光学元件、光学装置以及电子设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光学元件、光学装置、以及电子设备。
【背景技术】
[0002]以往，已知有将干涉滤波器和受光元件一体化的光学元件的构成(例如，参照专利文献I)。
[0003]专利文献I中记载的法布里-珀罗标准具(干涉滤波器)设置有用于接收透过干涉滤波器的光的受光部，其具备彼此相对的一对镜层，并邻接在与一个镜层中的另一镜层的相反侧。而且，各镜层中层内夹有电极并由这些电极构成静电致动器。此外，通过对静电致动器施加电压，可改变一对镜层间的间隙尺寸。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:国际公开第2010/086502号
【发明内容】
[0007]然而，上述专利文献I记载的装置中，在镜层的正下方设置有受光部。其中，在法布里-珀罗标准具中，为了改变镜层间的间隙尺寸，需要对静电致动器施加高电压。
[0008]然而，由于专利文献I中记载的装置在镜层的正下方设置有受光部，因此，一旦如上所述对静电致动器施加高电压，即会出现对受光部也会造成影响，且在受光部发出的输出信号中噪音成分增大、光量测量精度降低的问题。
[0009]本发明的目的在于提供一种能进行高精度的光量测量的光学元件、光学装置以及电子设备。
[0010]本发明的光学元件，其特征在于，具备:导电性第一反射膜；第二反射膜，其与上述第一反射膜相对；透光性的绝缘膜，其设置在上述第一反射膜的与上述第二反射膜相反侦h受光部，其设置在上述绝缘膜的与上述第一反射膜相反侧，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察中，位于上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光。
[0011 ] 在本发明中，第一反射膜具有导电性，在第一反射膜与受光部之间设置有绝缘膜。
[0012]在这种构成中，通过导电性第一反射膜，可以抑制来自外部的电噪声(例如，由于对用于改变第一反射膜和第二反射膜之间的间隙尺寸的致动器等施加驱动电压而产生的电压噪声等)被输入受光部的不良情况。也就是说，可以将第一反射膜作为屏蔽电极而发挥作用，并抑制来自外部的电噪声被输入受光部。此外，当第一反射膜和受光部导通时，被输入至第一反射膜中的电噪声等电信号会直接被输入受光部，但在本发明中，由于在第一反射膜和受光部之间设置有绝缘膜，因此，可以抑制输入至第一反射膜的电信号被输入至受光部。
[0013]而且，由于光学元件中的结构设置有由第一反射膜和第二反射膜构成的法布里-珀罗标准具以及受光部，因此，从第一反射膜到受光部的距离短，从而能够抑制例如绕过第一反射膜而进入的杂散光等入射至受光部的不良情况。
[0014]因此，能够抑制噪声成分(电噪声、或杂散光导致的噪声)混入由受光部输出的检测信号中，并可通过受光部进行高精度的光量测量。
[0015]在本发明的光学元件中，优选具备:具有设置有上述受光部及上述第一反射膜的第一面的第一基板；与上述第一基板的上述第一面相对，并设置有上述第二反射膜的第二基板；设置于上述第二基板，并与上述第一反射膜的至少一部分相对的电极。
[0016]在本发明中，由于在第二基板上设置有与第一反射膜的一部分相对的电极，因此，可以将该电极和第一反射膜作为静电致动器发挥作用，改变第一反射膜和第二反射之间的间隙尺寸。
[0017]而且，这种情况下，优选将第一反射膜接地(作为地电位)，并对设置于第二基板上的电极施加所需电位。通过这种方式，在对第二基板的电极施加电信号时，即使在该电极产生了电噪声的情况下，通过利用第一反射膜进行屏蔽，可使该电噪声不会被输入受光部，且可将电噪声从第一反射膜释放到外部。因此，能够更可靠地抑制电噪声被输入至受光部的不良情况。
[0018]本发明的光学兀件,其特征在于,具备:第一反射膜；与上述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在上述第一反射膜的与上述第二反射膜相反侧上的透光性的导电膜；设置在上述导电膜的与上述第一反射膜相反侧上的透光性的绝缘膜；受光部，其设置在上述绝缘膜的与上述导电膜相反侧上，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察上，位于上述第二反射膜、上述导电膜和上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光。
[0019]本发明中，第一反射膜和受光部之间设置有导电膜和绝缘膜，导电膜和受光部通过绝缘膜而绝缘。
[0020]在这种构成中，通过导电膜，可以抑制来自外部的电噪声(例如，由于对用于改变第一反射膜和第二反射膜之间的间隙尺寸的致动器等施加驱动电压而产生的电压噪声等)被输入受光部的不良情况。也就是说，即便来自外部的电噪声被输入导电膜，也可以将导电膜作为屏蔽电极而发挥作用，并抑制噪声被输入受光部。此外，当导电膜和受光部导通时，被输入至导电膜中的电噪声等电子信号会直接被输入受光部，但在本发明中，由于在导电膜和受光部之间设置有绝缘膜，因此，可以抑制输入至导电膜的电信号被输入至受光部。
[0021]而且，由于光学元件内被构成为设置有由第一反射膜和第二反射膜构成的干涉滤波器以及受光部，因此，从第一反射膜到受光部的距离短，从而可以抑制例如绕过第一反射膜而进入的杂散光等入射至受光部的不良情况。
