技术特征：
1.一种钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：包括输送基板的传动装置（1）以及沿所述传动装置（1）输送方向依次设置的去溶胶室（2）、前缓冲室（3）、成核室（4）、后缓冲室（5）和晶体生长室（6），所述去溶胶室（2）包括为室内抽真空的真空系统（22）以及分别开关所述去溶胶室（2）进出口的两个门阀（23），所述成核室（4）内设有对所述基板的成膜面进行气体换热的第一加热系统（41），所述第一加热系统（41）包括依次连接的供气装置（411）、气体加热装置（412）和出风装置（413），所述出风装置（413）具有若干用来向所述基板的成膜面喷气的出风端口，所述晶体生长室（6）内设有第二加热系统（61）。2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述前缓冲室（3）、所述成核室（4）和所述后缓冲室（5）三个腔室紧邻排列构成一个整体的密封腔室，相邻腔室之间被隔板隔开且同时预留有连通口，所述连通口供基板传输经过。3.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述门阀（23）包括上下运动的门板（231）以及位于所述门板（231）下方的密封垫（232）。4.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述去溶胶室（2）内还设有真空计（21），所述真空系统（22）包括为所述去溶胶室（2）抽真空的真空泵（221a）和为所述去溶胶室（2）破真空的泄气阀（222）。5.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述去溶胶室（2）内还设有真空计（21），所述真空系统（22）包括为所述去溶胶室（2）提供较低真空度的一级真空泵（221b）、为所述去溶胶室（2）提供较高真空度的二级真空泵（221c）和为所述去溶胶室（2）破真空的泄气阀（222）。6.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述出风装置（413）包括壳体（4131），所述出风端口为平行设置于所述壳体（4131）下部的若干风刀（4132）以及阵列设置于所述壳体（4131）下表面的若干排气孔（4133），所述风刀（4132）的出口垂直于所述传动装置（1）的输送方向。7.根据权利要求6所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：包括面板控制单元（9），所述面板控制单元（9）控制所述出风端口相对所述基板的高度以及所述出风端口的出风角度。8.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备，其特征在于：所述传动装置（1）的入口具有上料区（7），所述传动装置（1）的出口具有下料区（8）。9.一种钙钛矿薄膜退火结晶处理方法，其特征在于：应用钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备完成，步骤包括上料、去溶胶、成核、晶体生长以及下料。10.根据权利要求9所述的钙钛矿薄膜退火结晶处理方法，其特征在于：出风端口的出风方向与基板的上表面夹角在20-90
°
，所述出风端口与所述基板的高度差为1-150mm，出风压力0.2-0.6mpa，气体加热装置加热气体温度至10-200℃。
技术总结
本发明属于太阳能电池制造技术领域，涉及一种钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备以及方法，设备包括输送基板的传动装置以及沿传动装置输送方向依次设置的去溶胶室、前缓冲室、成核室、后缓冲室和晶体生长室，去溶胶室包括为室内抽真空的真空系统以及分别开关去溶胶室进出口的两个门阀，成核室内设有第一加热系统，第一加热系统包括依次连接的供气装置、气体加热装置和出风装置，出风装置具有若干用来向基板的成膜面喷气的出风端口，晶体生长室内设有第二加热系统。方法应用所述钙钛矿薄膜产线化退火结晶设备完成。本发明能够避免去溶胶挥发的溶剂和水气影响到薄膜的结晶，得到了大范围内均一、平整、无缺陷、无孔洞的高质量钙钛矿薄膜。膜。膜。
技术研发人员：杨星 刘旭豪 周文彬
受保护的技术使用者：昆山晟成光电科技有限公司
技术研发日：2023.03.03
技术公布日：2023/3/27