对基板作业装置及对基板作业系统的制作方法

文档序号:11162673阅读:来源:国知局
技术总结
在对基板作业系统(10)中,对基板作业装置(20)的CPU(32)在本装置发生了错误的情况下发送与该错误相关的错误关联信息。并且,CPU(32)接收与其他的对基板作业装置(20)的错误相关的错误关联信息,并将接收到的错误关联信息存储于HDD(35)。并且,在检测出发生了错误的对基板作业装置(20)(其他的对基板作业装置(20))的电源切断的情况下,对显示操作部(60)进行控制,以向作业者报知基于所存储的错误关联信息的信息(其他装置错误报知画面)。由此,在发生了错误的对基板作业装置(20)的电源被切断的情况下,其他的对基板作业装置(20)能够向作业者报知与错误相关的信息。

技术研发人员:山本瑞穗;藤村晋吾;高桑淳郎
受保护的技术使用者:富士机械制造株式会社
文档号码:201480081797
技术研发日:2014.09.12
技术公布日:2017.05.10

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