技术特征：
技术总结
本发明提供了一种MEMS麦克风，包括设有多个声孔的背极板、与所述背极板相对且间隔设置以形成电容结构的振动膜、由所述背极板向所述振动膜方向延伸形成的凸部、贯穿所述振动膜设置的通孔及贯穿所述凸部设置的平衡孔；所述凸部与所述通孔正对设置且所述凸部的靠近所述通孔的一侧与所述通孔齐平；当所述振动膜受压力向所述背极板方向移动时使所述平衡孔经所述空气间隙将所述背极板的远离所述振动膜的一侧与所述振动膜的远离所述背极板的一侧连通。与关技术相比，本发明的MEMS麦克风声学性能好且可靠性强。
技术研发人员：张金宇;张睿
受保护的技术使用者：瑞声声学科技（深圳）有限公司
技术研发日：2017.09.29
技术公布日：2017.12.22