经由有机蒸气喷射印刷(OVJP)输送有机材料的装备和方法与流程

本发明涉及高温、低轮廓、可接合的气体分布板和对置板，其用于使喷射头与大型气体输送系统耦联以便经由有机蒸气喷射印刷(ovjp)输送有机材料；以及包括所述板的装置和技术。

背景技术：

1、出于许多原因，利用有机材料的光电装置变得越来越受欢迎。用于制造所述装置的许多材料相对较为便宜，因此有机光电装置具有优于无机装置的成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质(例如其柔性)可以使其较适用于特定应用，如在柔性衬底上的制造。有机光电装置的实例包括有机发光二极管/装置(oled)、有机光电晶体管、有机光伏电池和有机光电检测器。对于oled，有机材料可以具有优于常规材料的性能优势。举例来说，有机发射层发射光所处的波长通常可以用适当的掺杂剂容易地调节。

2、oled利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时会发射光。oled正成为用于如平板显示器、照明和背光的应用中的日益受关注的技术。若干oled材料和配置描述于美国专利案第5,844,363号、第6,303,238号和第5,707,745号中，其以全文引用的方式并入本文中。

3、磷光发射分子的一个应用是全色显示器。针对此类显示器的行业标准需要适合于发射特定颜色(称为“饱和”色)的像素。具体来说，这些标准需要饱和红色、绿色和蓝色像素。或者，oled可经设计以发射白光。在常规液晶显示器中，使用吸收滤光器过滤来自白色背光的发射以产生红色、绿色和蓝色发射。相同技术也可以用于oled。白色oled可以是单一eml装置或堆叠结构。可以使用所属领域中所熟知的cie坐标来测量颜色。

4、如本文中所用，术语“有机”包括可以用于制造有机光电装置的聚合材料和小分子有机材料。“小分子”是指不是聚合物的任何有机材料，并且“小分子”可能实际上相当大。在某些情况下，小分子可能包括重复单元。例如，使用长链烷基作为取代基不会将分子从“小分子”类别中移除。小分子也可以并入到聚合物中，例如作为聚合物主链上的侧基或作为主链的一部分。小分子也可以作为树枝状聚合物的核心部分，所述树枝状聚合物由一系列建立在核心部分上的化学壳组成。树枝状聚合物的核心部分可以是荧光或磷光小分子发射体。树枝状聚合物可以是“小分子”，并且认为当前在oled领域中使用的所有树枝状聚合物都是小分子。

5、如本文所用，“顶部”意指离衬底最远，而“底部”意指最靠近衬底。在第一层被描述为“安置于”第二层“上方”的情况下，第一层被安置于离基板较远处。除非规定第一层“与”第二层“接触”，否则第一与第二层之间可以存在其它层。举例来说，即使阴极和阳极之间存在各种有机层，仍可以将阴极描述为“安置于”阳极“上方”。

6、如本文所用，“溶液可处理”意指能够以溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、分散或传输和/或从液体介质沉积。

7、当认为配体直接促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“光敏性的”。当认为配体并不促成发射材料的光敏性质时，所述配体可以被称为“辅助性的”，但辅助性配体可以改变光敏性配体的性质。

8、如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一能级较接近真空能级，那么第一“最高占用分子轨道”(highest occupied molecular orbital，homo)或“最低未占用分子轨道”(lowest unoccupied molecular orbital，lumo)能级“大于”或“高于”第二homo或lumo能级。由于将电离电位(ip)测量为相对于真空能级的负能量，因此较高homo能级对应于具有较小绝对值的ip(较不负(less negative)的ip)。类似地，较高lumo能级对应于具有较小绝对值的电子亲和性(ea)(较不负的ea)。在顶部是真空能级的常规能级图上，材料的lumo能级高于相同材料的homo能级。“较高”homo或lumo能级表现为比“较低”homo或lumo能级更靠近这个图的顶部。

9、如本文所用，并且如所属领域的技术人员通常将理解，如果第一功函数具有较高绝对值，那么第一功函数“大于”或“高于”第二功函数。因为通常将功函数测量为相对于真空能级的负数，所以这意指“较高”功函数是更负的(more negative)。在顶部是真空能级的常规能级图上，“较高”功函数经说明为在向下方向上离真空能级较远。因此，homo和lumo能级的定义遵循与功函数不同的定则。

10、本文可以参考层、材料、区和装置发射的光的颜色来对它们进行描述。一般来说，如本文所用，描述为产生特定颜色的光的发射区域可以包括一或多个呈堆叠方式安置在彼此上的发射层。

