算的距离进行的判断及藉由宽度进行的判断加 以组合，在自边缘起算的距离为临界值以上，且宽度在临界值所示范围时，即将连续区域判 断为缺口部。
[0089] 此外，本实施形态中，将于后陈述缺口检测装置1036取得表示缺口部资讯的处 理，作为取得部103取得朝向特定用资讯的处理具体例。
[0090] 所谓关于缺陷部分的资讯，为例如表示工件10的缺陷部分的存在位置的资讯，具 体而言为表示旋转角度、或缺陷部分存在区域范围的资讯（例如，表示旋转角度范围的资 讯）。而且，关于缺陷部分的资讯为表示缺陷部分大小，例如自边缘起算的距离、具体而言为 表示缺陷部分的深度或高度、缺陷部分宽度的资讯。关于缺陷部分的资讯也可再具有辨别 缺陷部分的识别符、或工件10的识别符。所谓缺陷部分，是指例如工件10的边缘11的毛 边、崩缺、尘肩等。此外，关于缺陷部分的资讯也可为表示有无缺陷部分的资讯。再者，关于 缺陷部分的资讯也可为表示缺陷部分是工件10的边缘11的凹部或凸部的资讯。例如，关 于缺陷部分的资讯为关于缺陷检测装置1037要取得的缺陷部分的资讯。
[0091] 取得部103使用例如关于缺陷部分大小的一个或两个以上临界值来进行缺陷部 分的检测，经检测后，取得关于缺陷部分的资讯。所谓关于缺陷部分大小的一个或两个以上 临界值，是指例如有关于缺陷部分的宽度及自边缘起算的距离中至少一个以上的一个或两 个以上临界值。
[0092] 取得部103会例如针对多个第一旋转距离资讯方面，计算出表示边缘11没有缺陷 部分时自工件10的旋转中心至边缘的距离（或是工件10的半径）的差的距离，并检测该 距离在缺陷部分距离在下限值以上的第一旋转距离资讯，经检测后，取得关于缺陷部分的 资讯。例如，取得部103会取得该第一旋转距离资讯所具有的旋转角度资讯等，作为关于缺 陷部分的资讯。另外，上述的检测第一旋转距离资讯也包含检测第一旋转距离资讯所具有 的第一距离资讯、或检测旋转角度的概念。
[0093] 此外，取得部103也可例如使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处向 工件10的内侧呈凹状的连续区域、或向工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，并判断 该凹状区域或凸状区域内是否有自边缘起算的距离在缺陷部分自边缘起算距离的下限值 的临界值以上的部分，若有临界值以上的部分，即将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部 分，并取得关于该缺陷部分的资讯，例如旋转角度范围的资讯。
[0094] 还有，此处所谓自边缘起算的距离，是指例如未有缺陷或缺口部时的自边缘起算 距离、或未有缺陷或缺口部的理想工件以边缘为基准的距离。此处所谓自边缘起算的距离， 是指例如工件10自边缘朝工件10的旋转中心的方向的距离、或自边缘朝与工件10的旋转 中心相反方向的距离。例如，此处的自边缘起算的距离，是指在工件未有缺口部或缺陷部分 时自边缘至缺口部的距离、或自边缘至缺陷部分的距离。此处的自边缘起算的距离也可以 为边缘的凹状区域的深度、或凸状区域的高度。此处的自边缘起算的距离也可以为自边缘 起算距离的大小、或缺口部或是缺陷部分的深度或高度的大小或绝对值。这种情况在下文 中亦属相同。
[0095] 存在于工件10的边缘11的凹状部分或凸状部分的两端，如上所述，也可利用例如 对连续的第一距离资讯施行2阶微分来进行检测。而且，取得部103也可使用上述的临界 值来判断夹介于依此方式检测的部分的工件10的边缘11的区域是否为缺陷部分，以检测 缺陷部分。
[0096] 再者，取得部103也可例如使用多个第一旋转距离资讯，对工件10的边缘11处朝 工件10的内侧呈凹状的连续区域、或朝工件10的外侧呈凸状的连续区域进行检测，并判 断该凹状区域或凸状区域的宽度是否在缺陷部分宽度下限值的临界值以上，若为下限值以 上，则将该凹状区域或凸状区域判断为缺陷部，并取得关于该缺陷部分的资讯。此外，作为 下限值的临界值，连续区域为凹状时及为凸状时，可使用不同的临界值，也可使用相同的临 界值。
[0097] 或者，也可将藉上述的自边缘起算距离进行的判断与藉宽度进行的判断加以组 合，自边缘起算的距离为临界值以上，且宽度为临界值以上时，即将连续区域判断为缺陷部 分。
[0098] 此外，取得部103也可将使用多个第一旋转距离资讯检测的工件朝向特定用缺口 部的数量与原来设在工件10的缺口部的数量加以比较，两者数量相异时，即取得表示边缘 有缺陷的关于缺陷部分的资讯。
[0099] 再者，在检测缺陷部分时，取得部103也可以将配置有工件的朝向特定用缺口部 的区域除外的方式进行检测，或者，经检测的缺陷部分位在配置有缺口部的区域内时，也可 以不取得关于该经检测的缺陷部分的资讯。