[0022]因此，能够抑制噪声成分(电噪声、或杂散光导致的噪声)混入由受光部输出的检测信号中，并可通过受光部进行高精度的光量测量。
[0023]在本发明的光学元件中，优选在上述第一反射膜和上述导电膜之间设置有第二绝缘膜。
[0024]本发明中，第一反射膜和导电膜可通过第二绝缘膜绝缘。这种情况下，即便是在例如使用导电性膜材作为第一反射膜并作为电极发挥作用的情况下，输入第一反射膜中的电信号也不会被传输至导电膜，从而电噪声不会被从导电膜输入至受光部。而且，当对第一反射膜输入电信号时，即使产生了电噪声，该电噪声也不会通过导电膜和绝缘膜被输入至受光部，从而可以抑制噪声成分混入来自受光部的检测信号中的不良情况。
[0025]在本发明的光学元件中，优选在上述受光部的与上述绝缘膜相反侧、且在上述俯视观察中至少与上述受光部重叠的区域设置有第三绝缘膜，在上述第三绝缘膜的与上述受光部相反侧、且在上述俯视观察中至少与上述受光部重叠的区域设置有第二导电膜。
[0026]本发明中，在受光部的与第一反射膜相反侧，通过第三绝缘膜设置有第二导电膜。因此，即便是在电噪声被从与第一反射膜相反侧输入的情况下，也能够将第二导电膜作为屏蔽电极发挥作用，从而抑制该电噪声被输入受光部的不良情况。因此，能够更可靠地抑制噪声成分混入来自受光部的检测信号中的不良情况。
[0027]在本发明的光学元件中，上述第二导电膜优选由反射率比规定值小的低反射金属构成。
[0028]本发明中，第二导电膜由低反射金属(例如氧化铬等)构成。作为规定值，可根据测量的精度等适当设定，例如，对作为测量对象的所有波长，反射率设定为I %以下等。
[0029]在这种构成中，利用入射至光学元件中的光，能够抑制未入射到第二反射膜和第一反射膜之间的杂散光成分等被第二导电膜反射而入射到受光部的背面(与第一反射膜相反侧)的不良情况。
[0030]在本发明的光学元件中，优选在与上述受光部的上述绝缘膜相反侧、且在上述俯视观察上至少与上述受光部重叠的区域上设置第三绝缘膜，在与上述第三绝缘膜的上述受光部相反侧、且在上述俯视观察上至少与上述受光部重叠的区域上设置有第二导电膜，上述第一反射膜和上述第二导电膜电连接。
[0031 ] 本发明中，第一反射膜和第二导电膜电连接。这种情况下，通过将导电膜和第二导电膜接地，可以释放被输入至各导电膜中的电噪声。
[0032]在本发明的光学元件中，优选在与上述受光部的上述绝缘膜相反侧、且在上述俯视观察上至少与上述受光部重叠的区域上设置第三绝缘膜，在与上述第三绝缘膜的上述受光部相反侧、且在上述俯视观察上至少与上述受光部重叠的区域上设置有第二导电膜，上述导电膜和上述第二导电膜电连接。
[0033]本发明中，导电膜和第二导电膜电连接。这种情况下，通过将导电膜和第二导电膜接地，在电噪声被输入这些膜中时，可以容易地释放出去。
[0034]本发明的光学装置，其特征在于，具备:具备受光部的光学元件、以及容纳上述光学元件的框体，上述光学元件具备:导电性第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、设置在与上述第一反射膜的上述第二反射膜相反侧上的透光性的绝缘膜、以及在与上述绝缘膜的上述第一反射膜相反侧上，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察中，设置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0035]如上所述，在本发明的光学元件中，可以抑制噪声混入由受光部输出的检测信号中，并可进行高精度的光量测量。
[0036]此外，通过使该光学元件容纳在框体内，可以抑制例如异物附着在第一反射膜和第二反射膜等现象，也可以保护干涉滤波器免受冲击等。
[0037]本发明的光学装置，其特征在于，具备:具备受光部的光学元件、以及容纳上述光学元件的框体，上述光学元件具备:第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、设置在与上述第一反射膜的上述第二反射膜相反侧上的透光性的导电膜、设置在与上述导电膜的上述第一反射膜相反侧上的透光性的绝缘膜、以及在与上述绝缘膜的上述导电膜相反侧上，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察中，设置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0038]如上所述，在本发明的光学元件中，能够抑制噪声混入由受光部输出的检测信号中，并能够进行高精度的光量测量。
[0039]此外，通过使该光学元件容纳在框体内，可以抑制例如异物附着在第一反射膜和第二反射膜等现象，也可以保护干涉滤波器免受冲击等。
[0040]本发明的电子设备，其特征在于，具备:具备受光部的光学元件、以及控制上述光学元件的控制部，上述光学元件具备:导电性第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、设置在与上述第一反射膜的上述第二反射膜相反侧上的透光性的绝缘膜、以及在与上述绝缘膜的上述第一反射膜相反侧上，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察中，设置在上述第一反射膜、上述第二反射膜及上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0041]如上所述，在本发明的光学元件中，可以抑制噪声混入由受光部输出的检测信