技术总结
一种辐射源，包括：燃料发射器，所述燃料发射器被配置成将燃料液滴提供给等离子体形成区域；和激光器系统，所述激光器系统被配置为提供激光束；其中所述激光器系统包括延迟线路，所述延迟线路被配置为相对于所述激光束的次要部分延迟所述激光束的主要部分，使得所述激光束的次要部分的脉冲在所述激光束的主要部分的脉冲之前入射在所述等离子体形成区域。
技术研发人员：H·M·米尔德;M·A·范德柯克霍夫
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2018.05.03
技术公布日：2020.01.14