技术特征：
1.一种xyz三轴联动机构，包括联动模组座(3)，其特征在于，还包括：x轴驱动机构，具有固定于所述联动模组座(3)上的x轴动力源(9)、设置于所述联动模组座(3)上的双排x轴滑轨(4)以及滑接于所述双排x轴滑轨(4)上的x轴滑动件(16)，所述x轴动力源(9)驱动连接所述x轴滑动件(16)，所述x轴滑动件(16)的前侧设置有两条上下分布的y轴滑轨(11)；y轴驱动机构，具有固定于所述联动模组座(3)上的y轴定子(7)、和所述y轴定子(7)驱动连接的y轴动子(8)以及滑接于所述y轴滑轨(11)上的y轴滑动件(14)，所述y轴动子(8)和所述y轴滑动件(14)连接，所述y轴滑动件(14)的前侧设置有双排z轴滑轨(5)；z轴驱动机构，具有固定于所述联动模组座(3)上的z轴定子(1)、和所述z轴定子(1)驱动连接的z轴动子(2)以及滑接于所述双排z轴滑轨(5)上的z轴滑动件(6)，所述z轴动子(2)连接所述z轴滑动件(6)。2.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述x轴动力源(9)为x轴音圈电机。3.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述联动模组座(3)上安装有x轴光栅尺解码器(13)，所述x轴滑动件(16)上安装有x轴光栅尺感应器，该x轴光栅尺感应器的移动路径能够到达所述x轴光栅尺解码器(13)。4.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述y轴滑动件(14)上安装有y轴光栅尺解码器(10)，所述x轴滑动件(16)上安装有y轴光栅尺感应器，该y轴光栅尺感应器设于两条y轴滑轨(11)之间，所述y轴光栅尺解码器(10)的移动路径能够到达所述y轴光栅尺感应器。5.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述y轴滑动件(14)的侧部安装有z轴光栅尺解码器(15)，所述z轴滑动件(6)的侧部安装有z轴光栅尺感应器，所述z轴光栅尺感应器的移动路径能够到达所述z轴光栅尺解码器(15)。6.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述y轴定子(7)为y轴直线电机定子。7.根据权利要求1所述的一种xyz三轴联动机构，其特征在于，所述z轴定子(1)为z轴直线电机定子。
技术总结
本实用新型公开了一种XYZ三轴联动机构，包括联动模组座，还包括X轴驱动机构、Y轴驱动机构和Z轴驱动机构。X轴驱动机构具有X轴动力源、双排X轴滑轨以及滑接于双排X轴滑轨上的X轴滑动件，X轴动力源驱动连接X轴滑动件，X轴滑动件的前侧设置有两条上下分布的Y轴滑轨；Y轴驱动机构具有Y轴定子、Y轴动子以及Y轴滑动件，Y轴动子和Y轴滑动件连接，Y轴滑动件的前侧设置有双排Z轴滑轨；Z轴驱动机构具有Z轴定子、Z轴动子以及Z轴滑动件，Z轴动子连接Z轴滑动件。本实用新型的XYZ三轴联动机构运行稳定，在XYZ三轴方向上均安装有光栅尺解码器，使XYZ三轴在高速运动下仍然保证运行距离的精度。本实用新型的XYZ三轴联动机构产生的噪音小。新型的XYZ三轴联动机构产生的噪音小。新型的XYZ三轴联动机构产生的噪音小。
技术研发人员：刘洪波 徐杰 单佳伟
受保护的技术使用者：深圳龙祥微电子装备有限公司
技术研发日：2022.02.14
技术公布日：2022/8/16