号中，并可进行高精度的光量测量。因此，电子设备可以根据高精度的测量结果，进行各种高精度的处理(例如，基于测量结果的分光光谱测量处理及成分分析处理等)。
[0042]本发明的电子设备，其特征在于，具备:具备受光部的光学元件、以及控制上述光学元件的控制部，上述光学元件具备:第一反射膜、与上述第一反射膜相对的第二反射膜、设置在与上述第一反射膜的上述第二反射膜相反侧上的透光性的导电膜、设置在与上述导电膜的上述第一反射膜相反侧上的透光性的绝缘膜、以及在与上述绝缘膜的上述导电膜相反侧上，且在从上述第一反射膜和上述第二反射膜的膜厚方向观察到的俯视观察中，设置在上述第一反射膜、上述第二反射膜、上述导电膜及上述绝缘膜重叠的区域内，接收由上述第一反射膜出射的光的受光部。
[0043]如上所述，在本发明的光学元件中，可以抑制噪声混入由受光部输出的检测信号中，并可进行高精度的光量测量。因此，电子设备可以根据高精度的测量结果，进行各种高精度的处理(例如，基于测量结果的分光光谱测量处理及成分分析处理等)。
【附图说明】
[0044]图1是示出涉及第一实施方式的分光测量装置的简要构成的框图。
[0045]图2是示出本实施方式的光学元件的简要构成的俯视观察。
[0046]图3是示出本实施方式的光学元件的简要构成的截面图。
[0047]图4是从可动基板侧观察本实施方式的光学元件的固定基板的俯视观察。
[0048]图5是从固定基板侧观察本实施方式的光学元件的可动基板的俯视观察。
[0049]图6的(A)至(E)是示出本实施方式的光学元件的固定基板形成工序的各工序的图。
[0050]图7的㈧至⑶是示出本实施方式的光学元件的固定基板形成工序的各工序的图。
[0051]图8的(A)至(D)是示出本实施方式的光学元件的可动基板形成工序的各工序的图。
[0052]图9是示出第二实施方式的光学元件的简要构成的截面图。
[0053]图10是示出第三实施方式的光学装置的简要构成的截面图。
[0054]图11是示出本发明的电子设备的其它例的测色装置的简要构成的框图。
[0055]图12是本发明的电子设备的其它例的气体检测装置的简图。
[0056]图13是示出图12的气体检测装置的控制系的框图。
[0057]图14是示出本发明的电子设备的其它例的食物分析装置的简要构成的框图。
【具体实施方式】
[0058](第一实施方式)
[0059]下面，根据附图，对涉及本发明的第一实施方式进行说明。
[0060](分光测量装置的构成)
[0061]图1是示出涉及本发明的第一实施方式的分光测量装置的简要构成的框图。
[0062]分光测量装置I是本发明的电子设备的一个例子，是对测量对象X所反射的测量对象光的各波长的光强度进行分析，并测量分光光谱的装置。另外，在本实施方式中，示出的是对测量对象X所反射的测量对象光进行测量的例子，作为测量对象X，当使用例如液晶面板等发光体时，也可以以该发光体发出的光作为测量对象光。
[0063]而且，如图1所示，该分光测量装置I包括:光学模块10、处理由光学模块10输出的信号的控制部20。
[0064](光学模块的构成)
[0065]光学模块10包括:光学元件5、受光处理电路11、元件驱动电路12。
[0066]该光学模块10通过入射光系统(图示略)，将测量对象X反射的测量对象光导入光学元件5。光学元件5对来自所入射的光的指定波长的光进行选择，检测其光量，并输出对应于检测的光量的检测信号。该检测信号通过受光处理电路11输出至控制部20。
[0067](光学元件的构成)
[0068]下面对本实施方式的光学元件5进行说明。图2是示出光学元件5的简要构成的俯视观察。图3是以A-A’线切断图2的波长可变干涉滤波器时的截面图。
[0069]如图2和图3所示，光学元件5是例如矩形板状的光学部件，具有固定基板51 (第一基板)和可动基板52 (第二基板)。这些固定基板51和可动基板52分别由各种玻璃和水晶等绝缘性材料形成，例如，利用由以硅氧烷为主成分的等离子聚合膜等构成的接合膜53 (参照图3)进行接合，从而构成为一个整体。
[0070]在固定基板51与可动基板52相对的表面(第一面)上设置有受光部58,并设置有构成本发明的第一反射膜的固定反射膜54，以覆盖该受光部58。而且，在可动基板52上设置有构成本发明的第二反射膜的可动反射膜55，这些反射膜54、55通过间隙Gl (参照图3)相对配置。此外，光学元件5中设置有静电致动器56，通过该静电致动器56，可改变间隙Gl的尺寸。
[0071]也就是说，光学元件5具备由固定反射膜54和可动反射膜55构成的法布里_珀罗标准具，由受光部58接收透过了该法布里-珀罗标准具的指定波长的光，并输出对应于从受光部58接收的光量的检测信号。
[0072]另外，在以后的说明中，将从固定基板51或可动基板52的基板厚度方向观察到的俯视观察，即从固定基板51、接合膜53以及可动基板52的层叠方向观察到的光学元件5的俯视观察称为元件俯视观察。而且，在本实施方式中，在元件俯视观察上，固定反射膜54的中心点和可动反射膜55的中心点一致，将俯视观察上的这些反射膜的中心点称为元件中心点。
