MEMS麦克风的制作方法

本发明涉及声电领域，尤其涉及一种运用于便携式电子产品的mems麦克风。

背景技术：

通讯技术的发展，在全球范围内移动电话的用户越来越多，用户对移动电话的需求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计的好坏直接影响通话质量。

相关技术中的麦克风，特别是mems麦克风包括背板、与所述背板相对间隔设置以形成电容的振膜、由背板向所述振膜方向延伸形成的凸部及贯穿所述振膜设置的通孔，所述凸部正对所述通孔设置并与所述通孔形成空气间隙，使得所述mems麦克风正常工作。当所述振膜受到由背板向振膜方向的气压时，所述振膜向远离背板的方向移动，即远离所述凸部，从而使得所述通孔与所述凸部形成的所述空气间隙增大，气压由空气间隙流出以平衡该压力。

然而，当所述振膜受到由振膜向背板方向的气体压力时，所述振膜向靠近所述背板方向移动，即靠近所述凸部，使得所述通孔与所述凸部形成的空气间隙不能增大，则所述背板远离所述振膜一侧的气体无法经所述空气间隙流出以平衡该压力，从而影响所述mems麦克风的性能。

因此，实有必须提供一种新的mems麦克风解决上述技术问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种声学性能好且可靠性强的mems麦克风。

为了达到上述目的，本发明提供了一种mems麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部、贯穿所述振动膜设置的通孔及贯穿所述凸部设置的平衡孔；所述凸部与所述通孔正对设置，且所述凸部的靠近所述通孔的一侧与所述通孔齐平，所述通孔与所述凸部之间形成空气间隙；当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。

优选的，所述凸部与所述背极板为一体结构。

优选的，所述凸部包括由所述背极板向所述振动膜方向延伸且围成柱状的侧壁和盖设固定于所述侧壁的远离所述背极板一端的底壁，所述平衡孔贯穿所述侧壁设置且所述平衡孔与所述底壁之间形成挡壁，所述振动膜正常工作时向所述凸部方向的正投影位于所述挡壁范围内。

优选的，所述侧壁与所述底壁为一体结构。

优选的，所述平衡孔包括多个且间隔设置。

优选的，所述平衡孔包括四个且等间隔设置。

优选的，所述凸部呈圆柱状或方柱状。

优选的，所述凸部及所述通孔均包括一个，且分别位于所述背极板与所述振动膜的中心。

优选的，所述背极板还设有连通所述平衡孔和与所述凸部相邻的声孔的连通通道。

与相关技术相比，本发明的mems麦克风通过所述背极板的所述凸部与所述振动膜的所述通孔配合形成空气间隙，使得所述振动膜受由所述背极板向所述振动膜方向的空气压力时，所述振动膜向远离所述背极板移动，从而使所述空气间隙增大，使得所述空气气压经所述空气间隙流出以实现压力平衡；同时在所述凸部设置平衡孔，使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通，该结构使当所述振动膜受由所述振动膜向所述背极板方向的空气压力时，使得所述空气气压经所述空气间隙由所述平衡孔流出以实现压力平衡。从而使得本发明的mems麦克风可以两个方向均能平衡所受压力，进而提高了所述mems麦克风的声学性能和可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本发明mems麦克风的结构示意图；

图2为本发明mems麦克风的部分立体结构示意图；

图3为图2的分解图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请同时参阅图1-3，本发明提供了一种mems麦克风100，包括基座1、分别固定于所述基座的背极板2和振动膜3、凸部4、通孔5及平衡孔6。

所述背极板2设有多个贯穿其上的声孔21。

所述振动膜3与所述背极板2相对且间隔设置以形成电容结构。声压的变化使所述振动膜3相对于所述背极板2相对振动，即改变所述振动膜3与所述背极板2的相对距离，从而使该电容结构的电信号发生变化，实现声电转换过程。

