1.一种lamb波谐振器,其特征在于,包括谐振器主体结构;所述谐振器主体结构包括自上而下依次设置的顶部叉指电极结构(8)、压电振动结构(7)和底部叉指电极结构(5),所述底部叉指电极结构(5)由若干个横截面为等腰梯形的底部电极构成,所述底部电极的上表面与压电振动结构(7)下表面处于同一平面,所述底部电极的下表面宽度大于上表面宽度,所述底部电极的边缘剪切角趋近于60°。
2.根据权利要求1所述的lamb波谐振器,其特征在于,所述lamb波谐振器还包括衬底(1),所述衬底(1)设置于所述谐振器主体结构的下方,所述衬底(1)具有中部内凹的释放腔(3)且上表面沉积有释放保护层(2)的衬底(1),所述释放腔(3)的深度为1μm,所述衬底(1)为电阻率5000~10000ω*cm的高阻硅,所述衬底(1)的厚度为500-600μm。
3.根据权利要求1所述的lamb波谐振器,其特征在于,所述lamb波谐振器还包括设置于所述顶部叉指电极结构(8)四周的顶部焊盘(9)和设置于所述底部叉指电极结构(5)四周的底部焊盘(6),所述顶部叉指电极结构(8)由铝电极构成,所述顶部焊盘(9)为铝焊盘,所述底部电极为低阻硅电极,所述底部焊盘(6)为低阻硅焊盘。
4.根据权利要求2所述的lamb波谐振器,其特征在于,所述释放保护层(2)为二氧化硅层,所述释放保护层(2)的厚度为1μm。
5.根据权利要求1所述的lamb波谐振器,其特征在于,所述顶部电极的数量为6-100个,厚度为150nm,周期为1.4-2μm,宽度为0.7-1μm;所述底部电极的数量为6-100个,厚度为150nm,周期为1.4-2μm,电极的宽度为0.7-1μm。
6.根据权利要求1所述的lamb波谐振器,其特征在于,所述压电振动结构(7)为氮化铝压电薄膜,所述压电振动结构(7)厚度为1μm。
7.权利要求1-6任一项所述的lamb波谐振器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,步骤s3具体为:在平坦化后的衬底(1)上表面键合100晶向的低阻硅,干法刻蚀形成底部焊盘(6)和叉指电极图案后,进行时长为20秒的各向异性的湿法刻蚀,形成由趋近于60°边缘剪切角的底部电极所构成的底部叉指电极结构(5),去胶,得到具有底部叉指电极结构(5)的晶圆。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述湿法刻蚀具体为:采用33%的氢氧化钾溶液作为湿法刻蚀液。