7，对从第2空间42排出并在第7流路67中流动的空气量进行调节，对气缸58的速度进行调整；以及机械阀80，其进行切换，以使得从气缸58的第2空间42排出的空气向第2流路62以及第7流路67中的某一个流动。
[0217]另外，空气压力系统60B具有:第8流路68，其将机械阀80和第5流路65连结；第1单向阀81，其配置于第2流路62，对从气动阀45向机械阀80的空气移动进行限制；第2单向阀82，其配置于第7流路67，对从第5流路65向机械阀80的空气移动进行限制；以及第3单向阀83，其配置于第8流路68，对从机械阀80向第5流路65的空气移动进行限制。
[0218]下面，参照图26、图27、图28及图29所示的示意图，说明本实施方式所涉及的空气压力系统60B的动作的一个例子。
[0219]参照图26，说明使基板P成为夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。
[0220]在使基板P成为夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和第8流路68连接，将第2流路62切断，第2空间42和第7流路67成为非连接状态。
[0221]从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的A端口排出。从电磁阀44排出的空气流过第5流路65，流过第8流路68，经过第3单向阀83。经过第3单向阀83的空气，经过机械阀80，向气缸58的第2空间42供给。由此，活塞43上升，支撑台57以及夹紧部件56上升。
[0222]从气缸58的第1空间41排出的气体在第1流路61中流动，利用第1速度控制阀71进行减速，在经过第2调节器47后，向电磁阀44的B端口流入，并向大气释放。
[0223]另外，从气动阀45以及第4速度控制阀74释放残余压力。
[0224]下面，参照图27及图28，说明使基板P成为非夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。图27及图28示出如上述的第1实施方式中说明的那样的、执行2阶段控制的情况下的空气压力回路。图27示出支撑台57以第1速度VI下降的例子。图28示出支撑台57以第2速度V2下降的例子。
[0225]在以2阶段控制使基板P成为非夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和气动阀45连接(第2流路62成为非切断状态)，第2空间42和第7流路67成为非连接状态，第2空间42和第8流路68成为非连接状态。
[0226]从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出。从电磁阀44的B端口排出的空气在第1流路61中流动，利用第2调节器47进行减压，经过第1速度控制阀71。经过第1速度控制阀71的空气向气缸58的第1空间41供给。由此，活塞43下降，支撑台57以及夹紧部件56下降。
[0227]如图27所示，在支撑台57以第1速度VI下降时，从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，经过第1单向阀81，利用第2速度控制阀72节流，减少该排出的空气量。并且，经过气动阀45，向第3流路63流入，利用第3速度控制阀73减少该排出的空气量。利用第3速度控制阀73减少后的空气在流过第5流路65后，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57以第1速度VI下降。
[0228]如图28所示，在支撑台57以第2速度V2下降时，从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，经过第1单向阀81，利用第2速度控制阀72节流，减少该排出的空气量。然后，经过气动阀45，向第4流路64流入，在流过第5流路65后，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57以第2速度V2下降。
[0229]下面，参照图29，说明使基板P成为非夹紧状态时的空气压力系统60B的动作的一个例子。图29示出执行1阶段控制的情况下的空气压力回路。
[0230]在以1阶段控制使基板P成为非夹紧状态时，机械阀80被操作，以将第2空间42和第7流路67连接，将第2流路62切断，第2空间42和第8流路68成为非连接状态。
[0231]从空气压力系统60B的外部供给空气。从外部供给来的空气向电磁阀44供给，从电磁阀44的B端口排出。从电磁阀44的B端口排出的空气在第1流路61中流动，利用第2调节器47进行减压，经过第1速度控制阀71。经过第1速度控制阀71的空气向气缸58的第1空间41供给。由此，活塞43下降，支撑台57以及夹紧部件56下降。
[0232]从气缸58的第2空间42排出的气体经过机械阀80，向第7流路67流入，经过第2单向阀82，利用第5速度控制阀75减少该排出的空气量后，向第5流路65流入。流入至第5流路65后的空气，向电磁阀44的A端口流入，并向大气释放。由此，支撑台57从上端位置S2a至下端位置S2b为止以固定速度下降。
[0233]如以上说明所示，根据本实施方式，对下述控制进行切换，S卩，在从第2可动范围S2的上端位置S2a至下端位置S2b为止移动的区间中使支撑台57以2个速度(V1、V2)下降的2阶段控制、和以1个速度下降的1阶段控制，因此，在不需要2阶段控制的情况下，能够顺利地实施1阶段控制。
[0234]另外，根据本实施方式，通过对机械阀80进行操作，能够顺利地切换2阶段控制和1阶段控制。
