一种等离子设备的电极装置及等离子设备的制作方法

本实用新型涉及等离子设备领域，尤其涉及一种等离子设备的电极装置及等离子设备。

背景技术：

等离子设备广泛应用于等离子清洗、蚀刻、镀膜等场合，等离子设备在放电的过程，由于电流都是从电极的表面通过，所以普遍存在电极板正中间放电强度要弱于四周边界区域的情况，在等离子蚀刻电路板的过程中，存在电极中间蚀刻量低于四周的情况。

现有的等离子设备的电极采用深钻孔的方式，冷却管道采用了蛇形的结构，冷却水是匀速的流经电极内部，整片电极温度也相对均匀。因此放电过程中，中间区域放电弱于四周，设备蚀刻不均匀。按理论的计算，如果要改变电极中间区域放电弱的现象，可以采取提高电极中间区域的温度的方式，提高中间区域放电的强度，从而提高中间区域的蚀刻量。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术的不足，本实用新型提供了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，解决了等离子设备的电极装置中间区域蚀刻量低的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：

一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，交替间隔设置，中间布置紧密，四周布置稀疏。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互连通的进水管和出水管，所述进水管和出水管交替间隔设置，所述进水管为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。

作为上述方案的进一步改进，所述进水管和出水管的交替间隔的距离由中心向外围逐渐减小。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道的形状与费马螺线的形状一致。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道和第二蛇形管道，所述第一蛇形管道和第二蛇形管道的分布密度由中间向两端逐渐增加。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道为sus304不锈钢冷却管道或sus316不锈钢冷却管道。

作为上述方案的进一步改进，所述上基板和下基板的相同位置设有若干通孔。

作为上述方案的进一步改进，所述上基板和/或下基板为铝合金板。

本实用新型还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置。

本实用新型的有益效果有：

本实用新型提供的一种等离子设备的电极装置，包括呈三明治结构的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

本实用新型还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

附图说明

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明，其中：

图1是本实用新型较优实施例中的电极装置的爆炸示意图；

图2是本实用新型较优实施例中的电极装置的结构示意图；

图3是本实用新型较优实施例中的冷却管道的结构示意图；

图4是本实用新型实施例2中的冷却管道的结构示意图；

图5是本实用新型实施例3中的冷却管道的结构示意图。

具体实施方式

下面对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

实施例1

参见图1和图2，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述下基板3、冷却管道2和上基板1呈三明治结构，冷却管道2设在电极装置内部使冷却效果更充分。其中所述上基板1和/或下基板3为铝合金板，不但具有良好的导电能力，还具有很强的耐腐蚀性，所述冷却管道2为sus304不锈钢冷却管道2或sus316不锈钢冷却管道2，具有高的耐蚀性，在低温、室温及高温下均有较高的塑性和韧性。进一步，所述冷却管道2的降温能力由中间向四周递增，使电极装置中间温度高于四周温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

参见图3，所述冷却管道2为将费马螺线变形拉直后得到的管道，包括相互连通的进水管21和出水管22，所述进水管21和出水管22交替间隔设置，所述进水管21为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管22为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。冷却介质如冷凝水从进水管21流入，经出水管22流出，由于进水管21和出水管22均为矩形螺旋管道，因此越接近中间区域，冷却管道2的转弯越多，使得中间区域水流流速逐渐降低，降温能力逐渐降低，从而使中间区域的温度高于四周温度，而温度越高等离子电极放电能力越强，因此也就提高了中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

进一步，两两相邻的进水管21和出水管22的间距由中心向外围逐渐减小，一方面，进水管21和出水管22里面的冷凝水随着移动距离增大温度逐渐增加，所以从四周向中心都是一根温度较高的管道与一根温度较低的管道交叉分布并且越靠近外围的冷却管道2间的温差越大，因此由中心向外围逐渐减小进水管21和出水管22的间距使进水管21和出水管22更容易进行热交换，平衡所在区域的温度；另一方面，还可以进一步提高中间区域和外围区域的温差，增强中间区域的放电强度。

进一步，所述上基板1和下基板3的相同位置设有若干通孔12，作为电极的空心阴极参与辉光放电。

本实用新型还提供了一种等离子设备，包括实施例1所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

实施例2

参见图1和图4，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述冷却管道2的形状与费马螺线的形状一致，其外圈间距较近，中心间距最大，逐圈增大间距，即中间区域每单位面积所包含的冷却管道2长度要少于外围区域，降低中间区域的散热能力，因此中间区域的温度高于外围区域，从而提高中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

本实用新型还提供了一种等离子设备，包括实施例2所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

实施例3

参见图1和图5，一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板3、冷却管道2和上基板1，所述冷却管道2包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道23和第二蛇形管道24，所述第一蛇形管道23和第二蛇形管道24的分布密度由中间向两端逐渐增加，降低中间区域的散热能力，因此中间区域的温度高于外围区域，从而提高中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

本实用新型还提供了一种等离子设备，包括实施例3所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

以上所述，只是本实用新型的较佳实施方式而已，但本实用新型并不限于上述实施例，只要其以任何相同或相似手段达到本实用新型的技术效果，都应属于本实用新型的保护范围。