1.一种辐射源，包括：
燃料发射器，所述燃料发射器被配置成将燃料液滴提供给等离子体形成区域；和
激光器系统，所述激光器系统被配置为提供激光束；其中
所述激光器系统包括延迟线路，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的次要部分延迟所述激光束的主要部分，使得所述激光束的所述次要部分的脉冲在所述激光束的所述主要部分的脉冲之前入射在所述等离子体形成区域。
2.根据权利要求1所述的辐射源，其中，在所述激光束的所述主要部分的脉冲之前，所述激光束的所述次要部分的脉冲形成基座。
3.根据权利要求1所述的辐射源，其中，所述激光束的所述次要部分的脉冲在时间上与所述激光束的所述主要部分的脉冲不交叠。
4.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的所述次要部分的脉冲将所述激光束的所述主要部分的脉冲延迟100ns至300ns之间。
5.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，所述激光束的所述次要部分的脉冲的持续时间在30ns至150ns之间。
6.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，所述延迟线路包括光放大器。
7.根据权利要求6所述的辐射源，其中，所述激光器系统被配置为使得所述激光束的所述主要部分在所述光放大器内向前-向后多次传递，并且所述激光束的所述次要部分直接传播通过所述光放大器。
8.根据权利要求6或7所述的辐射源，其中，所述光放大器包括入口窗、出口窗和一系列反射镜，并且其中，所述激光器系统被配置为使得所述激光束的所述次要部分直接从所述入口窗传递至所述出口窗，而所述激光束的所述主要部分从所述入口窗经过所述一系列反射镜传递至所述出口窗。
9.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，使用激光束分离装置将所述激光束分成所述主要部分和所述次要部分。
10.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，所述激光器系统还包括脉冲成形装置，所述脉冲成形装置被配置为修改所述激光束的所述次要部分的脉冲。
11.根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，其中，所述激光器系统还包括放大系统，所述放大系统被配置为在所述激光束的所述主要部分和所述激光束的所述次要部分入射在所述等离子体形成区域之前放大所述激光束的所述主要部分和所述激光束的所述次要部分。
12.一种光刻系统，包括根据前述权利要求中任一项所述的辐射源，并且还包括：
照射系统，所述照射系统被配置为调节从所述辐射源接收的辐射束；
支撑结构，所述支撑结构被构造为支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面中赋予所述辐射束图案以形成图案化的辐射束；
衬底台，所述衬底台被构造成保持衬底；以及
投影系统，所述投影系统被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底上。
13.一种激光器系统，被配置为向极紫外辐射源提供激光束，其中所述激光器系统包括延迟线路，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的次要部分延迟所述激光束的主要部分，使得所述激光束的所述次要部分的脉冲在所述激光束的所述主要部分的脉冲之前从所述激光器系统输出。
14.一种产生极紫外辐射的方法，包括：
使用脉冲激光器系统提供脉冲激光束的主要部分和脉冲激光束的次要部分，所述主要部分相对于所述次要部分被延迟线路延迟；和
将所述脉冲激光束的所述主要部分和所述脉冲激光束的所述次要部分引导到燃料液滴上，以产生发射极紫外辐射的等离子体。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，在所述脉冲激光束的所述主要部分的脉冲之前，所述脉冲激光束的所述次要部分的脉冲形成基座。
16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述脉冲激光束的所述次要部分的脉冲与所述脉冲激光束的所述主要部分的脉冲不交叠。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的方法，其中，所述延迟线路将所述脉冲激光束的所述主要部分相对于所述脉冲激光束的所述次要部分延迟100ns至300ns之间。
18.根据权利要求14至17中任一项所述的方法，其中，所述脉冲激光束的所述次要部分的脉冲的持续时间在30ns至150ns之间。