【主权项】
1.一种电子部件安装装置，其具有: 输送部件，其沿水平面内的规定方向输送基板； 导轨，其具有能够与所述基板的上表面的一部分相对的相对部件，对在所述输送部件上输送的所述基板进行引导； 第1升降部件，其对所述基板的下表面的至少一部分进行支撑并能够在沿上下方向确定的第1可动范围移动，向所述第1可动范围的上端位置移动，在与所述相对部件之间保持所述基板，向所述第1可动范围的下端位置移动，解除对所述基板的保持； 第2升降部件，其配置在所述第1升降部件的下方，能够在沿上下方向确定的第2可动范围移动，以从与所述第1升降部件接触的接触状态以及不接触的非接触状态中的一种状态向另一种状态变化，该第2升降部件能够以所述接触状态向所述第2可动范围的上端位置移动，使所述第1升降部件向所述第1可动范围的上端位置移动，并且能够向所述第2可动范围的下端位置移动，以成为所述非接触状态；以及致动器，其使所述第2升降部件沿上下方向移动， 在所述第2升降部件从所述第2可动范围的上端位置向中间位置移动的第1区间中，所述致动器使所述第2升降部件以第1速度下降，在从所述第2可动范围的中间位置向下端位置移动的第2区间中，所述致动器使所述第2升降部件以比所述第1速度高的第2速度下降。2.根据权利要求1所述的电子部件安装装置，其中， 所述第1区间包含以所述接触状态所述第2升降部件下降的区间， 所述第2区间包含以所述非接触状态所述第2升降部件下降的区间， 在所述第2可动范围的中间位置处，所述第2升降部件相对于配置在所述第1可动范围的下端位置的第1升降部件，从所述接触状态向所述非接触状态变化。3.根据权利要求1或2所述的电子部件安装装置，其中，所述致动器包含气缸，该气缸具有缸筒和活塞，该活塞能够在所述缸筒的内部空间中移动，将所述内部空间分隔为第1空间和第2空间，该气缸通过向所述第1空间供给空气从而使所述第2升降部件下降，通过向所述第2空间供给空气从而使所述第2升降部件上升，该电子部件安装装置具有空气压力系统，该空气压力系统包含使所述气缸工作的空气压力回路， 所述空气压力系统具有: 电磁阀； 第1流路，其将所述电磁阀和所述第1空间的第1端口连结； 第1速度控制阀，其配置于所述第1流路，使从所述第1空间排出并在所述第1流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整； 第2流路，其与所述第2空间的第2端口连结； 第2速度控制阀，其配置于所述第2流路，使从所述第2空间排出并在所述第2流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整； 气动阀，其与所述第2流路连结，利用空气进行工作； 第3流路，其与所述气动阀连结； 第4流路，其与所述气动阀连结； 第5流路，其将所述电磁阀和所述第3流路及所述第4流路连结；以及 第3速度控制阀，其配置于所述第3流路，使从所述气动阀供给并在所述第3流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整， 所述气动阀在从所述气缸的所述第2空间排出的空气流过所述第3流路后，对与所述第3流路和所述第4流路的连接进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气向所述第4流路流动， 通过使从所述第2空间排出的空气在所述第3流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第1速度下降， 通过使从所述第2空间排出的空气在所述第4流路中流动，从而使所述第2升降部件以所述第2速度下降。4.根据权利要求3所述的电子部件安装装置，其中， 所述空气压力系统还具有: 第6流路，其将所述第1流路和所述气动阀连结，使得用于使所述气动阀工作的空气流动；以及 第4速度控制阀，其配置于所述第6流路，使从所述第1流路供给并在所述第6流路中流动的空气减速，对所述气动阀的工作量进行调整。5.根据权利要求3或4所述的电子部件安装装置，其中， 所述空气压力系统具有: 第7流路，其将所述第2流路和所述第5流路连结； 第5速度控制阀，其配置于所述第7流路，使从所述第2空间排出并在所述第7流路中流动的空气减速，对所述气缸的速度进行调整；以及 机械阀，其进行切换，以使得从所述气缸的所述第2空间排出的空气，向所述第2流路以及所述第7流路中的某一个流动。6.根据权利要求1至5中任一项所述的电子部件安装装置，其中， 所述致动器能够使所述第2升降部件在从所述第2可动范围的上端位置至下端位置移动的区间中以同一速度下降。
【专利摘要】本发明提供的电子部件安装装置可抑制生产性降低。其具有：输送部件；导轨，其具有与基板的一部分相对的相对部件，对在输送部件上输送的基板进行引导；第1升降部件，其对基板的下表面进行支撑并在第1可动范围移动，向第1可动范围的上端位置移动，在与相对部件之间保持基板，向第1可动范围的下端位置移动，解除保持；第2升降部件，其在第2可动范围移动，向第2可动范围的上端位置移动，使第1升降部件向第1可动范围的上端位置移动，能够向第2可动范围的下端位置移动；致动器，其使第2升降部件沿上下方向移动。致动器在第2可动范围的第1区间中使第2升降部件以第1速度下降，在第2可动范围的第2区间中使第2升降部件以第2速度下降。
【IPC分类】H05K13/04
【公开号】CN105451532
【申请号】CN201510600423
【发明人】佐藤洋介, 小西健吾
【申请人】Juki株式会社
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年9月18日