[0100] 还有，于本实施形态中，特别举出取得部103具有：合成装置1031、合成处理装置 1032、修正资讯取得装置1033、第二距离资讯取得装置1034、计算装置1035、缺口检测装置 1036、缺陷检测装置1037的情况为例来说明。
[0101] 合成装置1031是用来将包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中其对应 的旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成。此处的多个第一旋转距离资讯，是指 例如储存于第一旋转距离资讯储存部101的有关作为处理对象的一的工件10的多个第一 旋转距离资讯。
[0102] 所谓将旋转角度逐次相异90度的多个第一距离资讯合成，也可以为例如将对应 的旋转角度的差为90度的整数倍的多个第一距离资讯的组对分别加以合成。所谓90度的 整数倍为例如90度、180度、270度等。
[0103] 合成装置1031将例如包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应旋转 角度逐次相异90度的4个第一距离资讯分别合成，以取得多个合成距离资讯的方式，也可 以为例如将对应的旋转角度的差为90度的η倍（η为1至3的整数）的多个第一距离资讯 的组对分别合成的情形。
[0104] 合成有多个第一距离资讯的第一距离资讯，在此是称为合成距离资讯。合成装置 1031 -般是取得多个合成距离资讯。此处所谓的合成是指例如将一组的多个第一距离资讯 合而为一。此处的合成也可为例如取得多个第一距离资讯的平均值，也可为将多个第一距 离资讯进行加算的情形。此外，也可为计算多个第一距离资讯的差的平均。例如，合成装置 1031会将包含于多个第一旋转距离资讯的第一距离资讯中对应的旋转角度为θ ρ 0^90 度、0J18O度、及0J27O度的多个第一距离资讯的组对进行合成，并取得合成距离资讯。
[0105] 合成装置1031也可以任何一种方式将对应的旋转角度逐次相异90度的多个第一 距离资讯彼此分别合成。例如，合成装置1031也可藉由将对应的旋转角度值相连续的多个 第一旋转距离资讯持续分割为多个组，使旋转角度值的范围成为90度，且将经分割的各组 排列顺序相同的第一旋转距离资讯具有的第一距离资讯彼此间进行合成，以进行上述的合 成。
[0106] 旋转角度的值相连续是意指例如按每次取得第一距离资讯使工件10旋转时的每 个旋转角度单位的旋转角度值相连续的情形。旋转角度值相连续的情形在此权称为旋转角 度相连续。
[0107] 在此所谓排列顺序是指例如将经分割的各组第一旋转距离资讯沿着第一旋转距 离资讯各自具有的旋转角度的上升次序或下降次序排列时的排列顺序。
[0108] 例如，在藉由使工件作一个旋转等而取得、且具有0度以上未达360度的旋转角度 的多个第一旋转距离资讯储存于第一旋转距离资讯储存部101时，合成装置1031首先会将 第一旋转距离资讯分割为4部份，使对应的旋转角度范围成为：0度以上未达90、90度以上 未达180度、180度以上未达270度、270度以上未达360度。接着，合成装置1031会将经分 割的各范围的第一旋转距离资讯所具有的第一距离资讯值按照旋转角度的每个排列顺序 (例如，旋转角度的上升次序或下降次序）进行合成，并取得连续的多个合成距离资讯。藉 此方式，即可将对应的旋转角度形成逐次相异90度的4个第一距离资讯彼此间分别合成。 此外，分割时的旋转角度范围不必从〇度开始，也可例如从15度等按每90度设定旋转角度 范围。
[0109] 再者，也可从旋转角度范围在90度范围的连续多个第一旋转距离资讯，逐一依序 取得第一旋转距离资讯，并按所取得的每个第一旋转距离资讯，将具有对该旋转角度分别 加算90度、180度、及270度的旋转角度的第一旋转距离资讯进行检测，且将所取得的第一 旋转距离资讯与经检测的第一旋转距离资讯分别具有的第一距离资讯加以合成。藉此方 式，就可将上述的对应旋转角度逐次相异90度的4个第一距离资讯彼此间依序合成。
[0110] 透过依此方式将旋转角度逐次相异90度的多个，较佳为4个第一距离资讯的组对 依序合成，例如因工件10的旋转中心O从工件10的中心Q偏移所发生的第一距离资讯增 减的情形就可消除。
[0111] 而且，在合成所得的各合成距离资讯中，将例如对应合成前的多个第一距离资讯 的多个旋转角度的组对对应储存。或者，也可对应储存该旋转角度的组对中的一部分，例如 将对应的多个旋转角度中最小值的旋转角度对应储存。
[0112] 合成处理装置1032会在（合成装置1031合成第一距离资讯而取得的资讯的）多 个合成距离资讯中，将对应旋转角度相连续的多个合成距离资讯，且其值的大小变化较小 的多个合成距离资讯加以检测。然后，合成处理装置1032会取得与经检测的多个合成距离 资讯中的一个以上对应的合成前多个第一距离资讯、及与合成前的多个第一距离资讯中的 一个