11、如本文所用，“红色”层、材料、区域或装置是指在约580-700nm的范围内发射光或其发射光谱在所述区域中具有最高峰的层、材料、区域或装置。类似地，“绿色”层、材料、区或装置是指发射或具有峰值波长在约500-600nm范围内的发射光谱的层、材料、区或装置；“蓝色”层、材料或装置是指发射或具有峰值波长在约400-500nm范围内的发射光谱的层、材料或装置；并且“黄色”层、材料、区或装置是指具有峰值波长在约540-600nm范围内的发射光谱的层、材料、区或装置。在一些布置中，单独区域、层、材料、区域或装置可以提供单独的“深蓝色”和“浅蓝色”光。如本文中所用，在提供单独的“浅蓝色”和“深蓝色”分量的布置中，“深蓝色”分量是指峰值发射波长比“浅蓝色”分量的峰值发射波长小至少约4nm的分量。通常，“浅蓝色”分量的峰值发射波长在约465nm到500nm范围内，且“深蓝色”分量的峰值发射波长在约400nm到470nm范围内，但是对于一些配置来说这些范围可以变化。类似地，颜色改变层是指将另一颜色的光转换或修改成具有指定用于所述颜色的波长的光的层。举例来说，“红色”滤色片是指形成具有在约580-700nm范围内的波长的光的滤色片。一般来说，存在两类颜色改变层：通过去除光的非所需波长修改光谱的滤色片，以及将较高能量的光子转换成较低能量的颜色改变层。“颜色的”分量是指在激活或使用时产生或以其它方式发射具有如先前所述的特定颜色的光的分量。举例来说，“第一颜色的第一发射区域”和“不同于第一颜色的第二颜色的第二发射区域”描述当在装置内激活时发射如先前所述的两种不同颜色的两个发射区域。

12、如本文所用，发射材料、层和区域可基于由所述材料、层或区域最初产生的光，而不是由相同或不同结构最终发射的光彼此区分开，并与其它结构区分开。初始光产生通常是导致光子发射的能级变化的结果。举例来说，有机发射材料可初始地产生蓝光，所述蓝光可通过滤色片、量子点或其它结构转换成红光或绿光，使得完整的发射堆叠或子像素发射红光或绿光。在此情况下，初始发射材料或层可被称为“蓝色”分量，即使子像素为“红色”或“绿色”分量。

13、在一些情况下，可优选地根据1931cie坐标描述分量的颜色，如发射区域、子像素、颜色改变层等的颜色。举例来说，黄色发射材料可具有多个峰值发射波长，一个在“绿色”区域的边缘中或附近，且一个在“红色”区域的边缘内或附近，如先前所描述。因此，如本文中所用，每一颜色项还对应于1931cie坐标颜色空间中的形状。1931cie颜色空间中的形状是通过跟随两个颜色点与任何其它内部点之间的轨迹构造的。例如，可如下所示地定义红色、绿色、蓝色和黄色的内部形状参数：

14、

15、关于oled的更多细节和上文所述的定义可见于美国专利第7,279,704号中，所述专利以全文引用的方式并入本文中。

技术实现思路

1、根据一个实施例，还提供一种有机发光二极管/装置(oled)。oled可以包括阳极、阴极和安置在阳极与阴极之间的有机层。根据一个实施例，所述有机发光装置并入一或多种选自消费型产品、电子组件模块和/或照明面板的装置中。

2、根据一个实施例，一种装备可包括微制造流控裸片上设有微喷嘴阵列的装置。所述装置可包括第一气体分布板和第二对置板，其中微制造流控裸片设置在第一气体分布板与第二对置板之间。第一气体分布板可以是单晶硅、柱状硅和/或多晶硅，并且可以经由气密式密封不可逆地连接到微喷嘴阵列，其中第一气体分布板包括多个密封流动路径。可以使歧管可逆地连接到第一气体分布板，其中微制造流控裸片和第一气体分布板和第二对置板可以设置在歧管之间。所述装备可包括与主动冷却源处于热接触的导热板，其中所述导热板具有至少一个贯穿其整个厚度的窗口，第一气体分布板和第二对置板、微制造流控裸片的一部分以及装置的微喷嘴阵列穿过所述窗口伸出，以便窗口横截面的短轴向相对于导热板在一定范围内移动的装置提供间隙配合。所述装备可包括与第一气体分布板处于流体连通的一或多个热蒸发源，其中歧管可经由位于第一气体分布板内的多个密封流动路径与微喷嘴阵列达成流体连通。

3、装置的微喷嘴阵列可以设置于微制造流控裸片的边缘上。微喷嘴阵列可以设置于微型流控裸片的端面上。

4、装置的微制造流控裸片可包括硅、石英和/或金属中的至少一种。

5、装置中的第二对置板可以是第二气体分布板，其中歧管经由气密式密封连接到第一气体分布板。

6、装置的多个密封流动路径中的至少一个可以被配置成载运有机蒸气和惰性载气的混合物。

7、装置中的第一气体分布板可以在微喷嘴阵列附近具有供所有流动路径通过的区段，并且所述区段深度的纵横比不超过所述区段宽度或高度的10％。如通篇所用，所述深度可以是与微喷嘴阵列端面正交的方向。

