发明的实施形态〕
[0056] 以下，参照图式就工件处理装置等的实施形态加以说明。此外，实施形态中，由于 附注相同符号的构成要素执行同样的动作，故有省略再次说明的情形。
[0057] (实施形态1)
[0058] 图1为本实施形态的工件处理装置1的方块图。
[0059] 工件处理装置1具备：第一旋转距离资讯储存部101、边缘位置检测器102、取得部 103、输出部104、评估相关资讯受理部105、以及设定部106。
[0060] 取得部103具备例如：合成装置1031、合成处理装置1032、修正资讯取得装置 1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置1036、以及缺陷检测装置 1037。
[0061] 图2为用以说明本实施形态中作为第一旋转距离资讯的取得对象的圆形工件的 一例的示意图（图2(a))、及用以说明取得工件修正资讯的处理的示意图（图2(b))。
[0062] 图3为本实施形态的边缘位置检测器102的一例的示意图。
[0063] 图4为具备本实施形态的工件处理装置1的工件输送系统1000的一例的俯视图。
[0064] 工件处理装置1为例如对圆形工件（以下亦简称为工件）10进行工件10的位置 与朝向结合用资讯的取得处理、及边缘缺陷部分的检测处理的装置。所谓工件10的位置与 朝向的结合用资讯，是指例如为了能将工件10朝预先指定方向配置于预先指定位置所使 用的资讯。
[0065] 圆形工件10为例如圆形半导体晶圆（以下称为晶圆）、贴设于补强用圆形晶圆座 等的晶圆、圆形玻璃基板等基板。圆形工件的材质（例如晶圆的材质）则不拘。此外，圆形 工件10也可为非完整的圆形，例如，也可在边缘11的一部具有定向扁平