所述凸部4由所述背极板2向所述振动膜3方向延伸形成，其优选为与所述背极板2为一体成型结构，从而加强了其可靠性。

具体的，所述凸部4包括由所述背极板2向所述振动膜3方向延伸且围成柱状的侧壁41和盖设固定于所述侧壁41的远离所述背极板2一端的底壁42。也就是说，本实施方式中，所述凸部4由所述背极板2向所述振动膜3方向看，则相当于一个凹槽结构。

本实施方式中，所述所述凸部4与所述背极板5为一体结构，侧壁41与所述底壁42也为一体结构。

所述凸部4的形状不限，本实施方式设置呈圆柱状或方柱状。

所述通孔5贯穿所述振动膜3设置，所述凸部4与所述通孔5正对设置，且在静止状态时，所述凸部4的靠近所述通孔5的一侧与所述通孔5齐平，即所述底壁42与所述通孔5齐平。所述通孔5与所述凸部4之间形成空气间隙7。

更优的，所述凸部4及所述通孔5均包括一个，且分别位于所述背极板2与所述振动膜3的中心位置。该结构设置可获得更优的平衡效果。

所述平衡孔6贯穿所述凸部4设置。

本实施方式中，具体的，所述平衡孔6贯穿所述凸部4的所述侧壁41设置且所述平衡孔6与所述底壁42之间形成挡壁43。

所述振动膜3正常工作时向所述凸部4方向的正投影位于所述挡壁43范围内。该结构的设置即实现使所述振动膜3正常工作时，所述通孔5与所述凸部4之间形成的所述空气间隙7因尺寸小而使所述振动膜3的两侧气压不连通，防止出现较大的低频衰减(roll-off)。

所述平衡孔6的数量不限，可为一个或多个，本实施方式中设多个且间隔设置。更优的，所述平衡孔6包括四个且等间隔设置，以获得更优的平衡效果。

另外，所述背极板2还设有连通所述平衡孔6和与所述凸部4相邻的声孔21的连通通道8。

当所述mems麦克风100的所述振动膜3受到由所述背极板2向所述振动膜3方向的空气压力时，所述振动膜3向远离所述背极板2的方向移动，从而使得所述通孔5与所述凸部4形成的所述空气间隙7增大，使得所述空气气压由所述振动膜3的靠近所述背极板2的一侧经所述空气间隙7向所述振动膜3的远离所述背极板2的一侧流出，以实现压力平衡，从而提高了所述mems麦克风100的声学性能和可靠性。

当所述振动膜3受由所述振动膜3向所述背极板2方向的空气压力时，所述振动膜3向所述背极板2方向移动，使得所述振动膜3向所述凸部4方向的正投影至少部分位于所述平衡孔6内，并使所述平衡孔6经所述空气间隙7将所述背极板2的远离所述振动膜3的一侧与所述振动膜3的远离所述背极板2的一侧连通。使得所述空气气压经所述空气间隙7由所述平衡孔6流出，以实现压力平衡，从而提高了所述mems麦克风100的声学性能和可靠性。

从而，上述结构使得所述mems麦克风100可以两个方向均能平衡所受压力，进而提高了所述mems麦克风的声学性能和可靠性。

与相关技术相比，本发明的mems麦克风通过所述背极板的所述凸部与所述振动膜的所述通孔配合形成空气间隙，使得所述振动膜受由所述背极板向所述振动膜方向的空气压力时，所述振动膜向远离所述背极板移动，从而使所述空气间隙增大，使得所述空气气压经所述空气间隙流出以实现压力平衡；同时在所述凸部设置平衡孔，使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通，该结构使当所述振动膜受由所述振动膜向所述背极板方向的空气压力时，使得所述空气气压经所述空气间隙由所述平衡孔流出以实现压力平衡。从而使得本发明的mems麦克风可以两个方向均能平衡所受压力，进而提高了所述mems麦克风的声学性能和可靠性。

以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。