8、装备中的导热板可以将微喷嘴阵列所作用的物体隔热，所述热由歧管和多个蒸发源产生。

9、装置的密封可以是垫片或接头。可以利用回焊温度大于350℃或大于500℃的玻璃料、陶瓷粘合剂、接合和/或锡焊或铜焊化合物使装置中的微喷嘴阵列不可逆地连接到第一气体分布板和第二对置板，从而形成密封。装置中的第一气体分布板可包括平均热膨胀系数在室温与锡焊的回焊温度之间小于4x10-6 k-1的材料。

10、装置中的第一气体分布板和第二对置板可由单晶硅、柱状硅和多晶硅中的至少一种制成。

11、所述装备可包括与微喷嘴阵列热耦联的加热器，其中所述加热器被配置成加热微喷嘴阵列。微喷嘴阵列可以将气体的对流射流导向衬底表面。

12、装备中的微喷嘴阵列和衬底可以被配置成相对于彼此移动。

13、装置中的微制造流控裸片和微喷嘴阵列可以包含硅，并且可以使微制造流控裸片与第一气体分布板接合。

14、导热板可以具有内衬有绝热材料的窗口。微喷嘴阵列和第一气体分布板可包含装置的至少一部分，所述至少一部分穿过导热板的窗口伸出，以便装置的法平面与第一气体分布板的深度维度平行。

15、装置中的第一气体分布板和第二对置板可包括电阻加热器。装置中的第一气体分布板和第二对置板可包括一或多种选自单晶硅、柱状硅和多晶硅的绝热材料。装置中的第一气体分布板和第二对置板中的至少一者可配置成让气体穿过其馈送。

16、所述装备可包括可变形金属垫片，其中使用可变形金属垫片将第一气体分布板密封到歧管。可变形金属垫片可以可逆地密封到所述装置。可变形金属垫片可包含与歧管一体化的材料。

17、装置中的第一气体分布板可包含多个蚀刻或研磨材料层，所述材料层利用成形温度大于用于使微喷嘴阵列与第一气体分布板连接的材料的回焊温度而接合在一起。

18、根据一个实施例，一种装备可包括具有微喷嘴阵列的装置。所述装置可包括第一气体分布板，所述第一气体分布板是单晶硅、柱状硅和/或多晶硅并且经由气密式密封不可逆地连接到微喷嘴阵列，其中第一气体分布板包括多个密封流动路径。装置的一或多个热蒸发源可与第一气体分布板处于流体连通。所述装置可包括歧管，其中第一气体分布板可逆地连接到所述歧管。歧管可经由位于第一气体分布板内的多个密封流动路径与微喷嘴阵列达成流体连通。这些流动路径中的至少一个可载运有机蒸气和惰性载气的混合物。第一气体分布板在微喷嘴阵列附近可具有供所有流动路径通过的区段，且所述区段的深度不宽于微喷嘴阵列在其附接点处的深度，其中所述深度可以是与微喷嘴阵列端面正交的方向。所述装备可包括导热板，其中第一气体分布板和导热板与主动冷却源处于热接触。导热板可具有至少一个贯穿其整个厚度的窗口，所述装置可以穿过所述窗口伸出，以便窗口横截面的短轴的维度在所述装置相对于导热板移动的范围内向所述装置中的至少微喷嘴阵列提供至少间隙配合，使得导热板将微喷嘴阵列所作用的物体隔热，所述热由歧管和一或多个热蒸发源产生。

19、装置的密封可以是垫片或接头。装置中的微喷嘴阵列可以不可逆地连接且/或附接到装置，例如使用回焊温度可大于350℃或大于500℃的玻璃料、陶瓷粘合剂、接合和/或锡焊或铜焊化合物来实现所述连接和/或附接。第一气体分布板可包含平均热膨胀系数在室温与锡焊回焊温度之间小于4x10-6 k-1的材料。所述装置可包含钼、钨、科伐合金(kovar)、氮化铝、氮化硅、单晶硅、柱状硅和/或多晶硅中的至少一种。

20、所述装备可包括与微喷嘴阵列热耦联的加热器，其中所述加热器被配置成加热微喷嘴阵列。

21、装置中的微喷嘴阵列可以将气体的对流射流导向衬底表面。微喷嘴阵列和衬底被配置成相对于彼此移动。微喷嘴阵列可以包含硅。

22、装备中的导热板可包含内衬有绝热材料的窗口。

23、所述装置可包括可变形金属垫片，其中使用可变形金属垫片将第一气体分布板密封到歧管。可变形金属垫片可以可逆地密封到所述装置。在一些实施例中，可变形金属垫片包含与歧管一体化的材料。