[0073]下面，对本实施方式的光学元件5的各部分的构成进行更具体的说明。
[0074](固定基板的构成)
[0075]图4是从可动基板52侧观察到的光学元件的固定基板51的俯视观察。
[0076]如图3和图4所示，固定基板51具有例如由蚀刻等形成的第一槽511、以及在第一槽511的中央部向可动基板52侧突出的中央突出部512。
[0077]第一槽511在元件俯视观察上形成以固定基板51的元件中心点O为中心的环状。中央突出部512在元件俯视观察上形成以元件中心点O为中心的圆柱状，突出前端面上设置有受光部58和固定反射膜54等。
[0078]而且，在固定基板51上设置有与第一槽511连接的第二槽511A。第二槽511A的槽底面为与第一槽511的槽底面相同的平面，并向固定基板51的各顶点Cl、C2、C3、C4延伸。而且，固定基板51的各顶点C2、C4上设置有切口部514，在从固定基板51侧观察光学元件5的俯视观察上，会露出后面描述的可动连接电极562A及可动镜连接电极551的一部分。
[0079]在固定基板51上的与可动基板相对的表面上设置有第一噪声屏蔽电极571 (本发明的第二导电膜)。该第一噪声屏蔽电极571由例如氧化铬等低反射(遮光性)金属构成。
[0080]而且，第一噪声屏蔽电极571优选至少覆盖中央突出部512的突出前端面。本实施方式中，第一噪声屏蔽电极571跨过中央突出部512的突出前端面和侧面、第一槽511的槽底面、以及向顶点C1、C3延伸的二个第二槽511A而设置。另外，在向顶点C2、C4延伸的二个第二槽511A上也可以形成设置有第一噪声屏蔽电极571的结构。
[0081]第一噪声屏蔽电极571上设置有第一绝缘膜572(本发明的第三绝缘膜)。具体而言，该第一绝缘膜572设置于第一噪声屏蔽电极571中与中央突出部512的突出前端面和侧面、第一槽511以及向顶点C3延伸的第二槽511A重叠的区域上。也就是说，在设置于向顶点Cl延伸的第二槽511A上的第一噪声屏蔽电极571上不设置第一绝缘膜572。这种第一绝缘膜572由例如S12和T12等构成。另外，不仅限于透光性的绝缘膜，也可使用遮光性的绝缘膜。
[0082]第一绝缘膜572上设置有构成受光部58的第一受光连接电极581。该第一受光连接电极581是中央突出部512的突出前端面上的中央区域，设置于元件俯视观察上与后面描述的受光元件582重叠的受光区域Arl (本实施方式中，为图2、图4的圆形区域)上，从其中的一部分向顶点Cl延伸。也就是说，第一受光连接电极581在与中央突出部512、第一槽511重叠的区域，设置在第一绝缘膜572上，而在与对应于顶点Cl的第二槽51IA重叠的区域，设置在第一噪声屏蔽电极571上。因此，第一噪声屏蔽电极571和第一受光连接电极581在对应于顶点Cl的第二槽51IA上是导通的。
[0083]作为该第一受光连接电极581，只要是具有导电性的材料，并无特别的问题，可使用例如氧化铟锡(掺锡氧化铟:ΙΤ0)等。
[0084]而且，在第一受光连接电极581上，如上所述，在与中央突出部512的突出前端面的中央部重叠的受光区域Arl上，设置有构成受光部58的受光元件582。该受光元件582是通过接收光来输出电信号的光电转换元件，例如，可使用α-Si等。
[0085]受光元件582上设置有构成受光部58的第二受光连接电极583。该第二受光连接电极583设置在与受光区域Arl重叠的圆形区域，从其中的一部分向顶点C3延伸出。也就是说，第二受光连接电极583在中央突出部512上设置于受光元件582上或单一绝缘膜572上，在与对应于第一槽511和顶点C3的第二槽511A重叠的区域上设置于第一绝缘膜572上。该第二受光连接电极583在顶点C3上连接至受光处理电路11。
[0086]在中央突出部512的突出前端面上，由第一受光连接电极581、受光元件582、以及第二受光连接电极583构成的受光部58上设置有第二绝缘膜573(本发明的绝缘膜)。该第二绝缘膜573从中央突出部512跨过第一槽511而设置，并覆盖第一受光连接电极581和第二受光连接电极583。另一方面，第二槽511A上不设置第二绝缘膜573。
[0087]该第二绝缘膜573由例如S12和T12等具有透光性的绝缘部件构成。
[0088]而且，在第二绝缘膜573上设置有固定反射膜54。本实施方式中，固定反射膜54由导电性膜材构成，例如由Ag合金等合金膜、Ag膜等金属膜构成。
[0089]该固定反射膜54从中央突出部512跨过第一槽511而设置，而且，向对应于顶点Cl的第二槽51IA延伸而设置。也就是说，固定反射膜54被设置为通过第二绝缘膜573覆盖受光部58。而且，固定反射膜54中，对应于与顶点Cl相对应的第二槽511A上的部分(固定镜连接电极541)设置在第一受光连接电极581上。而且，固定反射膜54在与第一槽511重叠的区域上，至少覆盖与后面描述的可动基板52的可动部521相对的区域。
[0090]本实施方式中，第一噪声屏蔽电极571、第一受光连接电极581、以及固定反射膜54的固定镜连接电极5