1.一种等离子设备的电极装置，其特征在于：包括从下到上依次设置的下基板(3)、冷却管道(2)和上基板(1)，所述冷却管道(2)交替间隔设置，中间布置紧密，四周布置稀疏。
2.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)包括相互连通的进水管(21)和出水管(22)，所述进水管(21)和出水管(22)交替间隔设置，所述进水管(21)为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管(22)为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。
3.根据权利要求2所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述进水管(21)和出水管(22)的交替间隔的距离由中心向外围逐渐减小。
4.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)的形状与费马螺线的形状一致。
5.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道(23)和第二蛇形管道(24)，所述第一蛇形管道(23)和第二蛇形管道(24)的分布密度由中间向两端逐渐增加。
6.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述冷却管道(2)为sus304不锈钢冷却管道(2)或sus316不锈钢冷却管道(2)。
7.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述上基板(1)和下基板(3)的相同位置设有若干通孔(12)。
8.根据权利要求1所述的一种等离子设备的电极装置，其特征在于：所述上基板(1)和/或下基板(3)为铝合金板。
9.一种等离子设备，其特征在于：包括如权利要求1-8任一所述的电极装置。